[發明專利]一種粗糙度測量裝置及方法

在審

• 申請號: 202010114910.8
• 申請日: 2020-02-25
• 公開（公告）號: CN111156894A
• 公開（公告）日: 2020-05-15
• 發明（設計）人: 羅堅義;胡佳佳;陸勇;陳宥彬;勞科特;黃景誠
• 申請（專利權）人: 五邑大學
• 主分類號: G01B7/34
• 分類號: G01B7/34
• 代理公司: 廣州嘉權專利商標事務所有限公司 44205
• 代理人: 孫浩

1.一種粗糙度測量裝置，其特征在于，包括：

載物臺，用于放置待測物；

施壓模塊，所述施壓模塊朝向待測物的一端安裝有粗糙度傳感器，用于使所述粗糙度傳感器以恒定壓力與待測物接觸；

第一移動模塊，所述施壓模塊通過所述第一移動模塊安裝在所述載物臺上，所述第一移動模塊用于驅動所述施壓模塊以恒定速度沿第一方向往復運動；

數據處理模塊，所述數據處理模塊與所述粗糙度傳感器連接，用于擬合所述粗糙度傳感器的信號曲線。

2.根據權利要求1所述的一種粗糙度測量裝置，其特征在于，還包括顯示模塊，所述顯示模塊與所述數據處理模塊連接，所述顯示模塊用于顯示所述信號曲線。

3.根據權利要求1所述的一種粗糙度測量裝置，其特征在于，所述施壓模塊包括固定部、第二移動模塊和移動部，所述固定部與所述第一移動模塊連接，所述粗糙度傳感器安裝在所述移動部，所述移動部通過所述第二移動模塊滑動連接在所述固定部上，所述第二移動模塊驅動所述移動部沿第二方向往復運動。

4.根據權利要求3所述的一種粗糙度測量裝置，其特征在于，所述第一方向位于所述載物臺的表面所在的平面內，所述第二方向垂直于所述第一方向。

5.根據權利要求1所述的一種粗糙度測量裝置，其特征在于，所述施壓模塊沿第一方向往復運動的恒定速度的大小范圍為1mm/min至1000mm/min。

6.根據權利要求5所述的一種粗糙度測量裝置，其特征在于，所述粗糙度傳感器與待測物間的所述恒定壓力的大小范圍為0.01mN至2N。

7.根據權利要求1所述的一種粗糙度測量裝置，其特征在于，所述粗糙度傳感器受到擠壓時，電阻變化。

8.根據權利要求7所述的一種粗糙度測量裝置，其特征在于，所述粗糙度傳感器受到擠壓時，壓縮形變量與電阻成反比關系。

9.根據權利要求8所述的一種粗糙度測量裝置，其特征在于，所述粗糙度傳感器由柔性材料制成。

10.一種粗糙度測量方法，應用如權利要求1至9任一項所述的一種粗糙度測量裝置，其特征在于，包括以下步驟：

使粗糙度傳感器以恒定壓力與待測物接觸；

使粗糙度傳感器以恒定速度沿第一方向往復運動；

擬合粗糙度傳感器在往復運動過程中的信號曲線。