[發(fā)明專利]一種基于原子力顯微鏡的模塊式激光輔助平臺(tái)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202010145034.5
• 申請(qǐng)日: 2020-03-04
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN111257600B
• 公開(kāi)（公告）日: 2022-06-07
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 卓少木;張嘉榮;鄧建南;朱相優(yōu)
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 廣州精點(diǎn)科技有限公司;廣東工業(yè)大學(xué)
• 主分類號(hào): G01Q60/24
• 分類號(hào): G01Q60/24
• 代理公司: 北京化育知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11833
• 代理人: 尹均利

1.一種基于原子力顯微鏡的模塊式激光輔助平臺(tái)，其特征在于，包括激光器、光束準(zhǔn)直器、光束擴(kuò)束器、光束整形器、光束輸出器、Y手動(dòng)位移臺(tái)、XZB位移模組、樣品臺(tái)，XZB位移模組包括高精度的B軸旋轉(zhuǎn)軸、Z軸水平上升軸和X軸水平位移軸，所述高精度的B軸旋轉(zhuǎn)軸、Z軸水平上升軸和X軸水平位移軸通過(guò)籠式結(jié)構(gòu)組合在一起，上述籠式結(jié)構(gòu)固定在Y手動(dòng)位移臺(tái)上；

所述激光器發(fā)出的激光分別經(jīng)過(guò)所述光束準(zhǔn)直器、光束擴(kuò)束器、光束整形器、光束輸出器之后將會(huì)匯聚成一個(gè)焦點(diǎn)打在樣品表面，其光斑的大小可由算法自動(dòng)調(diào)節(jié)，并通過(guò)微調(diào)Y手動(dòng)位移臺(tái)，可實(shí)現(xiàn)光斑大小和位置的精準(zhǔn)控制；

所述的光束準(zhǔn)直器，通過(guò)轉(zhuǎn)換原件固定在光學(xué)三維調(diào)整架上；

所述的Y手動(dòng)位移臺(tái)固定于最底下，用于調(diào)節(jié)光斑在Y方向的位置；

所述的光束輸出器可微調(diào)雙面凸透鏡的位置。

2.如權(quán)利要求1所述的基于原子力顯微鏡的模塊式激光輔助平臺(tái)，其特征在于，可通過(guò)對(duì)所述XZB位移模組的位置微調(diào)，實(shí)現(xiàn)對(duì)光斑的大小進(jìn)行微調(diào)。

3.如權(quán)利要求1所述的基于原子力顯微鏡的模塊式激光輔助平臺(tái)，其特征在于，將光束準(zhǔn)直器通過(guò)轉(zhuǎn)換原件固定在光學(xué)三維調(diào)整架上，可調(diào)節(jié)準(zhǔn)直器和擴(kuò)束器出來(lái)的激光的同軸度。

4.如權(quán)利要求1所述的基于原子力顯微鏡的模塊式激光輔助平臺(tái)，其特征在于，所述樣品臺(tái)上放置有樣品，所述樣品需要導(dǎo)電，所述樣品需要接地。