[發明專利]一種激光器及其制造方法與應用有效

申請號：	202010143276.0	申請日：	2020-03-04
公開（公告）號：	CN111313233B	公開（公告）日：	2021-07-27
發明（設計）人：	梁棟;劉嵩;張成	申請（專利權）人：	常州縱慧芯光半導體科技有限公司
主分類號：	H01S5/183	分類號：	H01S5/183;H01S5/42;G01B11/24
代理公司：	上海光華專利事務所(普通合伙) 31219	代理人：	王華英
地址：	213000 江蘇省常州***	國省代碼：	江蘇;32
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摘要：
搜索關鍵詞：	一種激光器及其制造方法應用
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【說明書】：

本發明提出一種激光器及其制造方法與應用，包括，襯底；多個發光單元，設置在所述襯底上，所述多個發光單元之間相互絕緣；其中，每一所述發光單元與所述襯底之間形成有電流阻擋層及電流擴散層，所述電流擴散層位于所述電流阻擋層上，每一所述發光單元內的電流從第一電極通過所述電流擴散層流向第二電極。本發明提出的激光器可以實現發光單元與襯底的電隔離。

技術領域

本發明涉及激光器技術領域，特別涉及一種激光器及其制造方法與應用。

背景技術

垂直腔面發射激光器(Vertical Cavity Surface Emitting Laser，VCSEL)是以砷化鎵半導體材料為基礎研制，有別于LED(發光二極管)和LD(Laser Diode，激光二極管)等其他光源，具有體積小、圓形輸出光斑、單縱模輸出、閾值電流小、價格低廉、易集成為大面積陣列等優點，廣泛應用于光通信、光互連、光存儲等領域。

VCSEL從誕生起就作為新一代光存儲和光通信應用的核心器件，為互聯網的需求和光學存儲密度的不斷提高提供了一條新途徑。隨著VCSEL的研究深入以及應用需求的拓展，VCSEL不僅在手機、消費性電子等領域發揮越來越重要的作用，VCSEL還可以用來進行人臉識別、3D感測、手勢偵測和VR(虛擬現實)/AR(增強現實)/MR(混合現實)等。

現有技術中VCSEL陣列將多個發光器排列在基板上，不同單獨控制每個發射器，同時還無法減少VCSEL陣列的尺寸。

發明內容

鑒于上述現有技術的缺陷，本發明提出一種激光器及其制造方法，以單獨控制激光器內的多個發光單元。

為實現上述目的及其他目的，本發明提出一種激光器，包括，

襯底；

多個發光單元，設置在所述襯底上，所述多個發光單元之間相互絕緣；

其中，每一所述發光單元與所述襯底之間形成有電流阻擋層及電流擴散層，所述電流擴散層位于所述電流阻擋層上，每一所述發光單元內的電流從第一電極通過所述電流擴散層流向第二電極。

進一步地，所述電流阻擋層的長度大于位于所述電流限制層上的發光單元的長度，且相鄰兩個所述電流阻擋層之間具有預設距離。

進一步地，所述第一電極位于所述發光單元上。

進一步地，所述第二電極位于所述電流擴散層上，且所述第二電極距離所述發光單元具有預設距離。

進一步地，所述電流阻擋層為層疊結構，所述層疊結構包括第一半導體層及第二半導體層，所述第二半導體層位于所述第一半導體層上，所述第一半導體層與所述襯底接觸。

進一步地，所述電流阻擋層為層疊結構，所述層疊結構依次包括第二半導體層，第一半導體層及第二半導體層。