[發明專利]一種基于原子力顯微鏡的模塊式激光輔助平臺

有效

• 申請號: 202010145034.5
• 申請日: 2020-03-04
• 公開（公告）號: CN111257600B
• 公開（公告）日: 2022-06-07
• 發明（設計）人: 卓少木;張嘉榮;鄧建南;朱相優
• 申請（專利權）人: 廣州精點科技有限公司;廣東工業大學
• 主分類號: G01Q60/24
• 分類號: G01Q60/24
• 代理公司: 北京化育知識產權代理有限公司 11833
• 代理人: 尹均利

1.一種基于原子力顯微鏡的模塊式激光輔助平臺，其特征在于，包括激光器、光束準直器、光束擴束器、光束整形器、光束輸出器、Y手動位移臺、XZB位移模組、樣品臺，XZB位移模組包括高精度的B軸旋轉軸、Z軸水平上升軸和X軸水平位移軸，所述高精度的B軸旋轉軸、Z軸水平上升軸和X軸水平位移軸通過籠式結構組合在一起，上述籠式結構固定在Y手動位移臺上；

所述激光器發出的激光分別經過所述光束準直器、光束擴束器、光束整形器、光束輸出器之后將會匯聚成一個焦點打在樣品表面，其光斑的大小可由算法自動調節，并通過微調Y手動位移臺，可實現光斑大小和位置的精準控制；

所述的光束準直器，通過轉換原件固定在光學三維調整架上；

所述的Y手動位移臺固定于最底下，用于調節光斑在Y方向的位置；

所述的光束輸出器可微調雙面凸透鏡的位置。

2.如權利要求1所述的基于原子力顯微鏡的模塊式激光輔助平臺，其特征在于，可通過對所述XZB位移模組的位置微調，實現對光斑的大小進行微調。

3.如權利要求1所述的基于原子力顯微鏡的模塊式激光輔助平臺，其特征在于，將光束準直器通過轉換原件固定在光學三維調整架上，可調節準直器和擴束器出來的激光的同軸度。

4.如權利要求1所述的基于原子力顯微鏡的模塊式激光輔助平臺，其特征在于，所述樣品臺上放置有樣品，所述樣品需要導電，所述樣品需要接地。