[發明專利]光掃描裝置及其控制方法有效
| 申請號: | 202010117251.3 | 申請日: | 2020-02-25 |
| 公開(公告)號: | CN111610627B | 公開(公告)日: | 2022-12-13 |
| 發明(設計)人: | 木村祐司 | 申請(專利權)人: | 三美電機株式會社 |
| 主分類號: | G02B26/10 | 分類號: | G02B26/10 |
| 代理公司: | 北京銀龍知識產權代理有限公司 11243 | 代理人: | 范勝杰;曹鑫 |
| 地址: | 日本*** | 國省代碼: | 暫無信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 掃描 裝置 及其 控制 方法 | ||
1.一種光掃描裝置,其特征在于,具有:
光源部,其輸出激光;
反射鏡,其反射從所述光源部輸出的激光;
反射鏡驅動部,其對所述反射鏡在水平方向上進行共振驅動,在垂直方向上進行非共振驅動;
水平傾斜傳感器,其輸出與所述反射鏡向水平方向的傾斜角對應的信號;
垂直傾斜傳感器,其輸出與所述反射鏡向垂直方向的傾斜角對應的信號;
水平振擺角判定部,其基于所述水平傾斜傳感器的輸出信號求得作為所述反射鏡向水平方向的振擺角的水平振擺角,判定所述水平振擺角是否在預定的范圍內;
變化率判定部,其求得所述垂直傾斜傳感器的輸出信號的變化率,判定所述變化率是否在預定的范圍內;以及
激光器輸出控制部,其基于所述水平振擺角判定部以及所述變化率判定部的判定結果,控制所述光源部的激光的輸出。
2.根據權利要求1所述的光掃描裝置,其特征在于,
在通過所述水平振擺角判定部判定為所述水平振擺角在預定的范圍內,并且通過所述變化率判定部判定為所述變化率在預定的范圍內的情況下,所述激光器輸出控制部開始所述光源部的激光的輸出。
3.根據權利要求1或2所述的光掃描裝置,其特征在于,
在通過所述光源部輸出激光的情況下,所述激光器輸出控制部至少與通過所述變化率判定部判定為所述變化率不在預定的范圍內的情況對應地,停止所述光源部的激光的輸出。
4.根據權利要求1所述的光掃描裝置,其特征在于,
該光掃描裝置進一步具有:
共振判定部,其基于所述水平傾斜傳感器的輸出信號,判定所述反射鏡是否在水平方向上進行共振;
垂直振擺角判定部,其基于所述垂直傾斜傳感器的輸出信號求得所述反射鏡向垂直方向的振擺角即垂直振擺角,判定所述垂直振擺角是否在預定的范圍內;以及
不需要的共振成分判定部,其基于所述垂直傾斜傳感器的輸出信號檢測不需要的共振成分,判定檢測出的不需要的共振成分是否為預定值以下,
所述激光輸出控制部基于所述水平振擺角判定部、所述變化率判定部、所述共振判定部、所述垂直振擺角判定部以及所述不需要的共振成分判定部的判定結果,控制所述光源部的激光的輸出。
5.一種光掃描裝置的控制方法,所述光掃描裝置具有:
光源部,其輸出激光;
反射鏡,其反射從所述光源部輸出的激光;
反射鏡驅動部,其對所述反射鏡在水平方向上進行共振驅動,在垂直方向上進行非共振驅動;
水平傾斜傳感器,其輸出與所述反射鏡向水平方向的傾斜角對應的信號;以及
垂直傾斜傳感器,其輸出與所述反射鏡向垂直方向的傾斜角對應的信號;
其特征在于,
進行水平振擺角判定處理和變化率判定處理,所述水平振擺角判定處理基于所述水平傾斜傳感器的輸出信號求得所述反射鏡向水平方向的振擺角即水平振擺角,判定所述水平振擺角是否在預定的范圍內,所述變化率判定處理求得所述垂直傾斜傳感器的輸出信號的變化率,判定所述變化率是否在預定的范圍內,
基于所述水平振擺角判定處理以及所述變化率判定處理的判定結果,控制所述光源部的激光的輸出。
6.根據權利要求5所述的光掃描裝置的控制方法,其特征在于,
在通過所述水平振擺角判定處理判定為所述水平振擺角在預定的范圍內,并且通過所述變化率判定處理判定為所述變化率在預定的范圍內的情況下,開始所述光源部的激光的輸出。
7.根據權利要求5或6所述的光掃描裝置的控制方法,其特征在于,
在通過所述光源部輸出激光的情況下,至少與通過所述變化率判定處理判定為所述變化率不在預定的范圍內的情況對應地,停止所述光源部的激光的輸出。
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