[發明專利]一種基于雙密閉腔的光纖微結構傳感器件制備方法有效
| 申請號： | 202010117444.9 | 申請日： | 2020-02-25 |
| 公開（公告）號： | CN111272306B | 公開（公告）日： | 2021-11-23 |
| 發明（設計）人： | 劉穎剛;王鈺璽;楊丹青;張庭;傅海威;賈振安 | 申請（專利權）人： | 西安石油大學 |
| 主分類號： | G01K11/32 | 分類號： | G01K11/32;G01L1/24;G02B6/255 |
| 代理公司： | 西安智大知識產權代理事務所 61215 | 代理人： | 王晶 |
| 地址： | 710065 陜*** | 國省代碼： | 陜西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 基于 密閉 光纖 微結構 傳感 器件 制備 方法 | ||
1.一種基于雙密閉腔的光纖微結構傳感器件制備方法，其特征在于，包括以下步驟；
步驟一：取一段單模光纖放置在具有CCD顯示的三維微動平臺上，將193nm準分子激光器光闌調至尺寸為40微米的方形光斑，打開激光器加工第一個穿過纖芯的方形微孔；
步驟二：激光器驅動放置光纖的三維微動平臺將加工好第一個孔后將光纖橫向移動500微米，按照步驟一的方法制作第二個同樣的穿孔；
步驟三：將加工好的雙微孔放置在5％的HF溶液中1-2分鐘，清洗掉加工時表面和孔內的材質殘留；
步驟四：將清洗后的結構放在熔接機下進行熔接，對兩個微孔通過高溫放電的形式制作出兩個形狀相同，距離大概在500微米左右的圓形密閉腔；
步驟五：將制作好的傳感器接入到解調儀中采集數據，經過快速傅里葉變換提取各個腔體頻率，再通過傅里葉帯通濾波法將密閉腔和兩密閉腔之間的光纖腔頻率圖像分別確定出來；
步驟六：將做好的光纖傳感器一端連接解調儀，另一端夾持在電子測力計上，從0N開始到2.2N，每0.2N記錄一個數據，每次記錄等待兩分鐘，等待全光纖受力均勻再記錄；
步驟七：拉力測量完成后將傳感器放入到恒溫箱中，在測溫實驗前先將傳感器放入到300℃的恒溫箱中進行淬火處理半小時來消除在制作傳感器過程中的殘余應力，設置溫度從室溫一直到500℃，每隔50℃取一個數據，每次讀數等待兩分鐘，保證數據精準；
所述的步驟一 中在激光器電壓為1.2KV的狀態下加工5-8秒進行打穿；
所述的步驟四 的熔接條件為采用放電強度為80，推進距離為0，預熔時間160ms，清潔放電時間200ms，熔接放電時間220ms的參數，選擇手動熔接程序。
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