[發(fā)明專利]一種加熱固化裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202010130265.9
• 申請日: 2020-02-28
• 公開（公告）號: CN111293063B
• 公開（公告）日: 2022-09-13
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 申麗萍;林峰;徐琳
• 申請（專利權(quán)）人: 昆山國顯光電有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;G09F9/30
• 代理公司: 北京遠(yuǎn)智匯知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11659
• 代理人: 范坤坤

本發(fā)明實施例公開了一種加熱固化裝置，包括第一加熱源和底座，第一加熱源用于對待加熱固化的基板進(jìn)行加熱固化；底座用于放置待加熱固化的基板，底座可帶動基板運動以調(diào)節(jié)基板與第一加熱源之間的相對位置。本發(fā)明實施例的技術(shù)方案可以提高基板的各區(qū)域受熱均勻性，從而提高固化均勻性，可以提高固化效果，避免基板始終與第一加熱源的位置固定，導(dǎo)致基板上的靠近第一加熱源的那部分有機(jī)膜層的溫度高于基板上的遠(yuǎn)離第一加熱源的那部分有機(jī)膜層的溫度，導(dǎo)致基板上的有機(jī)膜層受熱不均，局部固化不良，在后續(xù)制備柔性顯示面板的制程中，有機(jī)膜層容易脫落或破膜的情況發(fā)生。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及顯示器件加工技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種加熱固化裝置。

背景技術(shù)

柔性顯示裝置具有可彎曲、不易碎、超輕超薄、低功耗、便攜等特點，在電子書、移動通信、筆記本、電視、公共信息等領(lǐng)域具有廣闊的應(yīng)用前景和良好的發(fā)展前景。

目前柔性基板的制備方法通常是在玻璃基板上涂覆PI(聚酰亞胺)膠，而后將該玻璃基板送入PI膠固化腔室中進(jìn)行固化，存在玻璃基板上的PI膠受熱不均勻，固化效果差的問題。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明實施例提供一種加熱固化裝置，以提高待加熱固化的基板受熱均勻性，提高固化均勻性，提高固化效果，且通過使多個真空度不同的腔室同時運作，可以有效縮短制程時間，解決了若只設(shè)置一個真空腔室，將基板從非真空狀態(tài)的外界環(huán)境送入真空腔室中或?qū)⒒鍙恼婵涨皇胰〕鰰r，需要進(jìn)行破真空或抽真空的時間較長，導(dǎo)致生產(chǎn)效率低的問題。

本發(fā)明實施例提供了一種加熱固化裝置，包括：

第一加熱源，第一加熱源用于對待加熱固化的基板進(jìn)行加熱固化；

底座，底座用于放置待加熱固化的基板，底座可帶動基板運動以調(diào)節(jié)基板與第一加熱源之間的相對位置，以提高基板的各區(qū)域受熱均勻性，從而提高固化均勻性，以提高固化效果，避免基板始終與第一加熱源的位置固定，導(dǎo)致基板上的靠近第一加熱源的那部分有機(jī)膜層的溫度高于基板上的遠(yuǎn)離第一加熱源的那部分有機(jī)膜層的溫度，導(dǎo)致基板上的有機(jī)膜層受熱不均，局部固化不良，在后續(xù)制備柔性顯示面板的制程中，有機(jī)膜層容易脫落或破膜的情況發(fā)生。

進(jìn)一步地，第一加熱源位于底座用于放置基板的表面的邊緣的外側(cè)，底座可繞沿垂直于底座用于放置基板的表面的中心軸轉(zhuǎn)動，以調(diào)節(jié)基板與第一加熱源之間的相對位置。

進(jìn)一步地，底座包括多個并排間隔設(shè)置的條狀結(jié)構(gòu)，基板放置于條狀結(jié)構(gòu)上，以方便通過叉子狀的機(jī)械手插入條狀結(jié)構(gòu)之間的空隙中，以方便放置或取走基板。

進(jìn)一步地，加熱固化裝置還包括：第一真空腔室，底座設(shè)置于第一真空腔室內(nèi)，第一加熱源設(shè)置于第一真空腔室的內(nèi)壁上，內(nèi)壁為第一真空腔室垂直于底座所在平面的內(nèi)壁，通過在第一真空腔室實現(xiàn)基板上的有機(jī)膜層的加熱固化，可以有效排出有機(jī)膜層中的有機(jī)氣體，提高固化效果。

進(jìn)一步地，第一真空腔室為長方體腔室，第一加熱源均勻設(shè)置于第一真空腔室的三個內(nèi)壁上，以使第一加熱源圍繞基板的三個側(cè)邊，提高基板受熱的均勻性。

進(jìn)一步地，第一真空腔室內(nèi)的氣壓大于等于10^-6毫巴，小于等于10^-5毫巴。氣壓越小，真空度越大，越有利于排出有機(jī)膜層中的有機(jī)氣體，固化效果越好，但真空度不能過大，抽真空和破真空的時間和難度會增大。

進(jìn)一步地，加熱固化裝置還包括：第二真空腔室，第二真空腔室的真空度低于第一真空腔室的真空度，第二真空腔室用于對基板進(jìn)行預(yù)處理，預(yù)處理后的基板傳遞至第一真空腔室。通過設(shè)置第一真空腔室和第二真空腔室可實現(xiàn)多批次貨物運作，保障低真空等待腔室隨時有貨物等待作業(yè)。相比大氣狀態(tài)下等待作業(yè)到抽真空，作業(yè)時間要縮短很多，作業(yè)連續(xù)性較好。