[發(fā)明專利]光纖微振動(dòng)的探測裝置及系統(tǒng)

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202010145776.8
• 申請日: 2020-03-05
• 公開（公告）號: CN111289086A
• 公開（公告）日: 2020-06-16
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 不公告發(fā)明人
• 申請（專利權(quán)）人: 金華伏安光電科技有限公司
• 主分類號: G01H9/00
• 分類號: G01H9/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種光纖微振動(dòng)的探測裝置，其特征在于，所述探測裝置包括：光纖、納米梁、探測尖和殼體；所述光纖、納米梁和探測尖均設(shè)置在所述殼體內(nèi)部，其中，所述光纖貫穿所述殼體，在所述光纖上沿垂直于所述光纖方向開設(shè)有孔洞，所述納米梁一端固定在所述殼體內(nèi)部，所述納米梁的另一端設(shè)置有所述探測尖，所述探測尖垂直于所述納米梁設(shè)置，并延伸至所述光纖中的所述孔洞中。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光纖微振動(dòng)的探測裝置，其特征在于，所述探測尖的橫截面積的寬度小于所述孔洞的直徑。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光纖微振動(dòng)的探測裝置，其特征在于，所述探測尖和所述納米梁的材料均為硅。

4.根據(jù)權(quán)利要求1或3所述的光纖微振動(dòng)的探測裝置，其特征在于，所述探測尖表面鍍有貴金屬膜。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光纖微振動(dòng)的探測裝置，其特征在于，所述探測尖的形狀為圓錐形、圓柱形或者條形。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光纖微振動(dòng)的探測裝置，其特征在于，所述光纖上沿垂直于所述光纖方向開設(shè)有孔洞的數(shù)量為兩個(gè)。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的光纖微振動(dòng)的探測裝置，其特征在于，兩個(gè)所述孔洞之間的距離為1微米-10微米。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的光纖微振動(dòng)的探測裝置，其特征在于，所述探測尖的數(shù)量為兩個(gè)，兩個(gè)所述探測尖均設(shè)置在所述納米梁的一端，且分別延伸到一個(gè)所述孔洞中。

9.一種光纖微振動(dòng)的探測系統(tǒng)，其特征在于，所述探測系統(tǒng)包括：光源、光譜儀和權(quán)利要求1-8任意一項(xiàng)所述的探測裝置，所述光源和所述光譜儀分別設(shè)置在所述探測裝置的所述光纖的兩端。