[發明專利]一種表面等離激元波長、偏振解復用器件

有效

• 申請號: 202010115063.7
• 申請日: 2020-02-25
• 公開（公告）號: CN111290078B
• 公開（公告）日: 2022-05-17
• 發明（設計）人: 王琦龍;計吉燾;馬祥宇
• 申請（專利權）人: 東南大學
• 主分類號: G02B6/122
• 分類號: G02B6/122;G02B6/124
• 代理公司: 南京眾聯專利代理有限公司 32206
• 代理人: 薛雨妍

1.一種表面等離激元波長、偏振解復用器件，其特征在于：包括由多個具有不同結構參數、排布方向的周期性光柵構成的表面等離激元耦合器、多個表面等離激元波導、多個表面等離激元探測器以及半導體襯底；所述的波長、偏振解復用器件共有多個信道，每個信道各包含一個不同的周期性光柵、一個相同的表面等離激元波導以及一個相同的表面等離激元探測器；

所述的解復用器件其工作波段通過改變所述表面等離激元耦合器中周期性光柵的結構參數來調控，其工作段包括紫外-可見光波段以及近紅外通訊波段，所述表面等離激元耦合器中周期性光柵的結構參數包括光柵周期、占空比、高度。

2.根據權利要求1所述的表面等離激元波長、偏振解復用器件，其特征在于：所述的解復用器件適用的偏振態通過改變所述表面等離激元耦合器中周期性光柵的排布方向來調節，所述表面等離激元耦合器中周期性光柵的不同排布方向包括正交排布、正五邊形排布、正六邊形排布。

3.根據權利要求1所述的表面等離激元波長、偏振解復用器件，其特征在于：所述表面等離激元波導結構包括條形波導、V型波導、楔形波導。

4.根據權利要求1所述的表面等離激元波長、偏振解復用器件，其特征在于：所述表面等離激元探測器既作為表面等離激元解耦結構，又作為表面等離激元信號-電信號轉換結構，所述表面等離激元探測器結構為叉指電極結構。

5.根據權利要求1所述的表面等離激元波長、偏振解復用器件，其特征在于：所述信道數量為4個及以上。

6.根據權利要求1所述的表面等離激元波長、偏振解復用器件，其特征在于：所述半導體襯底材料的禁帶寬度大于入射光的光子能量，所述半導體材料包括硅、鍺、銦鎵砷。

7.根據權利要求1所述的表面等離激元波長、偏振解復用器件，其特征在于：所述表面等離激元耦合器、表面等離激元波導和表面等離激元探測器的材料包括金、銀、鋁，所述表面等離激元探測器中叉指電極結構與半導體襯底之間形成金-半接觸，為肖特基接觸或歐姆接觸。