[發明專利]磁隧道結、存儲單元以及磁隨機存儲器有效
| 申請號： | 202010122680.X | 申請日： | 2020-02-27 |
| 公開（公告）號： | CN111341907B | 公開（公告）日： | 2022-03-15 |
| 發明（設計）人： | 林曉陽;李燊;尉國棟;趙巍勝 | 申請（專利權）人： | 北京航空航天大學 |
| 主分類號： | H01L43/02 | 分類號： | H01L43/02;H01L43/08 |
| 代理公司： | 北京三友知識產權代理有限公司 11127 | 代理人： | 趙平;周永君 |
| 地址： | 100191*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 隧道 存儲 單元 以及 隨機 存儲器 | ||
1.一種磁隧道結，其特征在于，包括：
鐵磁自由層；
鐵磁參考層，位于所述鐵磁自由層的一側；
隧穿層，結合在所述鐵磁自由層和所述鐵磁參考層相互靠近一側的表面；以及
相變層，位于所述鐵磁自由層遠離所述鐵磁參考層一側的表面，所述相變層的電阻能夠根據光照強度變化；
還包括：
第一電極層，位于所述相變層遠離所述鐵磁自由層的一側表面；
第二電極層，位于所述鐵磁參考層遠離所述鐵磁自由層的一側表面；其中，
所述第一電極層和/或所述第二電極層的材料為光學透明的導電材料；
形成所述相變層的材料包括：釩的氧化物及摻鎢的釩氧化物。
2.根據權利要求1所述的磁隧道結，其特征在于，所述光學透明的導電材料包括：ITO。
3.根據權利要求1所述的磁隧道結，其特征在于，形成所述鐵磁自由層和/或所述鐵磁參考層的材料包括CoFeB、CoFe、FeB、Co、Fe以及Heusler合金中的至少一種。
4.一種磁隨機存儲器中的存儲單元，其特征在于，包括多個磁隧道結，每個磁隧道結包括：
鐵磁自由層；
鐵磁參考層，位于所述鐵磁自由層的一側；
隧穿層，結合在所述鐵磁自由層和所述鐵磁參考層相互靠近一側的表面；以及
相變層，位于所述鐵磁自由層遠離所述鐵磁參考層一側的表面，所述相變層的電阻能夠根據光照強度變化；
還包括：
第一電極層，位于所述相變層遠離所述鐵磁自由層的一側表面；
第二電極層，位于所述鐵磁參考層遠離所述鐵磁自由層的一側表面；其中，
所述第一電極層和/或所述第二電極層的材料為光學透明的導電材料；
形成所述相變層的材料包括：釩的氧化物及摻鎢的釩氧化物。
5.一種磁隨機存儲器，其特征在于，包括多個存儲單元、光照元件，每個存儲單元包括多個磁隧道結；每個所述磁隧道結包括：
鐵磁自由層；
鐵磁參考層，位于所述鐵磁自由層的一側；
隧穿層，結合在所述鐵磁自由層和所述鐵磁參考層相互靠近一側的表面；以及
相變層，位于所述鐵磁自由層遠離所述鐵磁參考層一側的表面，所述相變層的電阻能夠根據光照強度變化；
第一電極層，位于所述相變層遠離所述鐵磁自由層的一側表面；
第二電極層，位于所述鐵磁參考層遠離所述鐵磁自由層的一側表面；所述第一電極層和所述第二電極層中的至少一個的材料為光學透明的導電材料；其中，
所述光照元件置于一透明電極層暴露的一側上方，并且所述光照元件的光強是可調節的，所述透明電極層是所述第一電極層和所述第二電極層中的一個；
其中形成所述相變層的材料包括：釩的氧化物及摻鎢的釩氧化物。
6.根據權利要求5所述的磁隨機存儲器，其特征在于，所述光學透明的導電材料包括：ITO。
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