[發明專利]一種高精度平面度檢測裝置及方法

在審

• 申請號: 202010116545.4
• 申請日: 2020-02-25
• 公開（公告）號: CN111156931A
• 公開（公告）日: 2020-05-15
• 發明（設計）人: 伍瑋;羅利娟;鐘海;張云飛
• 申請（專利權）人: 成都威博恩科技有限公司
• 主分類號: G01B11/30
• 分類號: G01B11/30
• 代理公司: 成都中匯天健專利代理有限公司 51257
• 代理人: 劉雨田

1.一種高精度平面度檢測裝置，包括檢測箱體（1）、平面度計算模塊、勻光模塊和取像模塊，檢測箱體（1）頂壁開有卡口，卡口處卡設有平面平晶（2），其特征在于：所述勻光模塊和取像模塊均設于檢測箱體（1）內，勻光模塊包括光源罩（3）和設于光源罩（3）中的三色干涉光源（4），光源罩（3）頂壁為勻光板（5）；取像模塊包括若干個CCD網絡相機（6），CCD網絡相機（6）朝向平面平晶（2）底面，對平面平晶（2）取像；CCD網絡相機（2）與平面度計算模塊連接。

2.根據權利要求1所述的一種高精度平面度檢測裝置，其特征在于：所述檢測箱體（1）右側壁作為光源罩（3）右側壁，檢測箱體（1）右側壁可下旋朝外打開，三色干涉光源（4）設于檢測箱體（1）右側壁朝內一面上。

3.根據權利要求1或2所述的一種高精度平面度檢測裝置，其特征在于：所述平面度計算模塊為觸屏電腦（7），觸屏電腦（7）安裝于檢測箱體（1）前壁上。

4.根據權利要求3所述的一種高精度平面度檢測裝置，其特征在于：所述檢測箱體（1）前壁包括從內到外依次設置的隔板（8）和卡框（9），觸屏電腦（7）安裝于卡框（9）中。

5.一種基于權利要求1至4任一項所述的一種高精度平面度檢測裝置的檢測方法，其特征在于：包括如下步驟：

S1、將被測物體放置在平面平晶（2）頂面上；

S2、啟動三色干涉光源（4）、CCD網絡相機（6）和平面度計算模塊；

S3、若干個CCD網絡相機（6）進行圖像采集，并傳輸至平面計算模塊；

S4、平面計算模塊對若干個圖像分別進行圖像處理；

S5、平面計算模塊對若干個圖像進行組合處理，以準確識別被測物體邊緣并去除，得到最終干涉條紋圖像；

S6、平面計算模塊分析最終干涉條紋圖像，計算干涉條紋間距和彎曲度，最終計算并顯示平面度檢測值。

6.根據權利要求5所述的一種檢測方法，其特征在于：所述步驟S5包括如下步驟：

S51、以一個CCD網絡相機（6）的圖像為基準圖，分別用其余CCD網絡相機（6）的圖像與基準圖疊加，分別選出重疊部分的線條；

S52、將步驟S51中得到的多組重疊部分的線條分別與基準圖疊加，再去除重疊部分，得到多組中間干涉條紋圖像；

S53、將多組中間干涉條紋圖像疊加，選出重疊部分，得到最終干涉條紋圖像。

7.根據權利要求5或6所述的一種檢測方法，其特征在于：所述步驟S4中的圖像處理包括圖像二值化、圖像腐蝕膨脹處理、圖像條紋細化處理、毛刺處理及圖像修整。