[發(fā)明專利]真空規(guī)的捕集裝置

在審

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• 申請日: 2020-03-03
• 公開（公告）號: CN111167253A
• 公開（公告）日: 2020-05-19
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 張心強(qiáng);陳林
• 申請（專利權(quán)）人: 中科九微科技有限公司
• 主分類號: B01D50/00
• 分類號: B01D50/00;B01D46/00;G01L21/00
• 代理公司: 北京三聚陽光知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11250
• 代理人: 徐律

1.真空規(guī)的捕集裝置，用于將真空規(guī)(1)和待檢測空腔(2)相連通，其特征在于，包括：

連接管(3)，所述連接管(3)的一端與所述真空規(guī)(1)可拆卸連接，另一端與所述待檢測空腔(2)可拆卸連接；以及

用于收集沉積物的捕集組件(4)，所述捕集組件(4)包括主動捕集器(41)和被動捕集器(42)，所述主動捕集器(41)和所述被動捕集器(42)均串聯(lián)于所述連接管(3)上，且所述捕集組件(4)與所述連接管(3)可拆卸連接。

2.如權(quán)利要求1所述的真空規(guī)的捕集裝置，其特征在于：所述主動捕集器(41)包括四個電極柱(411)和分別連接四個所述電極柱(411)的射頻電源，四個所述電極柱(411)平行設(shè)置并圍合形成四極場，且所述電極柱(411)的長度方向與所述連接管(3)的延伸方向一致。

3.如權(quán)利要求1所述的真空規(guī)的捕集裝置，其特征在于：所述主動捕集器(41)包括陰極筒體(412)、間隔設(shè)于所述陰極筒體(412)內(nèi)的陽極柵網(wǎng)(413)以及與所述陰極筒體(412)和所述陽極柵網(wǎng)(413)相連接的電源。

4.如權(quán)利要求3所述的真空規(guī)的捕集裝置，其特征在于：所述陰極筒體(412)內(nèi)還設(shè)有氣體擋板(414)，所述氣體擋板(414)位于所述陽極柵網(wǎng)(413)遠(yuǎn)離所述真空規(guī)(1)的一側(cè)。

5.如權(quán)利要求4所述的真空規(guī)的捕集裝置，其特征在于：所述氣體擋板(414)位于所述陰極筒體(412)的中間，且所述氣體擋板(414)的外緣與所述陰極筒體(412)的內(nèi)壁之間具有間隙。

6.如權(quán)利要求1至5任一項所述的真空規(guī)的捕集裝置，其特征在于：所述被動捕集器(42)包括活性炭吸附件(421)和分子篩吸附件(422)。

7.如權(quán)利要求6所述的真空規(guī)的捕集裝置，其特征在于：所述活性炭吸附件(421)和所述分子篩吸附件(422)分別位于所述主動捕集器(41)的相對兩側(cè)。

8.如權(quán)利要求1至5任一項所述的真空規(guī)的捕集裝置，其特征在于：所述捕集組件(4)設(shè)于所述連接管(3)和所述真空規(guī)(1)的連接處；或者，所述捕集組件(4)的兩端均連接有所述連接管(3)，且兩端的所述連接管(3)分別與所述真空規(guī)(1)和所述待檢測空腔(2)相連接。

9.如權(quán)利要求8所述的真空規(guī)的捕集裝置，其特征在于：所述捕集組件(4)和所述連接管(3)的連接處設(shè)有密封結(jié)構(gòu)。

10.如權(quán)利要求9所述的真空規(guī)的捕集裝置，其特征在于：所述密封結(jié)構(gòu)采用橡膠密封或金屬密封。