[發(fā)明專(zhuān)利]一種用于硅片線切機(jī)主軸冷卻的高速旋轉(zhuǎn)接頭在審
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 202010134471.7 | 申請(qǐng)日: | 2020-03-02 |
| 公開(kāi)(公告)號(hào): | CN111152377A | 公開(kāi)(公告)日: | 2020-05-15 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 侯繼偉;邢山山;沈一峰 | 申請(qǐng)(專(zhuān)利權(quán))人: | 杭州弘晟智能科技有限公司 |
| 主分類(lèi)號(hào): | B28D5/04 | 分類(lèi)號(hào): | B28D5/04;B28D7/00;B28D7/02 |
| 代理公司: | 蘇州國(guó)卓知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 32331 | 代理人: | 黃少波 |
| 地址: | 311103 浙江省杭州*** | 國(guó)省代碼: | 浙江;33 |
| 權(quán)利要求書(shū): | 查看更多 | 說(shuō)明書(shū): | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 用于 硅片 機(jī)主 冷卻 高速 旋轉(zhuǎn) 接頭 | ||
1.一種用于硅片線切機(jī)主軸冷卻的高速旋轉(zhuǎn)接頭,包括空心軸(1),其特征在于:所述空心軸(1)內(nèi)部活動(dòng)設(shè)置有主軸(2),所述空心軸(1)一端外側(cè)設(shè)置有第一殼體(3),所述空心軸(1)遠(yuǎn)離第一殼體(3)的一端外側(cè)設(shè)置有第二殼體(4),所述第一殼體(3)頂部設(shè)置有進(jìn)水口(5),所述第二殼體(4)頂部設(shè)置有出水口(6),所述第一殼體(3)、第二殼體(4)內(nèi)側(cè)之間均設(shè)置有隔水環(huán)(7),所述第一殼體(3)、第二殼體(4)內(nèi)部在隔水環(huán)(7)兩端均設(shè)置機(jī)械密封機(jī)構(gòu)(8),所述進(jìn)水口(5)、出水口(6)底端在機(jī)械密封機(jī)構(gòu)(8)外側(cè)均設(shè)置有L型密封圈(9),所述第一殼體(3)、第二殼體(4)內(nèi)部一端在空心軸(1)外側(cè)均設(shè)置有深溝球軸承(10),所述第一殼體(3)、第二殼體(4)內(nèi)部在深溝球軸承(10)外側(cè)均設(shè)置有擋圈(11),所述第一殼體(3)一端與第二殼體(4)之間設(shè)置有O型圈(12),所述第二殼體(4)、主軸(2)外部一端外側(cè)表面均安裝有內(nèi)六角螺釘(13),所述第一殼體(3)、第二殼體(4)外側(cè)表面均設(shè)置有消音器(20)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于硅片線切機(jī)主軸冷卻的高速旋轉(zhuǎn)接頭,其特征在于:所述機(jī)械密封機(jī)構(gòu)(8)包括密封圈(14)、彈簧(15)、壓塊(16)、承接環(huán)(17)和離合塊(18),所述第一殼體(3)、第二殼體(4)內(nèi)部一端在空心軸(1)外側(cè)均設(shè)置有密封圈(14),所述密封圈(14)一端均設(shè)置有彈簧(15),所述彈簧(15)遠(yuǎn)離密封圈(14)的一端均固定設(shè)置有壓塊(16)、所述壓塊(16)遠(yuǎn)離彈簧(15)的一側(cè)均固定設(shè)置有承接環(huán)(17),所述承接環(huán)(17)遠(yuǎn)離壓塊(16)的一側(cè)均固定設(shè)置有離合塊(18)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于硅片線切機(jī)主軸冷卻的高速旋轉(zhuǎn)接頭,其特征在于:所述內(nèi)六角螺釘(13)內(nèi)側(cè)均設(shè)置有配墊圈(19)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于硅片線切機(jī)主軸冷卻的高速旋轉(zhuǎn)接頭,其特征在于:所述隔水環(huán)(7)的材質(zhì)為石墨。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于硅片線切機(jī)主軸冷卻的高速旋轉(zhuǎn)接頭,其特征在于:所述O型圈(12)的材質(zhì)為橡膠。
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