[發明專利]鈍化液及銅表面成膜處理方法

有效

• 申請號: 202010144118.7
• 申請日: 2020-03-04
• 公開（公告）號: CN111394718B
• 公開（公告）日: 2022-11-11
• 發明（設計）人: 熊猛;易金彪;況金權
• 申請（專利權）人: 廣東東明新材科技有限公司
• 主分類號: C23C22/68
• 分類號: C23C22/68;C23C22/78;C23F3/06;C23G1/20
• 代理公司: 深圳市智勝聯合知識產權代理有限公司 44368
• 代理人: 王月

1.一種鈍化液，其特征在于，包括以下組分：

氟鉭酸鹽0.5~2g/L、偏釩酸鹽1~5g/L、緩蝕劑0.5~2g/L及表面活性劑0.5~5g/L；

所述緩蝕劑為2-巰基苯并噻唑；

所述鈍化液的pH值為7~8；

所述氟鉭酸鹽包括氟鉭酸鉀和氟鉭酸鈉其中至少一種；

所述表面活性劑為烷基糖苷。

2.根據權利要求1所述的鈍化液，其特征在于，所述偏釩酸鹽包括偏釩酸鈉、偏釩酸鉀和偏釩酸銨其中至少一種。

3.一種銅表面成膜處理方法，其特征在于，包括以下步驟：

將銅工件放入至如權利要求1~2中任一所述的鈍化液中，進行鈍化處理，以在所述銅工件表面形成鈍化膜。

4.根據權利要求3所述的銅表面成膜處理方法，其特征在于，所述鈍化處理的溫度為40℃~50℃，所述鈍化處理的時間為2min~5min。

5.根據權利要求4所述的銅表面成膜處理方法，其特征在于，在將所述銅工件放入至所述鈍化液中的操作之前，還包括以下步驟：

在60℃~70℃的溫度下，將銅工件放入至脫脂除油液中，進行脫脂處理5min~15min；其中，所述脫脂除油液按重量份數計包括以下組分：氫氧化鈉20~25份、碳酸鈉20~25份、三聚磷酸鈉8~20份及TX-10活性劑0.5~2份；

在20℃~30℃的溫度下，將所述銅工件放入至拋光液中，進行拋光處理1min~3min；其中，所述拋光液按重量份數計包括以下組分：硫酸15~25份、雙氧水200~300份、硫脲3~10份及活性劑0.1~1份；

在20℃~30℃的溫度下，將所述銅工件放入至去膜液中，進行去膜處理15s~25s；其中，所述去膜液按重量份數計包括以下組分：硫酸30~70份及潤濕劑1~5份。

6.根據權利要求5所述的銅表面成膜處理方法，其特征在于，在進行鈍化處理的操作之后，還在60℃~80℃的溫度下，對所述銅工件進行干燥處理10min~15min。