[發明專利]一種具有檢測功能的衍射光學鏡片及其制作方法

有效

• 申請號: 202010137061.8
• 申請日: 2020-03-02
• 公開（公告）號: CN111208649B
• 公開（公告）日: 2023-09-29
• 發明（設計）人: 王敏銳;孫旭
• 申請（專利權）人: 蘇州中為聯創微納制造創新中心有限公司
• 主分類號: G02B27/42
• 分類號: G02B27/42;G06V40/16
• 代理公司: 蘇州簡理知識產權代理有限公司 32371
• 代理人: 楊瑞玲;楊曉東

1.一種具有檢測功能的衍射光學鏡片，其特征在于，包括：

石英薄片(7)，其被設置為接收來自外部設備的光束，所述石英薄片(7)具有上表面(71)以及與所述上表面(71)相對設置的下表面(72)，所述上表面(71)具有衍射光柵(711)，所述下表面(72)具有若干凹槽；

金屬電阻(8)，其被設置的檢測所述石英薄片(7)的電導率，所述金屬電阻(8)嵌入所述凹槽內，所述金屬電阻(8)在所述石英薄片(7)的下表面(72)形成連續的金屬電阻網絡回路；

所述外部光束自所述衍射光柵(711)的一側穿透所述石英薄片(7)照射在被識別物體(1)上，當所述石英薄片(7)破損時，石英薄片(7)的電導率發生變化，所述金屬電阻(8)根據檢測到的電導率變化控制外部設備停止發射光束。

2.根據權利要求1所述的衍射光學鏡片，其特征在于，所述若干凹槽在所述石英薄片(7)的下表面(72)呈點狀分布，

所述下表面(72)上與所述衍射光柵(711)相對應的位置為透光區域(721)，所述透光區域(721)無所述凹槽；

所述凹槽遠離所述透光區域(721)，且所述凹槽靠近所述石英薄片(7)的邊緣。

3.根據權利要求2所述的衍射光學鏡片，其特征在于，所述凹槽集中分布在所述石英薄片(7)的四周。

4.根據權利要求1所述的衍射光學鏡片，其特征在于，所述若干凹槽在所述石英薄片(7)的下表面呈陣列分布，所述陣列分布包括網格分布，所述網格包括多邊形網格，所述凹槽與所述多邊形網格的邊一一對應設置。

5.根據權利要求1所述的衍射光學鏡片，其特征在于，所述金屬電阻(8)與所述凹槽一一對應，所述金屬電阻(8)的形狀與所述凹槽的形狀一致。

6.根據權利要求1所述的衍射光學鏡片，其特征在于，所述金屬電阻(8)包括納米銀和石墨烯；

所述納米銀和石墨烯通過印旋涂和/或噴涂的方式填充在所述凹槽內形成所述金屬電阻(8)。

7.根據權利要求1所述的衍射光學鏡片，其特征在于，所述凹槽的形狀包括圓形、橢圓形、矩形、三角形和貝殼形。

8.一種具有檢測功能的衍射光學鏡片的制作方法，其特征在于，包括如下步驟：

S1：清洗帶有完整衍射光柵(711)的石英薄片(7)，在所述石英薄片(7)刻有衍射光柵(711)的一面的相對面進行光刻顯影處理，在所述石英薄片(7)上對若干凹槽進行預定位；

S2：按照步驟S1在所述石英薄片(7)上獲得的預定位，對石英薄片(7)進行刻蝕，在所述石英薄片(7)上表面制得若干凹槽；

S3：在步驟S2制得的若干凹槽內涂覆銀漿，對所述銀漿進行預固化，獲得初步成型的金屬電阻(8)；

S4：對步驟S3獲得的初步成型的金屬電阻(8)進行去膠處理，形成初步成型的金屬電阻網絡回路，對所述金屬電阻網絡回路進行固化處理，獲得成型金屬電阻網絡回路。

9.根據權利要求8所述的制作方法，其特征在于，對于步驟S3，所述涂覆銀漿包括噴涂和旋涂。