[發(fā)明專利]一種轉(zhuǎn)動式熔料裝置

在審

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• 申請日: 2020-02-27
• 公開（公告）號: CN111139437A
• 公開（公告）日: 2020-05-12
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 王偉;盧成;陳洪超
• 申請（專利權(quán)）人: 成都國泰真空設(shè)備有限公司
• 主分類號: C23C14/30
• 分類號: C23C14/30
• 代理公司: 成都其高專利代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 51244
• 代理人: 廖曾

1.一種轉(zhuǎn)動式熔料裝置，其特征在于，包括：殼體（1）、坩堝盤（2）、電子槍（3）和步進電機；

所述殼體（1）內(nèi)開設(shè)有腔室（11）；

所述坩堝盤（2）設(shè)置于所述腔室（11）內(nèi)的底壁處；

所述電子槍（3）設(shè)置于所述腔室（11）內(nèi)并位于所述坩堝盤（2）的一側(cè)，所述電子槍（3）朝向所述坩堝盤（2）；

所述步進電機設(shè)置于所述殼體（1）內(nèi)并位于所述腔室（11）外，所述步進電機的轉(zhuǎn)軸從所述腔室（11）的底壁伸入所述腔室（11）內(nèi)，并與所述坩堝盤（2）固定。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種轉(zhuǎn)動式熔料裝置，其特征在于，所述熔料裝置還包括：真空排氣件（4）和抽氣管（5）；

所述真空排氣件（4）設(shè)置于所述殼體（1）內(nèi)并靠近所述腔室（11）；

所述抽氣管（5）的一端與所述腔室（11）連通，所述抽氣管（5）的另一端與所述真空排氣件（4）連通。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種轉(zhuǎn)動式熔料裝置，其特征在于，所述抽氣管（5）的一端從所述腔室（11）的底部或側(cè)壁伸入所述腔室（11）內(nèi)。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種轉(zhuǎn)動式熔料裝置，其特征在于，所述抽氣管（5）上設(shè)置有閥門（51）。

5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種轉(zhuǎn)動式熔料裝置，其特征在于，所述真空排氣件（4）的一側(cè)設(shè)置有排氣口。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種轉(zhuǎn)動式熔料裝置，其特征在于，所述坩堝盤（2）遠離所述底壁的一面環(huán)饒設(shè)置有多個坩堝（21）。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種轉(zhuǎn)動式熔料裝置，其特征在于，所述坩堝盤（2）內(nèi)的坩堝（21）等間距分布。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種轉(zhuǎn)動式熔料裝置，其特征在于，所述電子槍（3）的開口朝向所述坩堝盤（2）遠離所述底壁的一面。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種轉(zhuǎn)動式熔料裝置，其特征在于，所述轉(zhuǎn)軸的外徑與所述坩堝盤（2）靠近所述底壁的一面開設(shè)的連接孔的內(nèi)徑相同；

所述轉(zhuǎn)軸套設(shè)于所述連接孔以實現(xiàn)與所述坩堝盤（2）的可拆卸式連接。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的一種轉(zhuǎn)動式熔料裝置，其特征在于，所述步進電機的轉(zhuǎn)軸通過磁流體與所述坩堝盤（2）連接。