[發(fā)明專(zhuān)利]一種非制冷光學(xué)讀出式紅外熱成像系統(tǒng)

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202010136070.5
• 申請(qǐng)日: 2020-03-02
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN111380829A
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-07-07
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王敏;李松
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 南方科技大學(xué)
• 主分類(lèi)號(hào): G01N21/35
• 分類(lèi)號(hào): G01N21/35
• 代理公司: 深圳市君勝知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 44268
• 代理人: 劉芙蓉;劉文求

1.一種非制冷光學(xué)讀出式紅外熱成像系統(tǒng)，其特征在于，包括從前至后依次排列的前端結(jié)構(gòu)、激發(fā)光源和后端結(jié)構(gòu)，所述前端結(jié)構(gòu)包括真空腔以及位于所述真空腔內(nèi)且從前至后依次設(shè)置的透鏡、紅外探測(cè)陣列、樣品臺(tái)及后視鏡，所述透鏡、所述紅外探測(cè)陣列及所述樣品臺(tái)和所述后視鏡的中心位置均在同一直線(xiàn)上，所述紅外探測(cè)陣列包括若干個(gè)探測(cè)單元，所述探測(cè)單元包括下至上依次設(shè)置的支撐結(jié)構(gòu)、溫敏發(fā)光層、反射層、吸收層以及硅微透鏡。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的非制冷光學(xué)讀出式紅外熱成像系統(tǒng)，其特征在于，所述樣品臺(tái)為中間鏤空平面，所述樣品臺(tái)底部設(shè)置有支腳，所述支腳固定設(shè)置在所述真空腔的內(nèi)壁上。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的非制冷光學(xué)讀出式紅外熱成像系統(tǒng)，其特征在于，所述紅外探測(cè)陣列設(shè)置在所述樣品臺(tái)的鏤空部位上方。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的非制冷光學(xué)讀出式紅外熱成像系統(tǒng)，其特征在于，所述透鏡為鍺紅外非球面透鏡。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的非制冷光學(xué)讀出式紅外熱成像系統(tǒng)，其特征在于，所述溫敏發(fā)光層的材料為溫敏漆材料。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的非制冷光學(xué)讀出式紅外熱成像系統(tǒng)，其特征在于，所述吸收層材料為多孔鉻。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的非制冷光學(xué)讀出式紅外熱成像系統(tǒng)，其特征在于，所述反射層材料為鋁。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的非制冷光學(xué)讀出式紅外熱成像系統(tǒng)，其特征在于，所述后視鏡為高透射率石英玻璃。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的非制冷光學(xué)讀出式紅外熱成像系統(tǒng)，其特征在于，所述后端結(jié)構(gòu)包括濾波片、鏡頭、CCD相機(jī)。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的非制冷光學(xué)讀出式紅外熱成像系統(tǒng)，其特征在于，所述濾波片為帶通濾波片。