[發明專利]用于減少在管芯級激光剝離期間所受機械損傷的藍寶石收集器

有效

• 申請號: 202010119947.X
• 申請日: 2015-07-29
• 公開（公告）號: CN111496379B
• 公開（公告）日: 2022-08-26
• 發明（設計）人: D.聶;K-H.鄭
• 申請（專利權）人: 亮銳控股有限公司
• 主分類號: B23K26/142
• 分類號: B23K26/142;B23K26/36;B23K26/70;H01L33/00
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 景軍平;陳嵐

1.一種收集器系統，包括容器和第一噴嘴，

該容器包括：

頂部表面，限定第一開口，

底部表面，限定第二開口，

多個側表面，所述多個側表面中的第一側表面在所述容器的上半部分中限定第三開口，并且與所述多個側表面中的所述第一側表面相對的所述多個側表面中的第二側表面限定第四開口，

腔，在所述第一開口和所述第二開口之間延伸通過所述容器，

第一隧道，在所述第三開口和所述腔之間延伸，和

第二隧道，在所述第四開口和所述腔之間延伸；并且

該第一噴嘴至少部分地在所述第一隧道中，并且成角度地朝向所述容器的所述底部表面。

2.根據權利要求1所述的收集器系統，其中所述第一噴嘴以≤90°的角度成角度地朝向所述容器的所述底部表面。

3.根據權利要求1所述的收集器系統，其中所述第一噴嘴具有狹縫，該狹縫貫穿所述第一噴嘴而形成，并且所述狹縫具有在50 μm與100 μm之間的厚度。

4.根據權利要求1所述的收集器系統，其中：

所述多個側表面中的所述第一側表面還在所述容器的下半部分中限定第五開口，

所述容器還包括第三隧道，所述第三隧道在所述第五開口和所述腔之間延伸，和

所述收集器系統還包括第二噴嘴，所述第二噴嘴至少部分地在所述第三隧道中，并且成角度地朝向所述容器的所述頂部表面。

5.根據權利要求4所述的收集器系統，其中所述第二噴嘴以≤90°的角度成角度地朝向所述容器的所述頂部表面。

6.根據權利要求4所述的收集器系統，其中所述第二噴嘴具有狹縫，該狹縫貫穿所述第二噴嘴而形成，并且所述狹縫具有在50 μm與100 μm之間的厚度。

7.根據權利要求1所述的收集器系統，其中所述第二隧道包括：

第一部分，鄰近所述第四開口，具有基本一致的直徑，和

第二部分，在所述第一部分和所述腔之間，具有從所述腔到所述第一部分的向外逐漸變窄的直徑，并且與所述容器的所述頂部表面中的所述第一開口和所述容器的所述底部表面中的所述第二開口接合。

8.根據權利要求1所述的收集器系統，還包括在所述容器的所述頂部表面中的所述第一開口之上或之中的透鏡和格柵中的至少一個。

9.根據權利要求1所述的收集器系統，其中所述第一隧道被配置成在所述收集器系統的操作期間接收氣流，并且所述第二隧道被配置成在所述收集器系統的操作期間保持真空。

10.根據權利要求9所述的收集器系統，其中所述氣流在操作期間具有-0.6 MPa的壓力，并且所述真空在所述收集器系統的操作期間-6 kPa。

11.根據權利要求1所述的收集器系統，其中所述第一隧道被配置成在所述收集器系統的操作期間接收具有-0.6 MPa的壓力的氣流，并且第二隧道被配置成在所述收集器系統的操作期間保持-6 kPa的真空。