[發明專利]一種自動拉晶過程中取段穩溫的升溫保護方法在審
| 申請號: | 202010116902.7 | 申請日: | 2020-02-25 |
| 公開(公告)號: | CN113373507A | 公開(公告)日: | 2021-09-10 |
| 發明(設計)人: | 趙國偉;徐強;高潤飛;王林;谷守偉;王建平;周澤;楊志;吳樹飛;劉振宇;劉學;劉有益;皇甫亞楠;高建芳;楊瑞峰;郭志榮 | 申請(專利權)人: | 內蒙古中環協鑫光伏材料有限公司 |
| 主分類號: | C30B15/20 | 分類號: | C30B15/20;C30B29/06 |
| 代理公司: | 天津諾德知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 12213 | 代理人: | 欒志超 |
| 地址: | 010070 內蒙古自*** | 國省代碼: | 內蒙古;15 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 自動 過程 中取段穩溫 升溫 保護 方法 | ||
1.一種自動拉晶過程中取段穩溫的升溫保護方法,其特征在于:包括以下步驟,
下降坩堝;
降低單晶的轉速和坩堝的轉速;
設定升溫功率,進行穩溫;
按照升溫時間進行升溫;
恢復引晶功率,進行引晶。
2.根據權利要求1所述的自動拉晶過程中取段穩溫的升溫保護方法,其特征在于:所述下降坩堝步驟中,所述坩堝的下降距離為30-50mm。
3.根據權利要求1或2所述的自動拉晶過程中取段穩溫的升溫保護方法,其特征在于:所述降低單晶的轉速和坩堝的轉速步驟中,所述單晶的轉速為2-5rap/min。
4.根據權利要求3所述的自動拉晶過程中取段穩溫的升溫保護方法,其特征在于:所述降低單晶的轉速和坩堝的轉速步驟中,所述坩堝的轉速為3-8rap/min。
5.根據權利要求1或2或4所述的自動拉晶過程中取段穩溫的升溫保護方法,其特征在于:所述按照升溫時間進行升溫的步驟中,所述升溫時間為30-60min。
6.根據權利要求5所述的自動拉晶過程中取段穩溫的升溫保護方法,其特征在于:所述設定升溫功率步驟中,在引晶功率的基礎上分別增加主加熱器功率和底部加熱器功率。
7.根據權利要求6所述的自動拉晶過程中取段穩溫的升溫保護方法,其特征在于:所述主加熱器功率的功率增加值為10-20kw。
8.根據權利要求7所述的自動拉晶過程中取段穩溫的升溫保護方法,其特征在于:所述底部加熱器功率的功率增加值為5-20kw。
9.根據權利要求1所述的自動拉晶過程中取段穩溫的升溫保護方法,其特征在于:在所述下降坩堝步驟之前,進行單晶的提升。
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