[發明專利]一種傳感器及其驅動方法和制備方法

有效

• 申請號: 202010119917.9
• 申請日: 2020-02-26
• 公開（公告）號: CN111289022B
• 公開（公告）日: 2022-08-09
• 發明（設計）人: 郭玉珍;劉英明;王海生;李秀鋒;趙利軍;李佩笑;姬雅倩;張晨陽
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司
• 主分類號: G01D5/48
• 分類號: G01D5/48;B06B1/06
• 代理公司: 北京天昊聯合知識產權代理有限公司 11112
• 代理人: 姜春咸;馮建基

1.一種傳感器，包括背板，設置在所述背板上的發聲結構和背襯，所述背襯位于所述發聲結構的背離所述背板的一側；所述發聲結構包括發射電極、接收電極、壓電層和信號引線，所述發射電極、所述接收電極和所述壓電層分別位于不同層，且所述發射電極、所述接收電極和所述壓電層相互疊置；所述接收電極呈陣列排布，所述背板上還設置有接收檢測電路，所述接收檢測電路位于所述發聲結構靠近所述背板的一側，所述接收電極連接所述接收檢測電路，其特征在于，所述發射電極呈陣列排布，且每個所述發射電極單獨連接一條所述信號引線；以使不同的所述發射電極輸入相位不同的驅動電壓信號；

所述接收檢測電路包括二極管和三極管，所述三極管包括柵極、第一極和第二極，所述二極管包括第三極和第四極，所述三極管的第一極和第二極以及所述二極管的第三極采用相同材料且同層設置，所述三極管的第一極和第二極以及所述二極管的第三極與所述發聲結構之間設置有第一絕緣層；

所述發射電極位于所述壓電層背離所述背板的一側，所述接收電極位于所述壓電層靠近所述背板的一側，所述接收電極與所述壓電層之間設置有第二絕緣層；

所述三極管的第一極和所述二極管的第三極通過開設在所述第一絕緣層中的過孔連接所述接收電極；

所述信號引線位于所述發射電極的背離所述壓電層的一側，且所述發射電極與所述信號引線之間還設置有第四絕緣層；所述信號引線與所述發射電極通過開設在所述第四絕緣層中的過孔連接；所述信號引線與所述背襯之間還設置有第五絕緣層；

或者，所述信號引線與所述三極管的第一極采用相同材料且同層設置，所述信號引線通過開設在所述第一絕緣層、所述第二絕緣層和所述壓電層中的過孔連接所述發射電極；

所述發射電極與所述背襯之間還設置有第三絕緣層；

所述背襯的材料包括銀。

2.根據權利要求1所述的傳感器，其特征在于，一個所述發射電極在所述背板上的正投影對應覆蓋n×n的所述接收電極陣列在所述背板上的正投影；其中，n為1-9。

3.根據權利要求2所述的傳感器，其特征在于，所述發射電極為方塊電極。

4.根據權利要求1-3任意一項所述的傳感器，其特征在于，所述發射電極和所述信號引線均采用金屬導電材料，所述背襯采用銀。

5.一種如權利要求1-4任意一項所述的傳感器的驅動方法，包括向接收電極輸入接地電壓信號，向發射電極輸入驅動電壓信號，其特征在于，不同的所述發射電極輸入的驅動電壓信號的相位不同。

6.一種如權利要求1-4任意一項所述的傳感器的制備方法，包括在背板上先后制備發聲結構和背襯，制備所述發聲結構包括形成發射電極、接收電極、壓電層和信號引線，所述發射電極、所述接收電極和所述壓電層分別形成于不同層；采用構圖工藝形成陣列排布的所述接收電極，在背板上制備發聲結構之前還包括制備接收檢測電路，使所述接收電極與所述接收檢測電路連接，其特征在于，采用構圖工藝形成陣列排布的所述發射電極和所述信號引線的圖形，并使每個所述發射電極單獨連接一條所述信號引線。

7.根據權利要求6所述的傳感器的制備方法，其特征在于，采用一次構圖工藝同時形成所述發射電極和所述信號引線的圖形。

8.根據權利要求6所述的傳感器的制備方法，其特征在于，制備所述接收檢測電路包括制備二極管和三極管，制備所述三極管包括形成柵極、第一極和第二極的步驟；制備所述二極管包括形成第三極和第四極的步驟；

所述三極管的第一極和第二極、所述二極管的第三極以及所述信號引線采用一次構圖工藝同時形成。