[發(fā)明專利]位置標(biāo)定方法和位置標(biāo)定裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202010145459.6
• 申請日: 2020-03-03
• 公開（公告）號: CN111207671B
• 公開（公告）日: 2022-04-05
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 楊朝興
• 申請（專利權(quán)）人: 合肥御微半導(dǎo)體技術(shù)有限公司
• 主分類號: G01B11/00
• 分類號: G01B11/00
• 代理公司: 上海恒銳佳知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 31286
• 代理人: 黃海霞

1.一種位置標(biāo)定方法，其特征在于，包括以下步驟：

S0：提供位置標(biāo)定裝置，并放置于運(yùn)動臺上，所述位置標(biāo)定裝置包括標(biāo)記區(qū)域，所述標(biāo)記區(qū)域包括具有第一中心且呈中心對稱的第一標(biāo)記區(qū)域和具有第二中心且呈中心對稱的第二標(biāo)記區(qū)域，其中，所述第一標(biāo)記區(qū)域呈平面圖案，用于標(biāo)定成像系統(tǒng)的位置；所述第二標(biāo)記區(qū)域呈三維立體圖案，用于標(biāo)定高度傳感器的位置，所述第二中心為所述第二標(biāo)記區(qū)域位于所述第一標(biāo)記區(qū)域所在平面部分的中心；

S1：通過移動所述運(yùn)動臺調(diào)整成像系統(tǒng)和所述位置標(biāo)定裝置的相對位置，使得所述第一中心與所述成像系統(tǒng)的相機(jī)靶心重合，以及使所述成像系統(tǒng)對所述第一標(biāo)記區(qū)域清晰成像，直至所述成像系統(tǒng)中所述第一標(biāo)記區(qū)域的圖像清晰度大于或等于清晰度閾值，以獲得檢測使用的成像條件，根據(jù)所述運(yùn)動臺讀數(shù)獲取在所述成像條件下的所述成像系統(tǒng)的焦點(diǎn)坐標(biāo)；

S2：通過移動所述運(yùn)動臺使得高度傳感器沿至少兩個(gè)方向?qū)λ龅诙?biāo)記區(qū)域分別進(jìn)行至少兩次高度掃描，根據(jù)所述運(yùn)動臺的讀數(shù)和高度傳感器的讀數(shù)，以獲取每條掃描路徑在所述第二標(biāo)記區(qū)域內(nèi)的中點(diǎn)坐標(biāo)，然后獲取同一方向上掃描路徑中點(diǎn)的連線與其他同一方向上掃描路徑中點(diǎn)的連線的交點(diǎn)坐標(biāo)，其中，所述交點(diǎn)坐標(biāo)為在檢測使用的成像條件下，所述高度傳感器掃描所述第二中心時(shí)所述高度傳感器的零點(diǎn)坐標(biāo)；

S3：根據(jù)所述焦點(diǎn)坐標(biāo)、所述交點(diǎn)坐標(biāo)以及所述第一中心和所述第二中心之間的偏移坐標(biāo)，計(jì)算所述成像系統(tǒng)和所述高度傳感器之間的相對位置坐標(biāo)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的位置標(biāo)定方法，其特征在于，當(dāng)所述第一中心和所述第二中心重合時(shí)，所述偏移坐標(biāo)等于零，根據(jù)所述焦點(diǎn)坐標(biāo)和所述交點(diǎn)坐標(biāo)計(jì)算所述成像系統(tǒng)和所述高度傳感器之間的相對位置坐標(biāo)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的位置標(biāo)定方法，其特征在于，當(dāng)所述第一中心和所述第二中心不重合時(shí)，所述偏移坐標(biāo)大于零，根據(jù)所述焦點(diǎn)坐標(biāo)、所述交點(diǎn)坐標(biāo)和所述偏移坐標(biāo)計(jì)算所述成像系統(tǒng)和所述高度傳感器之間的相對位置坐標(biāo)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的位置標(biāo)定方法，其特征在于，通過移動所述運(yùn)動臺，以使所述高度傳感器沿兩個(gè)方向?qū)λ龅诙?biāo)記區(qū)域分別進(jìn)行兩次高度掃描，且所述兩個(gè)方向相互垂直。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的位置標(biāo)定方法，其特征在于，所述每條掃描路徑穿過所述第二標(biāo)記區(qū)域中相對的兩個(gè)區(qū)域的內(nèi)邊，且同一方向上的所述掃描路徑位于所述第二中心的兩側(cè)。

6.一種位置標(biāo)定裝置，其特征在于，包括標(biāo)記區(qū)域，所述標(biāo)記區(qū)域包括具有第一中心且呈中心對稱的第一標(biāo)記區(qū)域和具有第二中心且呈中心對稱的第二標(biāo)記區(qū)域，其中，所述第一標(biāo)記區(qū)域呈平面圖案，用于通過移動運(yùn)動臺，并結(jié)合所述運(yùn)動臺讀數(shù)標(biāo)定成像系統(tǒng)的位置；所述第二標(biāo)記區(qū)域呈三維立體圖案，用于通過移動所述運(yùn)動臺，并結(jié)合所述運(yùn)動臺讀數(shù)和高度傳感器的讀數(shù)標(biāo)定所述高度傳感器的零點(diǎn)位置，所述第二中心為所述第二標(biāo)記區(qū)域位于所述第一標(biāo)記區(qū)域所在平面部分的中心。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的位置標(biāo)定裝置，其特征在于，所述第一標(biāo)記區(qū)域由交點(diǎn)與所述第一中心重合且相互垂直的兩條直線分為的第一圖形區(qū)域、第二圖形區(qū)域、第三圖形區(qū)域和第四圖形區(qū)域。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的位置標(biāo)定裝置，其特征在于，所述第一圖形區(qū)域和所述第二圖形區(qū)域的圖形相同且關(guān)于所述第一中心對稱，所述第三圖形區(qū)域和所述第四圖形區(qū)域的圖形相同且關(guān)于所述第二中心對稱。

9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的位置標(biāo)定裝置，其特征在于，所述第一圖形區(qū)域和所述第二圖形區(qū)域的圖形包括至少一條第三方向的直線條，所述第三圖形區(qū)域和所述第四圖形區(qū)域的圖形包括至少一條第四方向的直線條，且所述第三方向垂直于所述第四方向。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的位置標(biāo)定裝置，其特征在于，所述第一圖形區(qū)域、所述第二圖形區(qū)域、所述第三圖形區(qū)域和所述第四圖形區(qū)域的直線條空占比為1:1。