[發(fā)明專利]硅片花籃及其制造方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202010131181.7
• 申請日: 2020-02-28
• 公開（公告）號: CN111243997A
• 公開（公告）日: 2020-06-05
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 朱道峰;劉哲偉;張寶慶;陸長征;李海楠;馬南;王慧杰;要博卿
• 申請（專利權(quán)）人: 北京市塑料研究所
• 主分類號: H01L21/673
• 分類號: H01L21/673
• 代理公司: 北京路浩知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11002
• 代理人: 韓世虹

1.一種硅片花籃的制造方法，其特征在于，包括以下步驟：

預先利用拉桿模具注塑制備多根中空的拉桿；

制備多根與所述拉桿的長度和數(shù)量均相同的加強芯桿；

在所述加強芯桿的兩端的端面開設(shè)螺紋孔，并將所述加強芯桿插入對應的所述拉桿中；

制備兩塊開設(shè)有通孔的加強芯板，所述通孔與側(cè)板模具的拉桿安裝孔一一對應；

將所述加強芯板放入所述側(cè)板模具，以注塑制備成花籃側(cè)板；

將插設(shè)有所述加強芯桿的所述拉桿的兩端分別對準對應的所述花籃側(cè)板的安裝孔；

將螺釘從所述花籃側(cè)板背向所述拉桿的一側(cè)通過所述安裝孔旋入對應所述加強芯桿的螺紋孔中。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片花籃的制造方法，其特征在于，還包括以下步驟：

對所述拉桿與所述花籃側(cè)板的接觸處進行熱焊接，以密封所述拉桿的端面與所述花籃側(cè)板之間的縫隙；

從所述花籃側(cè)板背向所述拉桿的一側(cè)對所述安裝孔進行熱焊接，以密封所述安裝孔；

采用電火花檢漏儀檢測密封性。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片花籃的制造方法，其特征在于，所述螺釘上涂抹有熱固性膠粘劑。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的硅片花籃的制造方法，其特征在于，所述熱固性膠粘劑為環(huán)氧樹脂膠。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片花籃的制造方法，其特征在于，所述加強芯桿和所述加強芯板的材質(zhì)為金屬或碳纖維。

6.一種基于權(quán)利要求1至5任一項所述的硅片花籃的制造方法制造的硅片花籃，其特征在于，包括兩塊花籃側(cè)板以及設(shè)于兩塊所述花籃側(cè)板之間的多根中空的拉桿，所述拉桿內(nèi)插設(shè)有與其等長的加強芯桿，所述加強芯桿的兩端的端面開設(shè)有螺紋孔；所述花籃側(cè)板包括加強芯板以及通過注塑包覆在所述加強芯板外側(cè)的塑料層，所述花籃側(cè)板的表面形成有與所述拉桿一一對應的安裝孔，所述安裝孔裝配有與所述螺紋孔配合的螺釘。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的硅片花籃，其特征在于，所述拉桿和/或所述塑料層的材質(zhì)為PVDF。

8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的硅片花籃，其特征在于，所述拉桿沿其長度方向開設(shè)有多個齒槽，所述齒槽用于插設(shè)硅片。

9.根據(jù)權(quán)利要求6所述的硅片花籃，其特征在于，所述加強芯板的形狀為矩形或圓形。