[發(fā)明專利]一種鍵合頭結(jié)構(gòu)及芯片鍵合設(shè)備

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202010130818.0
• 申請日: 2020-02-28
• 公開（公告）號: CN113327867B
• 公開（公告）日: 2023-06-09
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 朱鷙
• 申請（專利權(quán)）人: 上海微電子裝備（集團(tuán)）股份有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 上海思捷知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 31295
• 代理人: 王宏婧

1.一種鍵合頭結(jié)構(gòu)，其特征在于，包括一底板、至少一個(gè)第一方向調(diào)節(jié)裝置和N個(gè)芯片承載組件，N≥2；

所述第一方向調(diào)節(jié)裝置設(shè)置在所述底板上，至少一個(gè)所述芯片承載組件固定在所述第一方向調(diào)節(jié)裝置上；

所述第一方向調(diào)節(jié)裝置用于調(diào)節(jié)所述芯片承載組件之間沿第一方向的距離，以使所述芯片承載組件之間沿所述第一方向相互遠(yuǎn)離或靠近；

所述第一方向調(diào)節(jié)裝置包括至少一個(gè)第一方向?qū)к壈惭b板、一個(gè)第一方向驅(qū)動(dòng)部件和至少一個(gè)第一方向?qū)к墸渲校龅谝环较蝌?qū)動(dòng)部件至少對應(yīng)一個(gè)所述第一方向?qū)к墸?/p>

所述第一方向?qū)к壈惭b板固定在所述底板上，所述第一方向?qū)к壒潭ㄔ谒龅谝环较驅(qū)к壈惭b板上，所述第一方向?qū)к壍难由旆较蚱叫杏谒龅谝环较颍?/p>

所述第一方向驅(qū)動(dòng)部件固定在所述底板上，所述第一方向驅(qū)動(dòng)部件包括S₁個(gè)第一方向調(diào)節(jié)件，所述第一方向?qū)к壣暇O(shè)置有至少S₁個(gè)第一方向滑塊，所述第一方向滑塊能夠沿其所在的第一方向?qū)к壨鶑?fù)移動(dòng)，每個(gè)所述第一方向調(diào)節(jié)件與至少一個(gè)所述第一方向滑塊對應(yīng)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的鍵合頭結(jié)構(gòu)，其特征在于，還包括若干個(gè)第二方向調(diào)節(jié)裝置，至少一個(gè)所述第二方向調(diào)節(jié)裝置固定在所述第一方向調(diào)節(jié)裝置上，至少一個(gè)所述芯片承載組件固定在所述第二方向調(diào)節(jié)裝置上；

所述第一方向調(diào)節(jié)裝置用于調(diào)節(jié)固定在其上的第二方向調(diào)節(jié)裝置在所述第一方向的位置，從而使得所述芯片承載組件之間沿所述第一方向相互遠(yuǎn)離或靠近；

所述第二方向調(diào)節(jié)裝置用于調(diào)節(jié)所述芯片承載組件之間在第二方向的距離，以使所述芯片承載組件之間沿所述第二方向相互遠(yuǎn)離或靠近；

其中，所述第一方向和所述第二方向具有非零夾角。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的鍵合頭結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述芯片承載組件分別沿所述第一方向和所述第二方向呈N₁×N₂分布，所述第一方向調(diào)節(jié)裝置有M₁個(gè)，M₁≤N₂，S₁≤N₁；

所述第二方向調(diào)節(jié)裝置有M₂個(gè)，所述第二方向調(diào)節(jié)裝置固定在所述第一方向調(diào)節(jié)件和與所述第一方向調(diào)節(jié)件對應(yīng)的至少一個(gè)所述第一方向滑塊上，?M₂≤N₁。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的鍵合頭結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述第二方向調(diào)節(jié)裝置包括至少一個(gè)第二方向?qū)к壈惭b板、一個(gè)第二方向驅(qū)動(dòng)部件和至少一個(gè)第二方向?qū)к墸渲校龅诙较蝌?qū)動(dòng)部件至少對應(yīng)一個(gè)所述第二方向?qū)к墸?/p>

所述第二方向?qū)к壈惭b板固定在所述第一方向調(diào)節(jié)件和與所述第一方向調(diào)節(jié)件對應(yīng)的至少一個(gè)所述第一方向滑塊上；

所述第二方向?qū)к壒潭ㄔ谒龅诙较驅(qū)к壈惭b板上，所述第二方向?qū)к壍难由旆较蚱叫杏谒龅诙较颍?/p>

所述第二方向驅(qū)動(dòng)部件包括S₂個(gè)第二方向調(diào)節(jié)件，所述第二方向?qū)к壣暇O(shè)置有至少S₂個(gè)第二方向滑塊，所述第二方向滑塊能夠沿其所在的第二方向?qū)к壨鶑?fù)移動(dòng)，每個(gè)所述第二方向調(diào)節(jié)件與至少一個(gè)所述第二方向滑塊對應(yīng)，其中S₂≤N₂；

至少一個(gè)所述芯片承載組件固定在所述第二方向調(diào)節(jié)件和與所述第二方向調(diào)節(jié)件對應(yīng)的至少一個(gè)所述第二方向滑塊上。