[發明專利]一種多路高精度高壓電源

在審

• 申請號: 202010147778.0
• 申請日: 2020-03-05
• 公開（公告）號: CN111446141A
• 公開（公告）日: 2020-07-24
• 發明（設計）人: 胡賢斌;陳迪志;周自顧;王鵬;李嘉欣;王翠珍;王帥;徐松;劉華榮;李光輝
• 申請（專利權）人: 中國電子科技集團公司第三十八研究所
• 主分類號: H01J35/02
• 分類號: H01J35/02
• 代理公司: 合肥昊晟德專利代理事務所(普通合伙) 34153
• 代理人: 顧煒燁

1.一種多路高精度高壓電源，其特征在于，包括至少4路分支電源，分別為第一分高壓電源、第二分高壓電源、第三分高壓電源與低壓電源，所述第二分高壓電源、所述第三分高壓電源與所述低壓電源均與所選第一分高壓電源連接并懸浮于其上；

所述第一分高壓電源用于加速從微焦點X射線源的燈絲發射出的電子，所述第二分高壓電源用于與所述第三分高壓電源組成靜電透鏡，所述低壓電源用于對微焦點X射線源的燈絲進行熱處理；

所述第一分高壓電源與所述低壓電源分別與微焦點X射線源的燈絲兩端連接；所述第二分高壓電源、所述第三分高壓電源分別與微焦點X射線源的兩組電極連接，組成靜電透鏡。

2.根據權利要求1所述的一種多路高精度高壓電源，其特征在于：所述高精度高壓電源還包括一路負高壓電源，所述負高壓電源與所述第一分高壓電源連接并懸浮于其上，用于為微焦點X射線源的壓縮極供電。

3.根據權利要求2所述的一種多路高精度高壓電源，其特征在于：通過調節所述負高壓電源的電壓可調節電子束的發射張角。

4.根據權利要求1所述的一種多路高精度高壓電源，其特征在于：通過調節所述第二分高壓電源的輸出電壓與所述第三分高壓電源的輸出電壓可實現在第一分高壓電源的不同輸出電壓下對電子束進行靜電聚焦。

5.根據權利要求1所述的一種多路高精度高壓電源，其特征在于：通過調節所述高精度高壓電源各路輸出可使微焦點X射線源的燈絲穩定發射電子、靜電透鏡聚焦性能穩定。

6.根據權利要求1所述的一種多路高精度高壓電源，其特征在于：所述高精度高壓電源的紋波系數小于等于0.5％。

7.根據權利要求1所述的一種多路高精度高壓電源，其特征在于：通過調節所述低壓電源的電源參數可實現對燈絲的連續熱處理或者脈沖熱處理。

8.根據權利要求7所述的一種多路高精度高壓電源，其特征在于：所述連續熱處理指可設定電壓和電流對燈絲進行處理，且低壓電源工作在恒流模式；所述脈沖熱處理指可設定電壓、電流、脈沖頻率、占空比、脈沖個數對燈絲進行處理，電流波形上升沿下降沿時間不超過10ms，在高電平輸出時，所述低壓電源工作在恒流模式。

9.根據權利要求1所述的一種多路高精度高壓電源，其特征在于：所述高精度高壓電源還包括互鎖控制接口，用于對其高壓輸出進行使能控制，當互鎖開關沒有閉合時，所述高精度高壓電源輸出的一路或者多路高壓電源處于鎖定狀態，無法輸出；當互鎖開關閉合時，所述高精度高壓電源輸出的一路或者多路高壓電源處于解鎖狀態，可以輸出。

10.根據權利要求9所述的一種多路高精度高壓電源，其特征在于：所述高精度高壓電源還包括數字接口，用于與上位控制設備通訊。