[發明專利]顯微物鏡以及自動光學檢測系統

有效

• 申請號: 202010140625.3
• 申請日: 2020-03-03
• 公開（公告）號: CN111239996B
• 公開（公告）日: 2022-01-07
• 發明（設計）人: 高建祥
• 申請（專利權）人: 上海御微半導體技術有限公司
• 主分類號: G02B21/02
• 分類號: G02B21/02;G02B13/00;G02B27/00;G01N21/88
• 代理公司: 上海恒銳佳知識產權代理事務所(普通合伙) 31286
• 代理人: 黃海霞

1.一種顯微物鏡，其特征在于，沿光軸自像側到物側至少依次包括：

第一鏡頭組，所述第一鏡頭組具有負光焦度；所述第一鏡頭組自像側到物側至少依次包括第一透鏡以及第二透鏡；

第二鏡頭組，所述第二鏡頭組具有正光焦度，所述第二鏡頭組用于對從第二鏡頭組的物側入射至所述第二鏡頭組的光束進行偏折；所述第二鏡頭組至少包括第三透鏡；

第三鏡頭組，所述第三鏡頭組具有負光焦度，所述第三鏡頭組用于對從所述第三鏡頭組的物側入射，并從所述第三鏡頭組的像側出射至所述第二鏡頭組的光束進行像差校正；以及

第四鏡頭組，所述第四鏡頭組具有正光焦度，所述第四鏡頭組用于對從第四鏡頭組的物側入射至所述第四鏡頭組的光束進行縮束；

所述第一鏡頭組的焦距F₁、所述第二鏡頭組的焦距F₂以及所述第二透鏡和所述第三透鏡之間的相近頂點間隔d₃滿足如下公式：

0.7(|F₁|+d₃)＜F₂＜2.1(|F₁|+d₃)。

2.根據權利要求1所述的顯微物鏡，其特征在于：

所述第一透鏡為正透鏡；以及

所述第二透鏡為負透鏡，所述第二透鏡與所述第一透鏡膠合。

3.根據權利要求2所述的顯微物鏡，其特征在于：所述第一透鏡的阿貝數v₁及所述第二透鏡的阿貝數v₂滿足如下公式：

v₂-v₁＞16。

4.根據權利要求2所述的顯微物鏡，其特征在于：所述第三透鏡為正透鏡，所述第三透鏡具有面向物側的凸形表面的彎月形狀。

5.根據權利要求1所述的顯微物鏡，其特征在于：所述第三鏡頭組沿光軸自像側到物側至少依次包括：

第一子鏡頭組，所述第一子鏡頭組沿光軸自像側到物側至少依次包括第四透鏡、第五透鏡及第六透鏡，其中，所述第四透鏡及第六透鏡為正透鏡，所述第五透鏡為負透鏡；以及

第二子鏡頭組，所述第二子鏡頭組沿光軸自像側到物側至少依次包括第七透鏡、第八透鏡及第九透鏡，其中，所述第七透鏡及第九透鏡為正透鏡，所述第八透鏡為負透鏡。

6.根據權利要求5所述的顯微物鏡，其特征在于：

所述第四透鏡的面向物側的凸形表面與所述第五透鏡的面向像側的凹形表面膠合形成第一膠合面；

所述第五透鏡的面向物側的凹形表面與所述第六透鏡的面向像側的凸形表面膠合形成第二膠合面；

所述第七透鏡的面向物側的凸形表面與所述第八透鏡的面向像側的凹形表面膠合形成第三膠合面；以及

所述第八透鏡的面向物側的凹形表面與所述第九透鏡的面向像側的凸形表面膠合形成第四膠合面。

7.根據權利要求6所述的顯微物鏡，其特征在于：對于第一膠合面、所述第二膠合面、所述第三膠合面以及所述第四膠合面中至少一膠合面，形成該膠合面的正透鏡的折射率N_r及負透鏡的折射率N_c滿足如下公式：

N_c-N_r＞0.06。

8.根據權利要求1所述的顯微物鏡，其特征在于：所述第四鏡頭組自像側到物側至少依次包括：

第十透鏡，所述第十透鏡具有面向像側的凸形表面的彎月形狀；

第十一透鏡，所述第十一透鏡具有面向像側的凸形表面的彎月形狀；

所述第十透鏡與所述第十一透鏡齊焦。

9.一種自動光學檢測系統，其特征在于，包括如權利要求1至8中任意一項所述的顯微物鏡。