[發(fā)明專利]一種高世代平板用銅鉬蝕刻液有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 202010119553.4 | 申請日： | 2020-02-26 |
| 公開（公告）號： | CN111270237B | 公開（公告）日： | 2022-04-26 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 戈士勇 | 申請（專利權(quán)）人： | 江陰潤瑪電子材料股份有限公司 |
| 主分類號： | C23F1/44 | 分類號： | C23F1/44 |
| 代理公司： | 無錫義海知識產(chǎn)權(quán)代理事務所(普通合伙) 32247 | 代理人： | 張春合 |
| 地址： | 214400 江蘇*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 世代 平板 用銅鉬 蝕刻 | ||
1.一種高世代平板用銅鉬蝕刻液，其特征在于，所述蝕刻液的原料按重量百分比計算，包括硫酸0.1-5%，過氧化氫5-20%，過硫化鈉0.5-5%，硫酸銨5-15%，氯化鈉3-10%，氟化銨1-5%，表面活性劑2-10%，穩(wěn)定劑Ⅰ0.5-3%，金屬離子保護劑3-8%，輔酸0.1-1%，穩(wěn)定劑Ⅱ0.001-0.05%和余量的純水，各組分重量百分數(shù)之和為100%；
所述表面活性劑為N-烷基葡糖酰胺、脂肪酸聚乙二醇酯、脫水山梨糖醇酯中的一種或多種；
所述穩(wěn)定劑Ⅰ為乙二胺四乙酸二鈉；
所述金屬離子保護劑為唑類添加劑，所述唑類添加劑為甲基苯并三氮唑、苯并三氮唑或4-羧酸苯并三氮唑中的一種或多種；
所述輔酸為丙烯酸、甲基丙烯酸、馬來酸或氨基酸中的一種；
所述穩(wěn)定劑Ⅱ為聚丙烯酸、聚丙烯酸鈉或聚丙烯酸鉀中的一種。
2.如權(quán)利要求1所述的高世代平板用銅鉬蝕刻液，其特征在于，所述聚丙烯酸的分子量＜10000。
3.如權(quán)利要求2所述的高世代平板用銅鉬蝕刻液，其特征在于，所述蝕刻液pH 值為1.5-2。
4.如權(quán)利要求3所述的高世代平板用銅鉬蝕刻液，其特征在于，所述蝕刻液中還包括過氧化氫尿素1-5%。
5.如權(quán)利要求3所述的高世代平板用銅鉬蝕刻液，其特征在于，所述蝕刻液中還包括過硼酸鹽1-5%，所述過硼酸鹽為過硼酸鈉、過硼酸鉀中的一種。
6.根據(jù)權(quán)利要求1至5任一項 所述的蝕刻液的應用，其特征在于，使用所述的蝕刻液的蝕刻溫度在20-30℃；蝕刻時間為1-15分鐘。
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