[發(fā)明專利]射頻前端聲波諧振器在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 202010148821.5 | 申請日： | 2020-03-05 |
| 公開（公告）號： | CN113364425A | 公開（公告）日： | 2021-09-07 |
| 發(fā)明（設計）人： | 陳真;劉曉軍;韓娜 | 申請（專利權）人： | 合肥先微企業(yè)管理咨詢合伙企業(yè)（有限合伙）;合肥爾微企業(yè)管理咨詢合伙企業(yè)（有限合伙） |
| 主分類號： | H03H9/145 | 分類號： | H03H9/145;H03H9/15 |
| 代理公司： | 上海段和段律師事務所 31334 | 代理人： | 李佳俊;郭國中 |
| 地址： | 230001 安徽省合肥市廬*** | 國省代碼： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 射頻 前端 聲波 諧振器 | ||
1.一種射頻前端聲波諧振器，其特征在于，包括：襯底(1)、底電極(2)、壓電層(3)、上電極(4)和空氣腔體(8)；
所述空氣腔體(8)由所述襯底(1)和所述壓電層(3)包圍形成，所述底電極(2)位于所述壓電層(3)的內(nèi)側(cè)，所述上電極(4)位于所述壓電層(3)的外側(cè)，所述上電極(4)包括多個梳狀排列的上電極單元。
2.根據(jù)權利要求1所述的射頻前端聲波諧振器，其特征在于，所述上電極(4)連接輸入電信號，所述底電極(2)連接輸出電信號或地信號。
3.根據(jù)權利要求1所述的射頻前端聲波諧振器，其特征在于，所述上電極(4)中排列在奇數(shù)位的上電極單元連接輸入電信號，排列在偶數(shù)位的上電極單元連接輸出電信號或地信號；或者，排列在偶數(shù)位的上電極單元連接輸入電信號，排列在奇數(shù)位的上電極單元連接輸出電信號或地信號；
所述底電極(2)懸空，或者所述底電極(2)連接輸出電信號或地信號。
4.一種射頻前端聲波諧振器，其特征在于，包括：襯底(1)、壓電層(3)、上電極(4)和空氣腔體(8)；
所述空氣腔體(8)由所述襯底(1)和所述壓電層(3)包圍形成，所述上電極(4)位于所述壓電層(3)的外側(cè)，所述上電極(4)包括多個梳狀排列的上電極單元。
5.根據(jù)權利要求4所述的射頻前端聲波諧振器，其特征在于，所述上電極(4)中排列在奇數(shù)位的上電極單元連接輸入電信號，排列在偶數(shù)位的上電極單元連接輸出電信號或地信號；或者，排列在偶數(shù)位的上電極單元連接輸入電信號，排列在奇數(shù)位的上電極單元連接輸出電信號或地信號。
6.根據(jù)權利要求1或4所述的射頻前端聲波諧振器，其特征在于，所述壓電層(3)包括駐波隔斷區(qū)域(7)，所述駐波隔斷區(qū)域(7)為所述壓電層(3)向電極左右兩側(cè)延伸的部分，所述駐波隔斷區(qū)域(7)的內(nèi)側(cè)和外側(cè)均沒有電極。
7.根據(jù)權利要求1或4所述的射頻前端聲波諧振器，其特征在于，每個上電極單元的寬度和厚度均相同。
8.根據(jù)權利要求1或4所述的射頻前端聲波諧振器，其特征在于，所述上電極(4)包括金屬薄膜，通過真空鍍膜或濺射形成。
9.根據(jù)權利要求1或4所述的射頻前端聲波諧振器，其特征在于，所述空氣腔體(8)包括：通過設置于所述襯底(1)上的凹槽與所述壓電層(3)形成，或者通過設置于所述壓電層(3)上的凹槽與所述襯底(1)形成。
10.根據(jù)權利要求9所述的射頻前端聲波諧振器，其特征在于，所述空氣腔體(8)的形狀包括矩形或倒梯形，或者弧形腔體底部。
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