[發(fā)明專(zhuān)利]一種真空環(huán)境下溫度傳感器校準(zhǔn)方法

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202010123173.8
• 申請(qǐng)日: 2020-02-27
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN111174943A
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-05-19
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 曹麗明
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 明光旭升科技有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): G01K15/00
• 分類(lèi)號(hào): G01K15/00
• 代理公司: 北京棘龍知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11740
• 代理人: 戴麗偉

本發(fā)明公開(kāi)了溫度傳感器技術(shù)領(lǐng)域的一種真空環(huán)境下溫度傳感器校準(zhǔn)方法，其特征在于：該真空環(huán)境下溫度傳感器校準(zhǔn)方法包括如下步驟：先把待校準(zhǔn)的溫度傳感器防止在真空腔室的內(nèi)部；然后把真空腔室放在可以加熱的恒溫水槽內(nèi)；然后根據(jù)需要控制真空泵工作抽除真空腔室內(nèi)的空氣；然后往真空腔室內(nèi)通入惰性氣體調(diào)節(jié)真空腔室的真空度；然后調(diào)節(jié)恒溫水槽內(nèi)的水溫，本發(fā)明通過(guò)在真空腔室內(nèi)注入惰性氣體調(diào)節(jié)真空腔內(nèi)的真空度，模擬溫度傳感器在真空冶金及熱處理時(shí)的工作狀態(tài)進(jìn)行校準(zhǔn)，提高了溫度傳感器校準(zhǔn)精確度，有效的保障了溫度傳感器校準(zhǔn)的精確度和穩(wěn)定性且操作方便，安全穩(wěn)定，適用范圍廣，能夠有利于推廣和普及。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及溫度傳感器技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種真空環(huán)境下溫度傳感器校準(zhǔn)方法。

背景技術(shù)

溫度傳感器是指能感受溫度并轉(zhuǎn)換成可用輸出信號(hào)的傳感器。溫度傳感器是溫度測(cè)量?jī)x表的核心部分，品種繁多。按測(cè)量方式可分為接觸式和非接觸式兩大類(lèi)，按照傳感器材料及電子元件特性分為熱電阻和熱電偶兩類(lèi)。

隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展，真空冶金及熱處理技術(shù)已廣泛應(yīng)用于生產(chǎn)及科研領(lǐng)域等許多部門(mén)。某些高技術(shù)設(shè)備，必須以真空技術(shù)作為手段，才能實(shí)現(xiàn)其高技術(shù)指標(biāo)。許多傳統(tǒng)的工業(yè)領(lǐng)域，只有依據(jù)真空技術(shù)，才能使得產(chǎn)品性能大幅度提高為了實(shí)現(xiàn)真空冶金及熱處理行業(yè)的精確生產(chǎn)及優(yōu)質(zhì)高效的整體戰(zhàn)略目標(biāo)，溫度的準(zhǔn)確測(cè)量及控制是十分重要的。但是在真空環(huán)境下有很多惰性氣體會(huì)影響溫度傳感器的校準(zhǔn)精確度，同時(shí)真空度的不同也會(huì)對(duì)溫度傳感器的校準(zhǔn)產(chǎn)生影響，而現(xiàn)有技術(shù)中在真空環(huán)境下對(duì)溫度傳感器校準(zhǔn)的方式并沒(méi)有考慮這些因素，校準(zhǔn)的精確度差，不利于廣泛地推廣和普及。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于提供一種真空環(huán)境下溫度傳感器校準(zhǔn)方法，以解決上述背景技術(shù)中提出的在真空環(huán)境下有很多惰性氣體會(huì)影響溫度傳感器的校準(zhǔn)精確度，同時(shí)真空度的不同也會(huì)對(duì)溫度傳感器的校準(zhǔn)產(chǎn)生影響，而現(xiàn)有技術(shù)中在真空環(huán)境下對(duì)溫度傳感器校準(zhǔn)的方式并沒(méi)有考慮這些因素，校準(zhǔn)的精確度差，不利于廣泛地推廣和普及的問(wèn)題。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供如下技術(shù)方案：一種真空環(huán)境下溫度傳感器校準(zhǔn)方法，其特征在于：該真空環(huán)境下溫度傳感器校準(zhǔn)方法包括如下步驟：

S1：放置傳感器：先把待校準(zhǔn)的溫度傳感器防止在真空腔室的內(nèi)部；

S2：放置真空腔室：然后把真空腔室放在可以加熱的恒溫水槽內(nèi)；

S3：抽真空：然后根據(jù)需要控制真空泵工作抽除真空腔室內(nèi)的空氣；

S4：填充氣體：然后往真空腔室內(nèi)通入惰性氣體調(diào)節(jié)真空腔室的真空度；

S5：調(diào)節(jié)水溫：然后調(diào)節(jié)恒溫水槽內(nèi)的水溫；

S6：校準(zhǔn)：在控制恒溫水槽內(nèi)的水溫對(duì)比待校準(zhǔn)的溫度傳感器和溫度計(jì)測(cè)得的溫度差，同時(shí)對(duì)待校準(zhǔn)的溫度傳感器進(jìn)行校準(zhǔn)。

優(yōu)選的，所述步驟S1中的真空腔室內(nèi)安裝有溫度計(jì)，所述溫度計(jì)為鉑電阻溫度計(jì)。

優(yōu)選的，所述步驟S1中的真空腔室的頂部通過(guò)管道與外置的真空泵連接。

優(yōu)選的，所述步驟S1中的真空腔室的一側(cè)連接有真空度檢測(cè)儀。

優(yōu)選的，所述步驟S4中的惰性氣體為氦、氖、氬、氪、氙或者氮?dú)狻?/p>

優(yōu)選的，所述步驟S5中的恒溫水槽內(nèi)的水溫變化在20℃-800℃。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的有益效果是：本發(fā)明通過(guò)在真空腔室內(nèi)注入惰性氣體調(diào)節(jié)真空腔內(nèi)的真空度，模擬溫度傳感器在真空冶金及熱處理時(shí)的工作狀態(tài)進(jìn)行校準(zhǔn)，提高了溫度傳感器校準(zhǔn)精確度，有效的保障了溫度傳感器校準(zhǔn)的精確度和穩(wěn)定性且操作方便，安全穩(wěn)定，適用范圍廣，能夠有利于推廣和普及。

附圖說(shuō)明

圖1為本發(fā)明校準(zhǔn)方法流程圖。