[發(fā)明專利]熱處理裝置在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 202010139120.5 | 申請日： | 2020-03-03 |
| 公開（公告）號： | CN112747601A | 公開（公告）日： | 2021-05-04 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 中西裕也;辻本洋平;西岡昌浩;青栁圭太;中窪尚生;笠次克尚;淺野真 | 申請（專利權(quán)）人： | 光洋熱系統(tǒng)股份有限公司 |
| 主分類號： | F27D5/00 | 分類號： | F27D5/00;F27D1/18 |
| 代理公司： | 北京三友知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11127 | 代理人： | 于靖帥;黃綸偉 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 熱處理 裝置 | ||
提供熱處理裝置，進(jìn)一步降低在熱處理裝置中對收納被處理物的管施加的負(fù)荷。熱處理裝置(1)具有：臥式的管(4)，其包含用于取出放入被處理物(100)的開口部(4a)；門(8)，其對開口部(4a)進(jìn)行開閉；以及門支承機(jī)構(gòu)(9)，其與管(4)的開口部(4a)沿上下方向(Z)移位的動(dòng)作聯(lián)動(dòng)而將門(8)支承為能夠沿上下方向(Z)移位。
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及用于在加熱的氣氛下對被處理物進(jìn)行處理的熱處理裝置。
背景技術(shù)
公知有用于對基板等材料進(jìn)行熱處理的熱處理裝置(例如，參照專利文獻(xiàn)1)。專利文獻(xiàn)1所記載的熱處理裝置具有石英制的管。該管形成為筒狀，以該管的中心軸線為水平方向的方式橫向配置。該管收納基板等被處理物。在管內(nèi)，通過熱反應(yīng)對被處理物實(shí)施期望的熱處理。在對被處理物進(jìn)行熱處理時(shí)，管的開口部被門關(guān)閉。
專利文獻(xiàn)1：日本特開2014-53550號公報(bào)
管例如被支承部件支承。另外，門被門開閉裝置支承為能夠開閉。
熱處理裝置為了將被處理物加熱至幾百度以上而處于高溫。因此，管也處于高溫。如果管處于高溫，則管用的支承部件也處于高溫，因此支承部件和管等熱膨脹，其結(jié)果為，管的開口部中的各部分的上下位置發(fā)生變化。另外，由于被處理物被搬入到管內(nèi)，所以管有時(shí)受到來自該被處理物的載荷而相對于水平方向傾斜，開口部的上下位置發(fā)生變化。這樣，管的上下位置發(fā)生變化，另一方面，將開口部關(guān)閉的狀態(tài)的門被門開閉裝置固定為不會(huì)發(fā)生移位，因此上下位置不發(fā)生變化。其結(jié)果為，管的開口部必須承受沿上下方向移動(dòng)的力并且與被固定的門發(fā)生相對移動(dòng)。由此，對管的開口部施加較大的負(fù)荷，成為管的開口部容易產(chǎn)生破損的一個(gè)原因。
發(fā)明內(nèi)容
鑒于上述情況，本發(fā)明的目的在于，在熱處理裝置中進(jìn)一步降低對收納被處理物的管施加的負(fù)荷。
(1)為了解決上述課題，本發(fā)明的一個(gè)方面的熱處理裝置具有：臥式的管，其包含用于取出放入被處理物的開口部；門，其對所述開口部進(jìn)行開閉；以及門支承機(jī)構(gòu)，其與所述管的所述開口部沿上下方向移位的動(dòng)作聯(lián)動(dòng)而將所述門支承為能夠沿所述上下方向移位。
根據(jù)該結(jié)構(gòu)，在由于處于高溫的管支承部件熱膨脹而使管的開口部的上下位置發(fā)生變化的情況下，或者在由于處于高溫的管熱膨脹而使該管的開口部的上下位置發(fā)生變化的情況下，或者在由于管內(nèi)的被處理物的載荷平衡而導(dǎo)致該管的開口部的上下位置發(fā)生變化的情況下，門能夠與管的開口部的上下位置的變化一致地沿上下方向移位。其結(jié)果為，管的開口部不會(huì)從門受到較大的力。因此，能夠進(jìn)一步降低施加于管的開口部的負(fù)荷。
(2)有時(shí)所述門支承機(jī)構(gòu)具有：第1支承部件，其為了對所述門進(jìn)行支承而與所述門連結(jié)；第2支承部件，其對所述第1支承部件進(jìn)行支承；以及第1彈性部件，其以所述第1支承部件能夠相對于所述第2支承部件沿所述上下方向移動(dòng)的方式將來自所述第1支承部件的載荷傳遞給所述第2支承部件。
根據(jù)該結(jié)構(gòu)，門支承機(jī)構(gòu)能夠通過第1彈性部件的彈性變形而使門沿上下方向順暢地移動(dòng)。
(3)有時(shí)所述門以能夠繞軸線移位的方式與所述第1支承部件連結(jié)，其中，該軸線沿與所述上下方向垂直的左右方向延伸。
根據(jù)該結(jié)構(gòu)，在管的開口部以相對于上下方向傾斜的方式移位的情況下(例如在由于管內(nèi)的被處理物的載荷平衡而導(dǎo)致該管的開口部相對于上下方向傾斜的情況下)，門支承機(jī)構(gòu)能夠以與該傾斜一致的方式使門傾斜。由此，能夠抑制在管的開口部與門之間產(chǎn)生間隙，并且能夠抑制較大的負(fù)荷作用于管的開口部。
(4)有時(shí)所述門和所述第1支承部件是使用球面接頭連結(jié)的。
根據(jù)該結(jié)構(gòu)，能夠進(jìn)一步提高門以與管的開口部的移位一致的方式移位的自由度，并且接頭以較少的部件數(shù)量即可完成。
(5)有時(shí)所述第1支承部件包含沿所述上下方向延伸的軸狀部，并且所述第1支承部件穿過形成于所述第2支承部件的貫通孔。
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