[發(fā)明專利]一種傳感器及其驅(qū)動(dòng)方法和制備方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202010119917.9
• 申請(qǐng)日: 2020-02-26
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN111289022B
• 公開(kāi)（公告）日: 2022-08-09
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 郭玉珍;劉英明;王海生;李秀鋒;趙利軍;李佩笑;姬雅倩;張晨陽(yáng)
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 京東方科技集團(tuán)股份有限公司
• 主分類號(hào): G01D5/48
• 分類號(hào): G01D5/48;B06B1/06
• 代理公司: 北京天昊聯(lián)合知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11112
• 代理人: 姜春咸;馮建基

1.一種傳感器，包括背板，設(shè)置在所述背板上的發(fā)聲結(jié)構(gòu)和背襯，所述背襯位于所述發(fā)聲結(jié)構(gòu)的背離所述背板的一側(cè)；所述發(fā)聲結(jié)構(gòu)包括發(fā)射電極、接收電極、壓電層和信號(hào)引線，所述發(fā)射電極、所述接收電極和所述壓電層分別位于不同層，且所述發(fā)射電極、所述接收電極和所述壓電層相互疊置；所述接收電極呈陣列排布，所述背板上還設(shè)置有接收檢測(cè)電路，所述接收檢測(cè)電路位于所述發(fā)聲結(jié)構(gòu)靠近所述背板的一側(cè)，所述接收電極連接所述接收檢測(cè)電路，其特征在于，所述發(fā)射電極呈陣列排布，且每個(gè)所述發(fā)射電極單獨(dú)連接一條所述信號(hào)引線；以使不同的所述發(fā)射電極輸入相位不同的驅(qū)動(dòng)電壓信號(hào)；

所述接收檢測(cè)電路包括二極管和三極管，所述三極管包括柵極、第一極和第二極，所述二極管包括第三極和第四極，所述三極管的第一極和第二極以及所述二極管的第三極采用相同材料且同層設(shè)置，所述三極管的第一極和第二極以及所述二極管的第三極與所述發(fā)聲結(jié)構(gòu)之間設(shè)置有第一絕緣層；

所述發(fā)射電極位于所述壓電層背離所述背板的一側(cè)，所述接收電極位于所述壓電層靠近所述背板的一側(cè)，所述接收電極與所述壓電層之間設(shè)置有第二絕緣層；

所述三極管的第一極和所述二極管的第三極通過(guò)開(kāi)設(shè)在所述第一絕緣層中的過(guò)孔連接所述接收電極；

所述信號(hào)引線位于所述發(fā)射電極的背離所述壓電層的一側(cè)，且所述發(fā)射電極與所述信號(hào)引線之間還設(shè)置有第四絕緣層；所述信號(hào)引線與所述發(fā)射電極通過(guò)開(kāi)設(shè)在所述第四絕緣層中的過(guò)孔連接；所述信號(hào)引線與所述背襯之間還設(shè)置有第五絕緣層；

或者，所述信號(hào)引線與所述三極管的第一極采用相同材料且同層設(shè)置，所述信號(hào)引線通過(guò)開(kāi)設(shè)在所述第一絕緣層、所述第二絕緣層和所述壓電層中的過(guò)孔連接所述發(fā)射電極；

所述發(fā)射電極與所述背襯之間還設(shè)置有第三絕緣層；

所述背襯的材料包括銀。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的傳感器，其特征在于，一個(gè)所述發(fā)射電極在所述背板上的正投影對(duì)應(yīng)覆蓋n×n的所述接收電極陣列在所述背板上的正投影；其中，n為1-9。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的傳感器，其特征在于，所述發(fā)射電極為方塊電極。

4.根據(jù)權(quán)利要求1-3任意一項(xiàng)所述的傳感器，其特征在于，所述發(fā)射電極和所述信號(hào)引線均采用金屬導(dǎo)電材料，所述背襯采用銀。

5.一種如權(quán)利要求1-4任意一項(xiàng)所述的傳感器的驅(qū)動(dòng)方法，包括向接收電極輸入接地電壓信號(hào)，向發(fā)射電極輸入驅(qū)動(dòng)電壓信號(hào)，其特征在于，不同的所述發(fā)射電極輸入的驅(qū)動(dòng)電壓信號(hào)的相位不同。

6.一種如權(quán)利要求1-4任意一項(xiàng)所述的傳感器的制備方法，包括在背板上先后制備發(fā)聲結(jié)構(gòu)和背襯，制備所述發(fā)聲結(jié)構(gòu)包括形成發(fā)射電極、接收電極、壓電層和信號(hào)引線，所述發(fā)射電極、所述接收電極和所述壓電層分別形成于不同層；采用構(gòu)圖工藝形成陣列排布的所述接收電極，在背板上制備發(fā)聲結(jié)構(gòu)之前還包括制備接收檢測(cè)電路，使所述接收電極與所述接收檢測(cè)電路連接，其特征在于，采用構(gòu)圖工藝形成陣列排布的所述發(fā)射電極和所述信號(hào)引線的圖形，并使每個(gè)所述發(fā)射電極單獨(dú)連接一條所述信號(hào)引線。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的傳感器的制備方法，其特征在于，采用一次構(gòu)圖工藝同時(shí)形成所述發(fā)射電極和所述信號(hào)引線的圖形。

8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的傳感器的制備方法，其特征在于，制備所述接收檢測(cè)電路包括制備二極管和三極管，制備所述三極管包括形成柵極、第一極和第二極的步驟；制備所述二極管包括形成第三極和第四極的步驟；

所述三極管的第一極和第二極、所述二極管的第三極以及所述信號(hào)引線采用一次構(gòu)圖工藝同時(shí)形成。