[發明專利]微型軸承核心元件超精密柔性化學機械拋光裝置及方法

有效

• 申請號: 202010118552.8
• 申請日: 2020-02-26
• 公開（公告）號: CN111216031B
• 公開（公告）日: 2021-02-26
• 發明（設計）人: 江亮;呂冰海;仲夏;黃朝蓬;劉進偉;錢林茂
• 申請（專利權）人: 西南交通大學;浙江工業大學
• 主分類號: B24B31/00
• 分類號: B24B31/00;B24B31/02;B24B41/06;B24B57/02;C09G1/02
• 代理公司: 成都虹盛匯泉專利代理有限公司 51268
• 代理人: 鐘玉巧

1.微型軸承核心元件超精密柔性化學機械拋光裝置，其特征在于：核心元件包括內套圈(343)、保持架(323)、滾動體(335)、外套圈(313)，所述拋光裝置包括元件自轉模塊(1)、外套圈轉向模塊(2)、元件夾持模塊(3)、拋光液池旋轉模塊(4)、支架(5)；當拋光核心元件內套圈(343)、保持架(323)和滾動體(335)時，首先將元件自轉模塊(1)豎直連接元件夾持模塊(3)，然后將元件自轉模塊(1)連同與其固定連接的元件夾持模塊(3)一起固定在支架(5)上；當拋光核心元件外套圈(313)時，首先將元件自轉模塊(1)豎直連接外套圈轉向模塊(2)，然后將外套圈轉向模塊(2)水平連接元件夾持模塊(3)，然后再將元件自轉模塊(1)連同與其固定連接的外套圈轉向模塊(2)和元件夾持模塊(3)一起固定在支架(5)上。

2.根據權利要求1所述的微型軸承核心元件超精密柔性化學機械拋光裝置，其特征在于：所述元件自轉模塊(1)包括自轉電機(11)、自轉電機固定板(12)、固定板鎖緊環(13)、自轉傳動軸(14)、外套圈自轉傳動軸(15)，首先將固定板鎖緊環(13)安裝在自轉電機固定板(12)底部，然后將固定板鎖緊環(13)連同與其固定連接的自轉電機固定板(12)一起固定在支架(5)上，自轉電機(11)安裝在自轉電機固定板(12)上，并通過螺釘固定連接，當拋光核心元件內套圈(343)、保持架(323)和滾動體(335)時，使用自轉傳動軸(14)，自轉傳動軸(14)兩端均為中空結構，自轉傳動軸(14)一端與自轉電機(11)的軸形成過渡配合，并通過螺釘固定連接，自轉傳動軸(14)另一端與內套圈夾具上部(341)、保持架夾具上部(321)或滾動體夾具上部(331)的一端的凸臺形成過渡配合，并通過螺釘固定連接；當拋光核心元件外套圈(313)時，將自轉傳動軸(14)更換成外套圈自轉傳動軸(15)，外套圈自轉傳動軸(15)的一端為中空結構，與自轉電機(11)的軸形成過渡配合，并通過螺釘固定連接，外套圈自轉傳動軸(15)的另一端為細軸結構。

3.根據權利要求2所述的微型軸承核心元件超精密柔性化學機械拋光裝置，其特征在于：所述自轉電機固定板(12)上設有細孔槽、粗孔槽，固定自轉電機(11)的螺釘穿過細孔槽，可在細孔槽內沿水平方向一維移動，自轉電機(11)的軸穿過粗孔槽，可在粗孔槽內沿水平方向一維移動，通過來回移動自轉電機(11)，調節自轉電機(11)的軸與拋光液池旋轉模塊(4)邊緣的水平距離，達到所需的水平距離后，通過螺釘固定住自轉電機(11)。

4.根據權利要求1所述的微型軸承核心元件超精密柔性化學機械拋光裝置，其特征在于：所述外套圈轉向模塊(2)包括外套圈轉向軸(21)、錐齒輪I(221)、錐齒輪II(222)、轉向軸軸承(23)、外套圈轉向支架(24)、轉向軸軸承端蓋(25)、錐齒輪擋板(26)，錐齒輪I(221)為中空結構，錐齒輪I(221)與錐齒輪II(222)配合，改變外套圈(313)轉動方向，以便柔性化學機械拋光液可以順利進入外套圈(313)內部，拋光外套圈(313)的內滾道，錐齒輪II(222)為中空結構，與外套圈轉向軸(21)的一端的細軸結構形成過渡配合，并通過螺釘固定連接，外套圈轉向軸(21)的另一端中間安裝轉向軸軸承(23)，并通過轉向軸軸承(23)整體固定安裝在外套圈轉向支架(24)上，外套圈轉向支架(24)上安裝轉向軸軸承端蓋(25)和錐齒輪擋板(26)。