[發明專利]一種垂直腔面發射激光器及其制造方法與應用有效
| 申請號： | 202010143280.7 | 申請日： | 2020-03-04 |
| 公開（公告）號： | CN111211483B | 公開（公告）日： | 2021-12-21 |
| 發明（設計）人： | 劉嵩;張成;梁棟;趙勵 | 申請（專利權）人： | 常州縱慧芯光半導體科技有限公司 |
| 主分類號： | H01S5/042 | 分類號： | H01S5/042;H01S5/183 |
| 代理公司： | 上海光華專利事務所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 王華英 |
| 地址： | 213000 江蘇省常州*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 垂直 發射 激光器 及其 制造 方法 應用 | ||
1.一種垂直腔面發射激光器，其特征在于，包括，
襯底；
第一反射層，形成在所述襯底上；
至少兩個發光單元，形成在所述第一反射層上，每一所述發光單元包括至少兩個發光子單元；
第一溝槽，形成在所述至少兩個發光單元之間，所述第一溝槽暴露所述襯底；
絕緣層，形成在所述第一溝槽內；
至少一個第一電極，形成在所述至少兩個發光單元上，連接所述至少兩個發光單元，且每一所述發光單元內的發光子單元通過所述第一電極連接，以形成公共陽極；
至少兩個第二電極，接觸所述第一反射層；
其中，每一所述發光子單元內包括一發光孔，所述第一電極圍繞在所述發光孔的外周；
其中，所述襯底為半絕緣材料，每一所述第二電極對應每一所述發光單元；
其中，每一所述發光單元內包括第二溝槽，以將所述發光單元分成多個發光子單元，所述第二溝槽暴露所述第一反射層；
其中，所述第一電極包括第一金屬電極和第二金屬電極，所述第一金屬電極位于所述發光單元上；
其中，部分所述第二金屬電極位于所述第一溝槽內，并向所述第一溝槽兩側的至少兩個所述發光單元延伸，并越過所述絕緣層，以連接所述第一金屬電極，以連接至少兩個所述發光單元；
其中，部分所述第二金屬電極位于所述第二溝槽內，并向所述第二溝槽兩側的至少兩個所述發光子單元延伸，并越過所述絕緣層，以連接所述第一金屬電極，以連接至少兩個所述發光子單元。
2.根據權利要求1所述的垂直腔面發射激光器，其特征在于，每一所述發光子單元包括有源層及第二反射層，所述有源層形成在所述第一反射層上，所述第二反射層形成在所述有源層上。
3.根據權利要求1所述的垂直腔面發射激光器，其特征在于，所述第一溝槽貫穿所述第一反射層，暴露所述襯底，且將所述第一反射層分成多個部分。
4.根據權利要求1所述的垂直腔面發射激光器，其特征在于，部分所述絕緣層位于所述第一溝槽的側壁上，部分所述絕緣層 位于所述第一溝槽暴露的所述襯底上，部分所述絕緣層位于所述至少兩個發光單元上。
5.根據權利要求1所述的垂直腔面發射激光器，其特征在于，所述第一電極位于所述第二電極之間。
6.一種垂直腔面發射激光器的制造方法，其特征在于，包括，
提供一襯底；
形成第一反射層于所述襯底上；
形成至少兩個發光單元于所述第一反射層上，每一所述發光單元包括至少兩個發光子單元，每一所述發光子單元內包括一發光孔；
形成第一溝槽于所述至少兩個發光單元之間，所述第一溝槽暴露所述襯底；
形成絕緣層于所述第一溝槽內；
形成至少一個第一電極于所述至少兩個發光單元上，以連接所述至少兩個發光單元，且每一所述發光單元內的發光子單元通過所述第一電極連接，以形成公共陽極；
形成至少兩個第二電極，所述第二電極接觸所述第一反射層；
其中，每一所述發光子單元內包括一發光孔，所述第一電極圍繞在所述發光孔的外周；
其中，所述襯底為半絕緣材料，每一所述第二電極對應每一所述發光單元；
其中，所述第一電極和所述第二電極的高度相等；
其中，每一所述發光單元內包括第二溝槽，以將所述發光單元分成多個發光子單元，所述第二溝槽暴露所述第一反射層；
其中，所述第一電極包括第一金屬電極和第二金屬電極，所述第一金屬電極位于所述發光單元上；
其中，部分所述第二金屬電極位于所述第一溝槽內，并向所述第一溝槽兩側的至少兩個所述發光單元延伸，并越過所述絕緣層，以連接所述第一金屬電極，以連接至少兩個發光單元；
其中，部分所述第二金屬電極位于所述第二溝槽內，并向所述第二溝槽兩側的至少兩個發光子單元延伸，并越過所述絕緣層，以連接所述第一金屬電極，以連接至少兩個所述發光子單元。
7.一種光發射裝置，其特征在于，包括，
基板，
至少一發光元件，設置在所述基板上，所述至少一發光元件包括至少一垂直腔面發射激光器，所述垂直腔面發射激光器包括，
襯底；
第一反射層，形成在所述襯底上；
至少兩個發光單元，形成在所述第一反射層上，每一所述發光單元包括至少兩個發光子單元；
第一溝槽，形成在所述至少兩個發光單元之間，所述第一溝槽暴露所述襯底；
絕緣層，形成在所述第一溝槽內；
至少一個第一電極，形成在所述至少兩個發光單元上，連接所述至少兩個發光單元，且每一所述發光單元內的發光子單元通過所述第一電極連接，以形成公共陽極；
至少兩個第二電極，接觸所述第一反射層；
其中，每一所述發光子單元內包括一發光孔，所述第一電極圍繞在所述發光孔的外周；
其中，所述襯底為半絕緣材料，每一所述第二電極對應每一所述發光單元；
其中，所述第一電極和所述第二電極的高度相等；
其中，每一所述發光單元內包括第二溝槽，以將所述發光單元分成多個發光子單元，所述第二溝槽暴露所述第一反射層；
其中，所述第一電極包括第一金屬電極和第二金屬電極，所述第一金屬電極位于所述發光單元上；
其中，部分所述第二金屬電極位于所述第一溝槽內，并向所述第一溝槽兩側的至少兩個所述發光單元延伸，并越過所述絕緣層，以連接所述第一金屬電極，以連接至少兩個所述發光單元；
其中，部分所述第二金屬電極位于所述第二溝槽內，并向所述第二溝槽兩側的至少兩個所述發光子單元延伸，并越過所述絕緣層，以連接所述第一金屬電極，以連接至少兩個所述發光子單元。
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