[發明專利]一種抑制激光散斑的積分球光源裝置

有效

• 申請號: 202010147682.4
• 申請日: 2020-03-05
• 公開（公告）號: CN111238640B
• 公開（公告）日: 2022-04-05
• 發明（設計）人: 韋躍峰;劉磊;藺超;鄭玉權
• 申請（專利權）人: 中國科學院長春光學精密機械與物理研究所
• 主分類號: G01J3/10
• 分類號: G01J3/10;G01J3/02
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 胡素莉

1.一種抑制激光散斑的積分球光源裝置，其特征在于，包括固定支架(1)、通過柔性連接件可晃動的安裝于所述固定支架(1)上的積分球(3)、以及固定于所述固定支架(1)上并用于向所述積分球(3)的入光口(10)射入激光的激光光纖(6)，所述積分球(3)的外壁上設有用于驅動所述積分球(3)相對所述固定支架(1)振動的第一振動裝置；

所述固定支架(1)包括用于固定所述積分球(3)的積分球支架(5)以及用于固定所述激光光纖(6)的光纖支架(7)，且所述激光光纖(6)與所述積分球(3)不接觸；

所述柔性連接件為柔性連接環(4)，所述柔性連接環(4)包括環部(41)以及均勻分布于所述環部(41)外側的環耳(42)，所述環部(41)通過螺栓連接于所述積分球(3)的法蘭上，所述環耳(42)通過螺栓連接于所述固定支架(1)上。

2.根據權利要求1所述的抑制激光散斑的積分球光源裝置，其特征在于，所述柔性連接環(4)為薄片金屬環。

3.根據權利要求1所述的抑制激光散斑的積分球光源裝置，其特征在于，所述柔性連接環(4)為硅膠環或橡膠環。

4.根據權利要求1所述的抑制激光散斑的積分球光源裝置，其特征在于，所述柔性連接件為彈簧、碟簧或機械柔節。

5.根據權利要求1所述的抑制激光散斑的積分球光源裝置，其特征在于，所述積分球(3)包括加工有入光口(10)與出光口(2)的第一半球以及加工有用于安裝所述第一振動裝置的安裝座(8)的第二半球，所述第一振動裝置通過安裝座(8)連接于所述積分球(3)。

6.根據權利要求5所述的抑制激光散斑的積分球光源裝置，其特征在于，所述第一振動裝置包括微型振動馬達(9)以及偏心輪，所述微型振動馬達(9)帶動所述偏心輪轉動以使所述積分球(3)相對所述固定支架(1)產生振動。

7.根據權利要求5所述的抑制激光散斑的積分球光源裝置，其特征在于，所述第一振動裝置包括壓電陶瓷。

8.根據權利要求1至7任一項所述的抑制激光散斑的積分球光源裝置，其特征在于，所述光纖支架(7)為固定于所述固定支架(1)上的柔性支架，所述柔性支架上安裝有用于驅動所述柔性支架相對固定支架(1)振動的第二振動裝置。