[發明專利]掩膜板的污漬檢測方法和設備

有效

• 申請號: 202010130217.X
• 申請日: 2020-02-28
• 公開（公告）號: CN111275704B
• 公開（公告）日: 2022-07-26
• 發明（設計）人: 朱朝月;楊碩;楊斌;張迪;孫林舉
• 申請（專利權）人: 昆山國顯光電有限公司
• 主分類號: G06T7/00
• 分類號: G06T7/00;G06T7/70
• 代理公司: 北京遠智匯知識產權代理有限公司 11659
• 代理人: 范坤坤

1.一種掩膜板的污漬檢測方法，其特征在于，包括：

預先設定一組尺寸從大到小排列的多級標準圖像；所述多級標準圖像中，第一級標準圖像為待測掩膜板的局部標準圖像，所述標準圖像中其余級別圖像為其前一級標準圖像的局部標準圖像；

獲取待測掩膜板圖像；

以所述待測掩膜板圖像全部區域為待測區域圖像，調取所述多級標準圖像中尺寸非最小的一級標準圖像作為對比圖像與所述待測區域圖像進行對比，根據對比結果判斷所述待測區域圖像的局部圖像是否包含污漬圖像；

若所述局部圖像包含污漬圖像，則以所述局部圖像作為新的待測區域圖像，調取所述對比圖像的下一級標準圖像作為新的對比圖像，與所述新的待測區域圖像進行對比，根據對比結果判斷所述待測區域圖像的局部圖像是否包含污漬圖像，并循環執行此步驟直至調取的所述對比圖像為所述多級標準圖像中最小級別標準圖像，以得到待測掩膜板圖像中污漬圖像位置。

2.根據權利要求1所述的掩膜板的污漬檢測方法，其特征在于，所述多級標準圖像包括尺寸從大到小排列的第一級標準圖像、第二級標準圖像和第三級標準圖像；

在所述獲取待測掩膜板圖像之后，包括：

以所述待測掩膜板圖像全部區域為待測區域圖像，調取所述第一級標準圖像作為對比圖像與所述待測區域圖像進行對比，根據對比結果判斷所述待測區域圖像的局部圖像是否包含污漬圖像；

若所述局部圖像包含污漬圖像，則以所述局部圖像作為新的待測區域圖像，調取所述第二級標準圖像作為新的對比圖像，與所述新的待測區域圖像進行對比，根據對比結果判斷所述待測區域圖像的局部圖像是否包含污漬圖像；

若所述局部圖像包含污漬圖像，則以所述局部圖像作為新的待測區域圖像，調取所述第三級標準圖像作為新的對比圖像，與所述新的待測區域圖像進行對比，根據對比結果判斷所述待測區域圖像的局部圖像是否包含污漬圖像；得到待測掩膜板圖像中污漬圖像位置。

3.根據權利要求1所述的掩膜板的污漬檢測方法，其特征在于，還包括：

若所述局部圖像不包含污漬，則將所述待測區域圖像中的其他局部圖像與所述對比圖像進行對比，執行根據對比結果判斷所述待測區域圖像的局部圖像是否包含污漬圖像的步驟。

4.根據權利要求3所述的掩膜板的污漬檢測方法，其特征在于，所述待測區域圖像中包括多個局部圖像，且所述多個局部圖像呈陣列排布；

所述待測區域圖像中的局部圖像沿行方向依次與所述對比圖像進行對比；或者，

所述待測區域圖像中的局部圖像沿列方向依次與所述對比圖像進行對比；或者，

所述待測區域圖像中的局部圖像沿螺旋形軌跡依次與所述對比圖像進行對比；或者，

所述待測區域圖像中的局部圖像沿折線形軌跡依次與所述對比圖像進行對比。

5.根據權利要求1所述的掩膜板的污漬檢測方法，其特征在于，在得到所述待測掩膜板圖像的污漬位置的同時，還包括：

統計所述待測掩膜板圖像的污漬數量。

6.根據權利要求1所述的掩膜板的污漬檢測方法，其特征在于，尺寸最小的一級標準圖像包括一個開孔；

與所述尺寸最小的一級標準圖像進行對比的局部圖像包括一個開孔。

7.根據權利要求1所述的掩膜板的污漬檢測方法，其特征在于，所述待測區域圖像的局部圖像與所述對比圖像的形狀相同、大小相同。

8.根據權利要求7所述的掩膜板的污漬檢測方法，其特征在于，所述標準圖像包括N×N個開孔，其中，N為正整數。

9.根據權利要求7所述的掩膜板的污漬檢測方法，其特征在于，所述標準圖像的形狀包括：矩形、扇形、圓形和環形中的至少一種。

10.一種掩膜板的污漬檢測設備，其特征在于，包括：

標準圖像設定模塊，用于預先設定一組尺寸從大到小排列的多級標準圖像；所述多級標準圖像中，第一級標準圖像為待測掩膜板的局部標準圖像，所述標準圖像中其余級別圖像為其前一級標準圖像的局部標準圖像；

圖像獲取模塊，用于獲取待測掩膜板圖像；

比對模塊，用于以所述待測掩膜板圖像全部區域為待測區域圖像，調取所述多級標準圖像中尺寸非最小的一級標準圖像作為對比圖像與所述待測區域圖像進行對比，根據對比結果判斷所述待測區域圖像的局部圖像是否包含污漬圖像；

位置確定模塊，用于若所述局部圖像包含污漬圖像，則以所述局部圖像作為新的待測區域圖像，調取所述對比圖像的下一級標準圖像作為新的對比圖像，與所述新的待測區域圖像進行對比，根據對比結果判斷所述待測區域圖像的局部圖像是否包含污漬圖像，并循環執行此步驟直至調取的所述對比圖像為所述多級標準圖像中最小級別標準圖像，以得到待測掩膜板圖像中污漬圖像位置。