[發明專利]一種氣液分離裝置

在審

• 申請號: 202010135836.8
• 申請日: 2020-03-02
• 公開（公告）號: CN111346403A
• 公開（公告）日: 2020-06-30
• 發明（設計）人: 周禮譽
• 申請（專利權）人: 上海兄弟微電子技術有限公司
• 主分類號: B01D19/00
• 分類號: B01D19/00
• 代理公司: 上海昱澤專利代理事務所(普通合伙) 31341
• 代理人: 孟波

本發明公開了一種氣液分離裝置，包括氣液分離器、氣動隔膜閥、手動隔膜閥、液位傳感器、輸入管路、供液管路、排廢管路、排氣管路和傳感器支架；輸入管路通過輸入口與氣液分離器相連通，供液管路通過供液出口與氣液分離器相連通，排廢管路通過排廢出口與氣液分離器相連通，手動隔膜閥固定于排廢管路上，排氣管路通過排氣出口與氣液分離器相連通，氣動隔膜閥固定于排氣管路上。本發明的氣液分離裝置能夠有效降低維修更換的難度、提高了工作效率，并且提供了更好的穩定性和兼容性，降低了成本。

技術領域

本發明涉及化學領域，特別涉及一種氣液分離裝置。

背景技術

隨著濕化學設備在LED、太陽能、MEMS、功率器件、分立器件、先進封裝和半導體材料等領域自動化程度的不斷提高，原有的人工手動配液、補液逐漸由自動供液取代。在化學品自動供液系統的重要組成部分CDM柜中，傳統的氣液分離裝置有以下不足：1、氣液分離器底部未設置排廢裝置，在需要清洗或維修更換時，很難將氣液分離器內的殘留液體徹底排出，增加工作難度，降低工作效率；2、氣液分離器上安裝的液位傳感器所用的支架，只設計有一個固定支腳，且只有一個傳感器安裝孔，實際使用中會在震動時因穩定性不足，影響液位傳感器的準確性，導致誤判；同時，因為只有一個安裝孔，無法通用不同直徑的液位傳感器，缺乏兼容性。

亟需一種可以降低工作難度、提高工作效率；提高工作穩定性；提高兼容性的氣液分離裝置來解決上述技術問題。

發明內容

為了解決上述問題，本發明提供了一種氣液分離裝置，本發明的氣液分離裝置能夠有效降低維修更換的難度、提高了工作效率，并且提供了更好的穩定性和兼容性，降低了成本。

本發明是通過如下技術方案解決上述技術問題的：

本發明提供了一種氣液分離裝置，包括氣液分離器、氣動隔膜閥、手動隔膜閥、液位傳感器、輸入管路、供液管路、排廢管路、排氣管路和傳感器支架；所述氣液分離器的中上方設置有輸入口，所述氣液分離器的下方設置有排廢出口，所述氣液分離器的中上方設置有排氣出口，所述氣液分離器的頂部設置有供液出口，所述排氣出口的位置高于所述輸入口的位置；所述輸入管路通過所述輸入口與所述氣液分離器相連通，所述供液管路通過所述供液出口與所述氣液分離器相連通，所述排廢管路通過所述排廢出口與所述氣液分離器相連通，所述手動隔膜閥固定于所述排廢管路上，所述排氣管路通過所述排氣出口與所述氣液分離器相連通，所述氣動隔膜閥固定于所述排氣管路上；所述傳感器支架包括兩個固定支腳和固定臺面，所述固定支腳與所述固定臺面相互垂直，所述固定支腳固定于所述固定臺面的兩側，所述固定支腳和所述固定臺面為一體結構；所述固定臺面的中部開設有一個圓孔和一個槽孔，所述槽孔的寬度小于所述圓孔的直徑，所述圓孔和所述槽孔相連通，所述固定支腳上開設有圓形孔，所述液位傳感器固定于所述傳感器支架上，所述液位傳感器與所述氣液分離器的內部相連通。

本發明中，所述液位傳感器是一種測量液位的壓力傳感器，將靜壓轉換為電信號，再經過溫度補償和線性修正，轉化成標準電信號，所述液位傳感器的結構為本領域常規。

本發明中，所述氣液分離器用于實現氣液分離，本發明的氣液分離器的底部設置有排廢出口，可以簡單快捷地排出內部殘留的液體，便于及時清洗、維修或更換氣液分離器。

本發明中，所述氣動隔膜閥是一種特殊形式的截斷閥，它的啟閉件是一塊用軟質材料制成的隔膜，把閥體內腔與閥蓋內腔及驅動部件隔開，通過隔膜把下部閥體內腔與上部閥蓋內腔隔開，使位于隔膜上方的閥桿、閥瓣等零件不受介質腐蝕，省去了填料密封結構，且不會產生介質外漏，本發明所述的氣動隔膜閥的結構為本領域常規。

本發明中，所述手動隔膜閥是帶尾閥、具有可消毒滅菌功能的新型閥門，具有開、關限位及狀態顯示功能，該閥門耐酸、耐堿、無外漏、不染菌、易消毒以及維護方便，本發明所述的手動隔膜閥的結構為本領域常規。

本發明中，所述輸入管路用于將需要進行氣液分離的化學品輸入到氣液分離器中，所述輸入管路為本領域常規。