[發明專利]基于MAU和DCC的半導體潔凈室恒溫恒濕控制系統和控制方法

在審

• 申請號: 202010127158.0
• 申請日: 2020-02-28
• 公開（公告）號: CN111412561A
• 公開（公告）日: 2020-07-14
• 發明（設計）人: 馬利英;劉安琪;姜莎
• 申請（專利權）人: 上海碳索能源服務股份有限公司
• 主分類號: F24F5/00
• 分類號: F24F5/00;F24F3/14;F24F3/16;F24F11/84;F24F11/89;F24F13/28;F24F13/30
• 代理公司: 上海恒慧知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 31317
• 代理人: 張寧展

本發明公開了一種基于MAU和DCC的半導體潔凈室恒溫恒濕控制系統和控制方法，系統包括MAU室外新風濕度處理單元、DCC室內回風溫度處理單元以及中控單元，控制系統通過設置不同的傳感器和調節閥進行信號實時采集和控制，MAU空調箱以室內需求的溫度、相對濕度計算得出的露點溫度為目標值對室外新風參數進行精準控制，進而與經過DCC處理的回風進行混合，從而達到潔凈室要求的溫濕度指標；系統和方法具有較高的控制精度和節能性、控制邏輯清晰、工程項目的實用性強，能夠很好的解決半導體潔凈室經常出現的控制精度不夠而產生的冷熱抵消問題。

技術領域

本發明涉及半導體加工技術，尤其涉及一種基于MAU和DCC的半導體潔凈室恒溫恒濕控制系統和控制方法。

背景技術

半導體技術產品生產工序困難、復雜，并且其工藝生產設備先進、昂貴，對于其制造環境的參數，諸如、溫度、相對濕度、壓力、潔凈度、氣流流型等參數的要求控制在某個恒定的范圍內，上述參數的穩定則是生產設備正常運轉、高效率、高質量半導體產品持續運營的成功保障。

在上述參數控制中溫度、相對濕度參數的控制尤為困難，通常潔凈室要求溫度控制在23℃、相對濕度45％，并保證一定的控制精度，但實際上由于溫度、相對濕度之間存在一定的耦合現象，即在絕對含濕量不變的情況下，溫度升高、相對濕度減少，而溫度降低、相對濕度增加；基于此，在實施例中，采用以潔凈室要求的溫度、相對濕度計算出的露點溫度為目標控制值，進而通過DCC干盤管實現溫度的控制，避免由于兩者耦合、過程精度控制不夠嚴格帶來處理過程中冷熱量相互抵消的現象，造成能源的極大浪費。因此，亟需一種適用于半導體潔凈室精確易控的恒溫恒濕系統義。

發明內容

為了克服現有技術的不足，本發明的目的在于提供基于MAU和DCC的半導體潔凈室恒溫恒濕控制系統和控制方法，其能解決上述問題。

一種基于MAU和DCC的半導體潔凈室恒溫恒濕控制系統，控制系統包括MAU室外新風濕度處理單元、DCC室內回風溫度處理單元以及中控單元，所述MAU室外新風濕度處理單元和DCC室內回風溫度處理單元與所述中控單元雙向電訊連接，其中MAU室外新風濕度處理單元包括依次設置的初效過濾段、前中效過濾段、預熱段、第一表冷段、加濕段、第二表冷段、再熱段、風機段、后中效過濾段和高效過濾段，并在所述MAU室外新風濕度處理單元上設置焓值傳感器H、溫度傳感器T、壓差開關P和電動調節水閥V；DCC室內回風溫度處理單元包括DCC干盤管和電動調節水閥V；中控單元通過信號控制線與壓差開關P、溫濕度傳感器T、焓值傳感器H、電動調節水閥V通過信號控制線連接，并根據外接環境調節控制以向潔凈室輸送符合溫濕度需求空氣。

優選的，在MAU室外新風濕度處理單元的第一表冷段和加濕段之間設置所述焓值傳感器H。

優選的，在MAU室外新風濕度處理單元的第一表冷段和高效過濾段上設置溫濕度傳感器T。

優選的，在MAU室外新風濕度處理單元的初效過濾段和前中效過濾段之間、風機段和后中效過濾段之間、以及后中效過濾段和高效過濾段之間設置壓差開關P。

壓差開關P具有現場檢測和遠傳功能，實現對初中、高效過濾器的壓差檢測，為其更換提供基礎數據參考。

優選的，在MAU室外新風濕度處理單元的預熱段上設置第一電動調節水閥V1，在第一表冷段上設置第二電動調節水閥V2，在再熱段上設置第三電動調節水閥V3，在第二表冷段上設置第四電動調節水閥V4。

優選的，各電動調節水閥V采用具有線性調節特性的座閥調節閥。所述座閥調節閥具有線性調節特性、良好的調節能力和調節精度。

優選的，所述加濕段采用噴淋加濕方式實現，噴淋加濕主機處于常開狀態，在夏季及過渡季洗滌空氣，在冬季噴溫水且等焓加濕或增焓加濕。

采用上述恒溫恒濕控制系統的控制方法，方法包括以下內容。