[發明專利]一種槽體結構及防止其晃動偏移的方法

有效

• 申請號: 202010125613.3
• 申請日: 2020-02-27
• 公開（公告）號: CN111312625B
• 公開（公告）日: 2022-09-13
• 發明（設計）人: 鄧信甫;莊海云;蔡嘉雄;陳佳煒;王雪松
• 申請（專利權）人: 至微半導體（上海）有限公司;江蘇啟微半導體設備有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 北京沁優知識產權代理有限公司 11684
• 代理人: 蔡巖巖

1.一種槽體結構，用于防止干燥與清洗過程中晃動，其特征在于，包括：外部框架(1)，所述外部框架(1)內部設置有用于晶圓(6)清洗和干燥的槽體(5)，所述槽體(5)頂部設置為敞口結構，所述槽體(5)的兩側分別設置有兩個圓柱形支撐柱(501)，所述支撐柱(501)與外部框架(1)連接的位置設置有固定于外部框架(1)內壁上的支撐復位機構(4)，所述槽體(5)頂部匹配有兩組對開的頂蓋機構(2)，所述外部框架(1)外表面設置有用于驅動頂蓋機構(2)進行開合的驅動機構(3)；

所述支撐復位機構(4)包括固定于外部框架(1)內表面的支撐板(401)，所述支撐板(401)頂部對應支撐柱(501)的位置設置有支撐塊(402)；

所述頂蓋機構(2)包括弓形架(203)，所述弓形架(203)中間固定連接有與槽體(5)頂部相匹配的頂蓋(204)，所述弓形架(203)兩端分別連接有一個連接塊(202)，所述連接塊(202)上錯開弓形架(203)連接的位置固定連接有轉軸(205)，所述轉軸(205)穿過外部框架(1)的位置設置有固定于外部框架(1)上的安裝塊(201)。

2.根據權利要求1所述的一種槽體結構，其特征在于：所述驅動機構(3)包括與轉軸(205)相連接的驅動氣缸(301)。

3.根據權利要求2所述的一種槽體結構，其特征在于：所述驅動氣缸(301)的輸出軸鉸接有連桿，所述連桿的另一端與轉軸(205)相鉸接。

4.一種利用權利要求1所述的槽體結構來防止槽體晃動偏移的方法，其特征在于：所述防止槽體晃動偏移的方法包括使用所述槽體結構對晶圓(6)進行清洗和干燥，包括晶圓清洗步驟和晶圓干燥步驟；

所述晶圓清洗步驟包括：

步驟A1、通過驅動機構(3)控制頂蓋機構(2)打開頂蓋；

步驟A2、將待清洗的晶圓(6)由槽體(5)頂部的敞口結構置入槽體(5)內部；

步驟A3、通過驅動機構(3)控制頂蓋機構(2)關閉頂蓋；

步驟A4、開始晶圓(6)清洗過程；

所述晶圓干燥步驟包括：

步驟S1、通過驅動機構(3)控制頂蓋機構(2)打開頂蓋；

步驟S2、將待干燥的晶圓(6)由槽體(5)頂部的敞口結構置入槽體(5)內部；

步驟S3、通過驅動機構(3)控制頂蓋機構(2)關閉頂蓋；

步驟S4、開始晶圓(6)干燥過程；

所述防止槽體晃動偏移的方法包括使弓形架在步驟A1、步驟A3、步驟S1和步驟S3的開合過程中避免帶動槽體(5)晃動的頂蓋間隔策略，所述頂蓋間隔策略被設置為將所述弓形架(203)與轉軸(205)錯位安裝在安裝塊(201)的兩側，以使弓形架(203)轉動過程中與槽體(5)保持間隔；

所述防止槽體晃動偏移的方法還包括在步驟A4和步驟S4中使槽體(5)晃動后進行復位的緩沖復位策略，所述緩沖復位策略被設置為將支撐塊(402)頂部與支撐柱(501)對應的位置開設三角柱形狀的緩沖槽(403)，以使支撐塊(402)的緩沖槽(403)內形成支撐柱(501)的緩沖區間，所述緩沖區間用于支撐柱(501)在晃動后回落至支撐塊(402)底部。

5.根據權利要求4所述的防止槽體晃動偏移的方法，其特征在于：所述緩沖復位策略中，所述緩沖槽(403)的底部設置為與支撐柱(501)相匹配的弧形槽以提高支撐的穩定性。

6.根據權利要求4所述的防止槽體晃動偏移的方法，其特征在于：所述頂蓋間隔策略中，所述轉軸(205)與安裝塊(201)的連接處設置有軸承以降低轉動時的振動。

7.根據權利要求4所述的防止槽體晃動偏移的方法，其特征在于：所述頂蓋間隔策略中，所述頂蓋(204)與槽體(5)的頂部貼合時，能夠配合底部支撐塊(402)對槽體(5)形成上下夾持的效果，以使槽體(5)的上下晃動受限。