[發(fā)明專利]一種鉭靶材與銅背板的釬焊方法在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 202010116721.4 | 申請日： | 2020-02-25 |
| 公開（公告）號： | CN111195757A | 公開（公告）日： | 2020-05-26 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 姚力軍;潘杰;邊逸軍;王學(xué)澤;章麗娜 | 申請（專利權(quán)）人： | 寧波江豐電子材料股份有限公司 |
| 主分類號： | B23K1/00 | 分類號： | B23K1/00;B23K1/20;B23K31/02 |
| 代理公司： | 北京遠(yuǎn)智匯知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11659 | 代理人： | 王巖 |
| 地址： | 315400 浙江省寧波市*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 鉭靶材 背板 釬焊 方法 | ||
1.一種鉭靶材與銅背板的釬焊方法，其特征在于，所述釬焊方法包括如下步驟：
(1)矯正鉭靶材翹曲度，使靶材的平面度≤0.2mm；
(2)鉭靶材與銅背板的焊接面分別獨立地進(jìn)行表面噴砂處理；
(3)分別獨立地對鉭靶材與銅背板噴砂處理后的焊接面進(jìn)行鍍鎳處理；
(4)釬焊連接進(jìn)行鍍鎳處理后的鉭靶材與銅背板，完成鉭靶材與銅背板的釬焊焊接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的釬焊方法，其特征在于，步驟(2)所述噴砂處理在噴砂機(jī)中進(jìn)行，噴砂處理采用的沙粒為46號白玉剛，氣壓范圍為0.55-0.6MPa；噴砂處理的時間為2-4min；噴砂處理時噴砂槍與焊接面的垂直距離為80-100mm。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的釬焊方法，其特征在于，步驟(2)所述噴砂處理時，噴砂槍噴砂方向與焊接面的夾角為0-180°，且不為0°、90°以及180°。
4.根據(jù)權(quán)利要求1-3任一項所述的釬焊方法，其特征在于，步驟(3)所述鍍鎳處理為化學(xué)鍍鎳，包括如下步驟：
(a)將經(jīng)過噴砂處理后的焊接面進(jìn)行活化處理；
(b)活化處理后的焊接面經(jīng)過清洗，然后放置于鍍鎳液中進(jìn)行鍍鎳；
(c)鍍鎳后的焊接面依次經(jīng)過清洗以及60-70℃的去離子水浸泡，干燥后完成所述化學(xué)鍍鎳。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的釬焊方法，其特征在于，步驟(a)所述活化處理在活化液中進(jìn)行，活化處理的時間為45-75s。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的釬焊方法，其特征在于，所述活化液由氫氟酸與水組成，氫氟酸與水的體積比為(0.5-2):(8-9.5)。
7.根據(jù)權(quán)利要求4所述的釬焊方法，其特征在于，步驟(b)所述鍍鎳液為SYC300A與SYC300B的混合水溶液，鍍鎳液中鎳離子的濃度為5.6-6g/L，鍍鎳的溫度為85-90℃，鍍鎳的時間為20-30min，形成鍍鎳層的平均厚度為6-10μm。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的釬焊方法，其特征在于，所述SYC300A與SYC300B的體積比為1:(1-3)。
9.根據(jù)權(quán)利要求4所述的釬焊方法，其特征在于，步驟(c)所述浸泡的時間為12-18s。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的釬焊方法，其特征在于，步驟(4)所述釬焊連接所用焊料為含銦焊料。
11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的釬焊方法，其特征在于，所述焊接方法還包括預(yù)處理步驟：在鉭靶材的焊接面設(shè)置凸臺，在銅背板的焊接面設(shè)置于凸臺配套的凹槽。
12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的釬焊方法，其特征在于，所述凹槽的深度與凸臺的高度的差值為0.35-0.65mm。
13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的釬焊方法，其特征在于，所述凹槽的等效圓直徑比凸臺的等效圓直徑大至少0.4mm。
14.根據(jù)權(quán)利要求1-13任一項所述的釬焊方法，其特征在于，所述釬焊方法包括如下步驟：
(1)矯正鉭靶材翹曲度，使靶材的平面度≤0.2mm；
(2)在鉭靶材的焊接面設(shè)置凸臺，在銅背板的焊接面設(shè)置于凸臺配套的凹槽，然后在鉭靶材與銅背板的焊接面分別獨立的進(jìn)行表面噴砂處理；噴砂處理采用的沙粒為46號白玉剛，氣壓范圍為0.55-0.6MPa；噴砂處理的時間為2-4min；噴砂處理時噴砂槍與焊接面的垂直距離為80-100mm；噴砂槍噴砂方向與焊接面的夾角為0-180°，且不為0°、90°以及180°；
(3)分別獨立地對鉭靶材與銅背板噴砂處理后的焊接面進(jìn)行化學(xué)鍍鎳，包括如下步驟：
(a)將經(jīng)過噴砂處理后的焊接面在活化液中進(jìn)行活化處理45-75s；所述活化液由氫氟酸與水組成，氫氟酸與水的體積比為(0.5-2):(8-9.5)；
(b)活化處理后的焊接面經(jīng)過清洗，然后放置于鍍鎳液中進(jìn)行鍍鎳；所述鍍鎳液為SYC300A與SYC300B的混合水溶液，鍍鎳液中鎳離子的濃度為5.6-6g/L，鍍鎳的溫度為85-90℃，鍍鎳的時間為20-30min，形成鍍鎳層的平均厚度為6-10μm；所述SYC300A與SYC300B的體積比為1:(1-3)；
(c)鍍鎳后的焊接面依次經(jīng)過清洗以及60-70℃的去離子水浸泡12-18s，干燥后完成所述化學(xué)鍍鎳；
(4)使用含銦釬料釬焊連接進(jìn)行鍍鎳處理后的鉭靶材與銅背板，完成鉭靶材與銅背板的釬焊焊接。
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