[發(fā)明專利]一種垂直腔面發(fā)射激光器陣列及其制造方法與應(yīng)用有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 202010143277.5 | 申請日： | 2020-03-04 |
| 公開（公告）號： | CN111313234B | 公開（公告）日： | 2021-09-24 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 丁維遵;劉嵩 | 申請（專利權(quán)）人： | 常州縱慧芯光半導(dǎo)體科技有限公司 |
| 主分類號： | H01S5/183 | 分類號： | H01S5/183;H01S5/18 |
| 代理公司： | 上海光華專利事務(wù)所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 王華英 |
| 地址： | 213000 江蘇省常州*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 垂直 發(fā)射 激光器 陣列 及其 制造 方法 應(yīng)用 | ||
1.一種垂直腔面發(fā)射激光器陣列，其特征在于，包括，
至少兩個(gè)發(fā)射器，每一所述發(fā)射器包括至少兩個(gè)發(fā)射單元，所述至少兩個(gè)發(fā)射單元之間設(shè)置有第一導(dǎo)電連接層；
至少一個(gè)絕緣區(qū)，設(shè)置在所述發(fā)射器之間；
其中，所述至少兩個(gè)發(fā)射器通過串聯(lián)連接；
其中，所述至少兩個(gè)發(fā)射單元之間設(shè)置有第二溝槽，所述第二溝槽的長度大于所述發(fā)射單元的長度；
其中，至少兩個(gè)所述發(fā)射單元通過焊盤電極連接，部分所述焊盤電極位于所述第二溝槽內(nèi)；
其中，所述第一導(dǎo)電連接層位于所述第二溝槽內(nèi)，所述第一導(dǎo)電連接層的一端還連接所述焊盤電極；
其中，每一所述發(fā)射單元內(nèi)包括第二導(dǎo)電連接層，所述第二導(dǎo)電連接層位于所述發(fā)射單元的第二接觸層上；
其中，所述焊盤電極接觸并設(shè)置在所述第二導(dǎo)電連接層上，相鄰兩個(gè)所述發(fā)射器之間通過所述焊盤電極及所述第一導(dǎo)電連接層串聯(lián)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的垂直腔面發(fā)射激光器陣列，其特征在于，每一所述發(fā)射單元包括一發(fā)光孔，所述發(fā)光孔包括長軸及短軸，所述長軸的長度大于所述短軸的長度。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的垂直腔面發(fā)射激光器陣列，其特征在于，所述第二溝槽暴露所述發(fā)射單元的第一接觸層，所述第一導(dǎo)電連接層接觸所述第一接觸層。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的垂直腔面發(fā)射激光器陣列，其特征在于，相鄰兩個(gè)所述發(fā)射器之間設(shè)置有第三溝槽，所述第三溝槽的長度大于所述發(fā)射單元的長度，所述第三溝槽暴露所述發(fā)射單元的襯底。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的垂直腔面發(fā)射激光器陣列，其特征在于，所述絕緣區(qū)設(shè)置在所述第三溝槽內(nèi)，所述絕緣區(qū)接觸所述襯底。
6.一種垂直腔面發(fā)射激光器陣列的制造方法，其特征在于，包括，
形成至少兩個(gè)發(fā)射器，每一所述發(fā)射器包括至少兩個(gè)發(fā)射單元，所述發(fā)射單元之間設(shè)置有第一導(dǎo)電連接層；
形成至少一個(gè)絕緣區(qū)于所述至少兩個(gè)發(fā)射器之間；
其中，所述至少兩個(gè)發(fā)射器通過串聯(lián)連接；
其中，所述至少兩個(gè)發(fā)射單元之間設(shè)置有第二溝槽，所述第二溝槽的長度大于所述發(fā)射單元的長度
其中，至少兩個(gè)所述發(fā)射單元通過焊盤電極連接，部分所述焊盤電極位于所述第二溝槽內(nèi)，
其中，所述第一導(dǎo)電連接層位于所述第二溝槽內(nèi)，所述第一導(dǎo)電連接層的一端還連接所述焊盤電極；
每一所述發(fā)射單元內(nèi)包括第二導(dǎo)電連接層，所述第二導(dǎo)電連接層位于所述發(fā)射單元的第二接觸層上；
其中，所述焊盤電極接觸并設(shè)置在所述第二導(dǎo)電連接層上，相鄰兩個(gè)所述發(fā)射器之間通過所述焊盤電極及所述第一導(dǎo)電連接層串聯(lián)。
7.一種光發(fā)射裝置，其特征在于，包括，
基板；
至少一發(fā)光元件，所述至少一發(fā)光元件包括至少一垂直腔面發(fā)射激光器陣列；
其中，所述至少一垂直腔面發(fā)射激光器陣列，包括，
至少兩個(gè)發(fā)射器，每一所述發(fā)射器包括至少兩個(gè)發(fā)射單元，所述至少兩個(gè)發(fā)射單元之間設(shè)置有第一導(dǎo)電連接層；
至少一個(gè)絕緣區(qū)，設(shè)置在所述發(fā)射器之間；
其中，所述至少兩個(gè)發(fā)射器通過串聯(lián)連接；
其中，所述至少兩個(gè)發(fā)射單元之間設(shè)置有第二溝槽，所述第二溝槽的長度大于所述發(fā)射單元的長度
其中，至少兩個(gè)所述發(fā)射單元通過焊盤電極連接，部分所述焊盤電極位于所述第二溝槽內(nèi)，
其中，所述第一導(dǎo)電連接層位于所述第二溝槽內(nèi)，所述第一導(dǎo)電連接層的一端還連接所述焊盤電極；
其中，每一所述發(fā)射單元內(nèi)包括第二導(dǎo)電連接層，所述第二導(dǎo)電連接層位于所述發(fā)射單元的第二接觸層上；
其中，所述焊盤電極接觸并設(shè)置在所述第二導(dǎo)電連接層上，相鄰兩個(gè)所述發(fā)射器之間通過所述焊盤電極及所述第一導(dǎo)電連接層串聯(lián)。
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