[發明專利]流體傳感器

在審

• 申請號: 202010139547.5
• 申請日: 2020-03-03
• 公開（公告）號: CN111650395A
• 公開（公告）日: 2020-09-11
• 發明（設計）人: 秋山典之;山本洋太
• 申請（專利權）人: 美蓓亞三美株式會社
• 主分類號: G01P5/12
• 分類號: G01P5/12;G01P13/02
• 代理公司: 北京銀龍知識產權代理有限公司 11243
• 代理人: 金成哲;宋春華

本發明提供實現流向及流速的檢測精度的提高的流體傳感器，其具有：主發熱電阻體；一對X軸溫度檢測體，其配置于以上述主發熱電阻體為中心在X軸方向上對置的位置；一對Y軸溫度檢測體，其配置于以上述主發熱電阻體為中心在Y軸方向上對置的位置；以及副發熱電阻體，其連接于上述主發熱電阻體，且配置于上述X軸溫度檢測體與上述Y軸溫度檢測體之間。

技術領域

本發明涉及流體傳感器。

背景技術

目前，已知檢測空氣等流體的流動的流體傳感器。作為這樣的流體傳感器，已知熱式的流體傳感器。該熱式的流體傳感器具有MEMS(Micro-Electro-Mechanical Systems)方式的流體傳感器。

MEMS方式的流體傳感器通過在形成于傳感器芯片的隔膜(薄膜結構體)的中央設置加熱器并在該加熱器的上游側及下游側配置溫度檢測體(電阻體)而構成。作為檢測對象的流體在隔膜上流動，由此在加熱器的上游側和下游側產生與流體的流動相應的溫度差。將該溫度差利用配置于上游側及下游側的兩個溫度檢測體檢測，由此能夠檢測流體的流動。

在這樣的流體傳感器中，由加熱器產生的熱的溫度分布優選在不產生流體的流動的情況下以加熱器為中心對稱。因此，提案了適于將溫度分布均勻化的各種加熱器形狀(例如，參照專利文獻1、2)。

另外，為了檢測流體的方向(流向)，通過以加熱器為中心在X軸方向及Y軸方向分別配置一對溫度檢測體(電阻體)而構成(例如，參照專利文獻3)。根據該結構，通過檢測向X軸方向及Y軸方向的流體的流動，能夠檢測流向及流速。

現有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：日本專利3687724號

專利文獻2：日本專利3461469號

專利文獻3：日本特開2017－67643號公報

發明內容

發明所要解決的課題

在專利文獻3記載的流體傳感器中，為了使由加熱器帶來的熱的溫度分布均勻化，考慮將該溫度分布做成以加熱器為中心的圓形。但是，若這樣將溫度分布做成圓形，則溫度檢測體被配置于以加熱器為中心的X軸及Y軸上，由此相對于流體沿X軸或Y軸流動的情況，在流體從X軸及Y軸以外的方向流動的情況，溫度檢測體的檢測靈敏度降低。

這樣，在專利文獻3記載的流體傳感器中，期望進行流向及流速的檢測精度的改善。

本發明的目的在于實現流向及流速的檢測精度的提高。

用于解決課題的方案

公開的技術為流體傳感器，其具有：主發熱電阻體；一對X軸溫度檢測體，其配置于以上述主發熱電阻體為中心在X軸方向上對置的位置；一對Y軸溫度檢測體，其配置于以上述主發熱電阻體為中心在Y軸方向上對置的位置；以及副發熱電阻體，其連接于上述主發熱電阻體，且配置于上述X軸溫度檢測體與上述Y軸溫度檢測體之間。

發明的效果

根據本發明，能夠實現流向及流速的檢測精度的提高。

附圖說明

圖1是示例第一實施方式的流體傳感器的構造的俯視圖。

圖2是沿圖1的A－A線的剖視圖。

圖3是發熱電阻體附近的放大圖。

圖4是表示流速為零的情況下的溫度分布的一例的圖。

圖5是示例現有例的溫度分布根據流體的流動而變化的狀態的圖。

圖6是示例本實施方式的溫度分布根據流體的流動而變化的狀態的圖。