[發(fā)明專利]表面分析裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202010134192.0
• 申請日: 2020-03-02
• 公開（公告）號: CN111796122B
• 公開（公告）日: 2023-09-29
• 發(fā)明（設計）人: 藤野敬太
• 申請（專利權）人: 株式會社島津制作所
• 主分類號: G01Q60/00
• 分類號: G01Q60/00;G01Q30/00
• 代理公司: 北京林達劉知識產(chǎn)權代理事務所(普通合伙) 11277
• 代理人: 劉新宇;張會華

本發(fā)明提供一種表面分析裝置。驅動機構(45)以測量部(20)與試樣臺(30)的相對位置關系在第1位置關系與第2位置關系之間切換的方式使測量部(20)和試樣臺(30)相對性地位移。在第2位置關系時，試樣臺(30)自下部殼體的內部暴露于外側。控制裝置(201)包含生成向掃描器(32)供給的高電壓的高電壓生成電路(203)。在第2位置關系時，第1機械式開關(253)不使電源(202)的電壓向高電壓生成電路(203)供給。

技術領域

本發(fā)明涉及一種表面分析裝置。

背景技術

作為以往的分析裝置，在日本特開平8-101219號公報中公開了一種使用設有探針的懸臂來分析試樣面上的微細構造的掃描型探針顯微鏡。

在專利文獻1公開的掃描型探針顯微鏡中，包含光學系統(tǒng)的測量部能移動地固定于相對于試樣臺以預定的位置關系固定的基座。在測量試樣時，測量部配置于試樣臺的上方。通過使測量部自測量時的位置后退，在試樣臺的上方形成用于更換試樣的空間，由此能夠容易地進行試樣的更換作業(yè)。

發(fā)明內容

但是，在掃描型探針顯微鏡的電源接通的狀態(tài)下，對壓電掃描器施加有高電壓。因而，在更換壓電掃描器時，可能成為對壓電掃描器施加有高電壓的狀態(tài)。因而，在更換壓電掃描器時，用戶必須使掃描型探針顯微鏡的電源斷開。

在打開了覆蓋光學系統(tǒng)的蓋的狀態(tài)下，激光光源也是保持點亮狀態(tài)不變，保持對壓電掃描器施加著電壓的狀態(tài)不變。在該狀態(tài)下，掃描型探針顯微鏡仍像通常那樣動作，因此當用戶誤接觸了觀察部分或光學顯微鏡等的調整用旋鈕時，掃描型探針顯微鏡可能錯誤動作。另外，在打開了蓋的狀態(tài)下，激光可能射出。

本發(fā)明的目的在于，提供一種能夠防止掃描型探針顯微鏡因用戶的操作而錯誤動作的表面分析裝置。

本發(fā)明的一技術方案的表面分析裝置包括：試樣臺，其用于載置試樣；試樣臺保持部，其保持試樣臺；測量部，其包含能夠配置為與試樣臺相對的懸臂以及用于驅動懸臂的懸臂驅動部；驅動機構，其用于以測量部與試樣臺的相對位置關系在第1位置關系與第2位置關系之間切換的方式使測量部和試樣臺相對性地位移；控制裝置；以及第1機械式開關。試樣臺包含掃描器和試樣載置部。測量部收納于上部殼體。在第1位置關系時，試樣臺收納于下部殼體。在第2位置關系時，試樣臺自下部殼體的內部暴露于外側。控制裝置包含與電源連接并生成向掃描器供給的高電壓的高電壓生成電路。在第1位置關系時，第1機械式開關使電源的電壓向高電壓生成電路供給，在第2位置關系時，第1機械式開關不使電源的電壓向高電壓生成電路供給。

根據(jù)與附圖關聯(lián)地理解的與本發(fā)明相關的以下詳細的說明，可以清楚本發(fā)明的上述及其他目的、特征、技術方案以及優(yōu)點。

附圖說明

圖1是表示實施方式的掃描型探針顯微鏡的測量裝置1的測量時的狀態(tài)的立體圖。

圖2是表示實施方式的掃描型探針顯微鏡的測量裝置1的取出試樣時或更換掃描器時的狀態(tài)的立體圖。

圖3是表示實施方式的掃描型探針顯微鏡的測量裝置1的蓋打開后的狀態(tài)的立體圖。

圖4是表示實施方式的掃描型探針顯微鏡的測量裝置1的殼體內的結構的一部分的立體圖。

圖5A是用于說明機械式開關252的動作的圖。圖5B是用于說明機械式開關253的動作的圖。

圖6是表示實施方式的掃描型探針顯微鏡的測量裝置1的試樣臺30存在于測量位置的狀態(tài)的概略剖視圖。

圖7是表示實施方式的掃描型探針顯微鏡的測量裝置1的試樣臺30存在于退避位置的狀態(tài)的概略剖視圖。

圖8是表示實施方式的掃描型探針顯微鏡的測量裝置1的試樣臺30存在于試樣取出及掃描器更換的位置的狀態(tài)的概略剖視圖。

圖9是表示實施方式的試樣臺保持部和移動機構的一部分的立體圖。