[發(fā)明專利]掩膜版

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202010131250.4
• 申請(qǐng)日: 2020-02-28
• 公開（公告）號(hào): CN111304585B
• 公開（公告）日: 2022-06-14
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 古春笑;趙坤;張帥
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 昆山國顯光電有限公司
• 主分類號(hào): C23C14/04
• 分類號(hào): C23C14/04;C23C14/12;C23C14/24;H01L51/56
• 代理公司: 北京遠(yuǎn)智匯知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11659
• 代理人: 范坤坤

1.一種掩膜版，其特征在于，包括至少一條掩膜條；所述掩膜條包括遮擋區(qū)和多個(gè)開口；所述遮擋區(qū)設(shè)置在所述開口四周；

所述遮擋區(qū)包括至少一個(gè)熱縮區(qū)；所述熱縮區(qū)包括熱縮材料；所述熱縮區(qū)至少設(shè)置于相鄰所述開口之間；所述熱縮區(qū)靠近相鄰所述開口的邊緣與相鄰所述開口的邊緣之間的距離大于零；

所述熱縮區(qū)的所述熱縮材料與所述遮擋區(qū)其他部分的材料熔融在一起，且在開口方向上，所述熱縮區(qū)的厚度與所述遮擋區(qū)的厚度相等；

所述熱縮區(qū)圍繞與之相鄰的所述開口設(shè)置，圍繞同一所述開口的熱縮區(qū)包括多個(gè)，且圍繞每一所述開口的熱縮區(qū)的數(shù)量相同；

沿所述開口指向圍繞所述開口的熱縮區(qū)的方向，圍繞同一所述開口的熱縮區(qū)依次排布，圍繞同一開口的多個(gè)熱縮區(qū)到所述多個(gè)熱縮區(qū)圍繞的開口的距離依次增加。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掩膜版，其特征在于，

圍繞一所述開口的多個(gè)熱縮區(qū)靠近所述開口的邊緣到所述開口的距離，依次與圍繞另一所述開口的多個(gè)熱縮區(qū)靠近所述開口的邊緣到所述開口的距離相等。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的掩膜版，其特征在于，圍繞所述開口，且距離所述開口最近的所述熱縮區(qū)，與所述開口之間的距離為所述開口寬度的十分之一，其中，所述開口寬度為所述開口沿第一方向的距離；其中，所述第一方向?yàn)樗鲅谀l的長度方向；

優(yōu)選地，所述熱縮區(qū)的寬度為所述開口寬度的十分之一。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掩膜版，其特征在于，所述熱縮區(qū)包括多個(gè)孔，多個(gè)所述孔圍繞所述開口設(shè)置，且呈均勻分布，所述孔內(nèi)填充有熱縮材料。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掩膜版，其特征在于，所述熱縮區(qū)包括至少一個(gè)槽，所述槽圍繞所述開口設(shè)置，所述槽內(nèi)填充有熱縮材料。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掩膜版，其特征在于，所述熱縮材料包括鎳酸鉍合金、鎳酸鉛合金、鎳酸銻合金和鈦酸鉛合金中的至少一種。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掩膜版，其特征在于，所述掩膜條為多條，所述掩膜版還包括掩膜版框架和至少一條第一支撐條；沿第一方向，所述第一支撐條的兩端固定于所述掩膜版框架上，所述掩膜條設(shè)置于所述第一支撐條遠(yuǎn)離所述掩膜版框架的一側(cè)，沿第二方向，所述第一支撐條設(shè)置于相鄰所述掩膜條之間，至少一條所述第一支撐條遠(yuǎn)離所述掩膜條的一側(cè)設(shè)置有工字型結(jié)構(gòu)；其中，所述第一方向?yàn)樗鲅谀l的長度方向，所述第二方向?yàn)樗鲅谀l的寬度方向。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的掩膜版，其特征在于，每一所述第一支撐條遠(yuǎn)離所述掩膜條的一側(cè)均設(shè)置有所述工字型結(jié)構(gòu)。

9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的掩膜版，其特征在于，還包括至少一條第二支撐條；所述第二支撐條的延伸方向與所述第一方向垂直；所述第一支撐條設(shè)置于所述第二支撐條和所述掩膜版框架之間。