[發(fā)明專利]制備太陽能電池TCO膜時控制真空腔體水蒸氣的方法在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 202010116023.4 | 申請日： | 2020-02-25 |
| 公開（公告）號： | CN111293192A | 公開（公告）日： | 2020-06-16 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 任明沖;谷士斌;周學(xué)謙;安洋;許明現(xiàn);蔡涔;黃強 | 申請（專利權(quán)）人： | 東方日升（常州）新能源有限公司 |
| 主分類號： | H01L31/18 | 分類號： | H01L31/18;H01L31/0224 |
| 代理公司： | 浙江永鼎律師事務(wù)所 33233 | 代理人： | 郭小麗 |
| 地址： | 213251 江蘇省常*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 制備 太陽能電池 tco 控制 空腔 水蒸氣 方法 | ||
1.一種制備太陽能電池TCO膜時控制真空腔體水蒸氣的方法，其特征在于，在制備TCO膜設(shè)備的過渡腔室和/或工藝腔室中安裝有低溫冷凝泵，通過間歇性的開啟或關(guān)閉低溫冷凝泵，從而調(diào)節(jié)過渡腔室和/或工藝腔室中的水蒸氣量。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備太陽能電池TCO膜時控制真空腔體水蒸氣的方法，其特征在于，在過渡腔室和/或工藝腔室安裝有殘余氣體分析儀，殘余氣體分析儀連接低溫冷凝泵，當殘余氣體分析儀檢測到過渡腔室和/或工藝腔室中的水蒸氣量大于設(shè)定值時，開啟低溫冷凝泵，當殘余氣體分析儀檢測到過渡腔室和/或工藝腔室中的水蒸氣量小于設(shè)定值時，關(guān)閉低溫冷凝泵。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的制備太陽能電池TCO膜時控制真空腔體水蒸氣的方法，其特征在于，殘余氣體分析儀通過變頻控制器連接低溫冷凝泵，殘余氣體分析儀檢測到的信號傳遞給變頻控制器，通過變頻控制器調(diào)節(jié)低溫冷凝泵的頻率。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備太陽能電池TCO膜時控制真空腔體水蒸氣的方法，其特征在于，所述的制備TCO膜設(shè)備為PVD設(shè)備或RPD設(shè)備。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的制備太陽能電池TCO膜時控制真空腔體水蒸氣的方法，其特征在于，所述的殘余氣體分析儀的測量范圍在10-7-10-1Pa之間。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備太陽能電池TCO膜時控制真空腔體水蒸氣的方法，其特征在于，在工藝腔室兩側(cè)分別連接有一個過渡腔室，兩個過渡腔室分別連接進片腔室和出片腔室。
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H01L 半導(dǎo)體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L31-00 對紅外輻射、光、較短波長的電磁輻射，或微粒輻射敏感的，并且專門適用于把這樣的輻射能轉(zhuǎn)換為電能的，或者專門適用于通過這樣的輻射進行電能控制的半導(dǎo)體器件；專門適用于制造或處理這些半導(dǎo)體器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半導(dǎo)體本體為特征的
H01L31-04 .用作轉(zhuǎn)換器件的
H01L31-08 .其中的輻射控制通過該器件的電流的，例如光敏電阻器
H01L31-12 .與如在一個共用襯底內(nèi)或其上形成的，一個或多個電光源，如場致發(fā)光光源在結(jié)構(gòu)上相連的，并與其電光源在電氣上或光學(xué)上相耦合的
