[發明專利]三碘化物離子作為熒光劑的應用以及檢測有機發光顯示薄膜封裝層超微裂縫的方法

有效

• 申請號: 202010140852.6
• 申請日: 2020-03-03
• 公開（公告）號: CN111303869B
• 公開（公告）日: 2022-09-23
• 發明（設計）人: 張南;謝俊明;姚慶鴻;劉兵海;華佑南;李曉旻
• 申請（專利權）人: 勝科納米（蘇州）股份有限公司
• 主分類號: C09K11/61
• 分類號: C09K11/61;B82Y30/00;G01N21/64;G01N21/95
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332
• 代理人: 邊人洲

本發明涉及半導體技術領域，尤其涉及三碘化物離子作為熒光劑的應用以及檢測有機發光顯示薄膜封裝層超微裂縫的方法。本發明提供的檢測有機發光顯示薄膜封裝層超微裂縫的方法，以三碘化物離子作為熒光物滲透到超微裂縫里，通過熒光觀察來檢測有機發光顯示薄膜封裝層的裂縫缺陷。本發明提供的檢測有機發光顯示薄膜封裝層超微裂縫的方法，以三碘化物離子作為熒光物滲透到超微裂縫里，通過熒光觀察來檢測有機發光顯示薄膜封裝層的裂縫缺陷。

技術領域

本發明涉及半導體技術領域，尤其涉及三碘化物離子作為熒光劑的應用以及檢測有機發光顯示薄膜封裝層超微裂縫的方法。

背景技術

針對有機發光顯示(OLED)的薄膜封裝(TFE)中的超微裂縫或針孔的定位，目前還沒有一個十分有效的方法。這些超微裂縫或針孔的尺寸為20-30納米。目前的定位方法主要是FIB/TEM。這個方法的效率非常低下。因此，需要一個高效、快捷的新方法。

發明內容

目前針對有機發光顯示(OLED)的薄膜封裝(TFE)中的超微裂縫或針孔的定位，還沒有一個十分有效的方法。這些超微裂縫或針孔的尺寸為20-30納米。目前的定位方法主要是FIB(聚焦離子束)/TEM(透射電子顯微鏡)，該方法的效率非常低下。因此，需要一個高效、快捷的新方法。

而在熒光分子滲透法中，所使用的熒光分子較大(＞3nm)和熒光顯微鏡分辨率不夠(＞100nm)，對于20納米級缺陷無法探測。

本發明基于三碘化物離子(尺寸為0.6納米)作為熒光劑，通過滲透進入有機發光顯示薄膜封裝層超微裂縫或針孔，再結合超高分辨熒光顯微鏡分析(最高分辨率為20納米)，從而高效、快捷地定位裂縫或針孔。

本發明的第一方面的技術方案提供三碘化物離子作為熒光劑的應用。

進一步地，所述三碘化物離子的激發波長為350-420nm。

本發明的第二方面的技術方案提供一種檢測有機發光顯示薄膜封裝層超微裂縫的方法，對有機發光顯示薄膜封裝層滲透三碘化物離子，通過檢測激發的熒光來判斷所述有機發光顯示薄膜封裝層的超微裂縫。

本發明提供的檢測有機發光顯示薄膜封裝層超微裂縫的方法，以三碘化物離子作為熒光物滲透到超微裂縫里，通過熒光觀察來檢測有機發光顯示薄膜封裝層的裂縫缺陷。

在一些可能的實施方式中，采用配置的三碘化物離子溶液浸泡所述有機發光顯示薄膜封裝層來對所述有機發光顯示薄膜封裝層滲透三碘化物離子。

在一些可能的實施方式中，所述三碘化物離子溶液的濃度為 10-1000ppm。

在一些可能的實施方式中，所述三碘化物離子溶液浸泡所述有機發光顯示薄膜封裝層的時間為0.1-100小時。

在一些可能的實施方式中，所述有機發光顯示薄膜封裝層在用所述三碘化物離子溶液浸泡前還采用有機溶劑擦拭，使其表面潔凈。

在一些可能的實施方式中，所述有機發光顯示薄膜封裝層浸泡所述三碘化物離子溶液后進行清洗和干燥，然后進行檢測。

在一些可能的實施方式中，所述清洗采用溶劑淋洗，去除表面多余的三碘化物離子殘留，所述溶劑優選為去離子水或乙醇。

在一些可能的實施方式中，所述檢測采用超高分辨熒光顯微鏡進行。

在一些可能的實施方式中，所述檢測前還進行切割，優選采用飛秒激光切割：優選切割至大小為1-5cm×1-5cm。

本發明與現有技術相比至少具有以下有益效果：

(1)本發明首次提出以三碘化物離子作為熒光劑。

(2)本發明獨創性地采用熒光離子的方法檢測有機發光顯示 (OLED)的薄膜封裝(TFE)中的超微裂縫或針孔缺陷。