[發明專利]壓電元件、液體噴出頭以及打印機

有效

• 申請號: 202010115806.0
• 申請日: 2020-02-25
• 公開（公告）號: CN111613717B
• 公開（公告）日: 2023-07-28
• 發明（設計）人: 米村貴幸;降旗榮道;掛村康人
• 申請（專利權）人: 精工愛普生株式會社
• 主分類號: H10N30/50
• 分類號: H10N30/50;H10N30/08;B41J2/01;B41J2/14
• 代理公司: 北京金信知識產權代理有限公司 11225
• 代理人: 權太白

1.一種壓電元件，包括：

第一電極，其被設置于基體上；

第二電極；

壓電體層，其被設置于所述第一電極與所述第二電極之間，并且包含含有鉀、鈉、以及鈮的鈣鈦礦型結構的復合氧化物，

所述壓電體層的所述第二電極側的面通過由第一粒子組成的第一區域和由第二粒子組成的第二區域而構成，

所述第一區域上的凹凸的高度大于所述第二區域上的凹凸的高度，

在所述壓電體層的所述第二電極側的面中，所述第一區域的占有面積為10.0％以下，

所述第一區域的占有面積是指，所述第一區域的總面積相對于所述壓電體層的所述第二電極側的面的面積的比例。

2.如權利要求1所述的壓電元件，其中，

在將所述壓電體層的結晶結構視為準立方晶的情況下，

所述壓電體層為(100)擇優取向。

3.如權利要求1或2所述的壓電元件，其中，

在將所述壓電體層的結晶結構視為準立方晶的情況下，

所述第一區域為(111)取向，

所述第二區域為(100)取向。

4.如權利要求1所述的壓電元件，其中，

所述壓電體層的厚度為500nm以上且2μm以下。

5.如權利要求1所述的壓電元件，其中，

所述壓電體層以將第一層和多個第二層進行層壓的方式而構成，

所述第一層被設置于所述第一電極與所述第二層之間，

所述第一層中的鉀和鈉的原子濃度的比不同于所述第二層中的鉀和鈉的原子濃度的比，

所述第二層的厚度為51nm以下。

6.如權利要求5所述的壓電元件，其中，

所述第一層的厚度為75nm以下。

7.一種壓電元件，包括：

第一電極，其被設置于基體上；

第二電極；

壓電體層，其被設置于所述第一電極與所述第二電極之間，并且包含含有鉀、鈉、以及鈮的鈣鈦礦型結構的復合氧化物，

在將所述壓電體層的結晶結構視為準立方晶的情況下，

所述壓電體層具有(111)取向的第一粒子，

在所述壓電體層的所述第二電極側的面中，由所述第一粒子組成的第一區域的占有面積為10.0％以下，

所述第一區域的占有面積是指，所述第一區域的總面積相對于所述壓電體層的所述第二電極側的面的面積的比例。

8.一種液體噴出頭，包括：

權利要求1至7中任意一項所述的壓電元件；

噴嘴板，其設置有噴出液體的噴嘴孔，

所述基體具有流道形成基板，所述流道形成基板上設置有通過所述壓電元件而使容積發生變化的壓力產生室、以及向所述壓力產生室供給所述液體的供給流道，

所述噴嘴孔與所述壓力產生室連通。

9.一種打印機，包括：

權利要求8所述的液體噴出頭；

輸送機構，其使被記錄介質相對于所述液體噴出頭而進行相對移動；

控制部，其對所述液體噴出頭以及所述輸送機構進行控制。