[發(fā)明專利]一種支持高溫老化測試的氣路結(jié)構(gòu)及其操作方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202010113640.9
• 申請日: 2020-02-24
• 公開（公告）號: CN110954806B
• 公開（公告）日: 2020-05-26
• 發(fā)明（設計）人: 杜建;裴敬;鄧標華
• 申請（專利權(quán)）人: 武漢精鴻電子技術(shù)有限公司
• 主分類號: G01R31/26
• 分類號: G01R31/26
• 代理公司: 武漢科皓知識產(chǎn)權(quán)代理事務所(特殊普通合伙) 42222
• 代理人: 胡琦旖

本發(fā)明屬于老化測試技術(shù)領(lǐng)域，公開了一種支持高溫老化測試的氣路結(jié)構(gòu)及其操作方法，主路進氣管路上設置有第一調(diào)壓閥，第二氣體輸入管路上設置有氣體電磁閥、單向閥，混合器設置有溫度傳感器，輸出管路上設置有第二調(diào)壓閥，輸出管路連接至老化測試設備的隔熱腔。本發(fā)明解決了現(xiàn)有技術(shù)中半導體芯片高溫老化測試中自動測試設備在高溫環(huán)境的隔熱腔內(nèi)無法快速散熱的問題，能夠準確控制隔熱腔內(nèi)的自動測試設備快速散熱。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及老化測試技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種支持高溫老化測試的氣路結(jié)構(gòu)及其操作方法。

背景技術(shù)

半導體芯片老化測試的總體方案是給被測半導體芯片（DUT）供給電源信號和測試信號，在高低溫或常溫下讓被測半導體芯片連續(xù)不間斷地工作設定的時間，此過程稱為老化（Burn-In），由此來加速半導體芯片器件的失效，篩選出良品。

在半導體芯片的TDBI（Test During burn-in老化測試）系統(tǒng)中，針對器件規(guī)格等級，分為不同的溫度測試范圍：商業(yè)級別器件溫度范圍是0~70°C，工業(yè)級器件溫度范圍是-40~+85°C，汽車工業(yè)級的器件工作高溫會達到105~125°C，軍工和航天級的器件高溫達到150°C。

現(xiàn)有方案都是將自動測試設備（ATE）和被測試器件（DUT）分開，將DUT放在溫箱中，支持寬范圍的環(huán)境溫度，而ATE放置在常溫環(huán)境中，用主流的風扇散熱。ATE和DUT通過PCB和連接器進行連接，如圖1所示。但是現(xiàn)有方案無法解決某些特定場景的應用，例如針對高速總線的測試（ 1Gbps+），要求測試設備和被測試單元不能太遠，否則高頻能量衰減過大。此外，針對超高溫（105°C）的半導體測試場景，我們需要尋找一種更可靠、成本更低的解決辦法。同時，在半導體的研發(fā)過程中，實驗室環(huán)境中也需要進行超高溫的摸底測試，去評估當前制程、工藝的可靠性。

發(fā)明內(nèi)容

本申請實施例通過提供一種支持高溫老化測試的氣路結(jié)構(gòu)及其操作方法，解決了現(xiàn)有技術(shù)中半導體芯片高溫老化測試中自動測試設備在高溫環(huán)境的隔熱腔內(nèi)無法快速散熱的問題。

本申請實施例提供一種支持高溫老化測試的氣路結(jié)構(gòu)，包括：主路進氣管路、第二氣體輸入管路、混合器、輸出管路；

所述主路進氣管路、所述第二氣體輸入管路分別與所述混合器的輸入側(cè)連通，所述輸出管路與所述混合器的輸出側(cè)連通；

所述主路進氣管路上設置有第一調(diào)壓閥；所述第一調(diào)壓閥用于調(diào)節(jié)主路的進氣壓力和流量；

所述第二氣體輸入管路上設置有氣體電磁閥、單向閥；所述氣體電磁閥用于控制第二氣體流量，所述第二氣體為低溫氣體；所述單向閥用于阻止氣體倒灌；

所述混合器設置有溫度傳感器；所述溫度傳感器用于測試氣體的溫度；

所述輸出管路上設置有第二調(diào)壓閥；所述第二調(diào)壓閥用于調(diào)節(jié)輸出管路的氣體壓力和流量；

所述輸出管路連接至老化測試設備的隔熱腔。

優(yōu)選的，所述主路進氣管路上還設置有手動閥；所述手動閥用于手動控制主路進氣的打開和關(guān)閉。

優(yōu)選的，所述主路進氣管路上還設置有第一電磁閥；所述第一電磁閥用于自動控制主路進氣的打開和關(guān)閉。

優(yōu)選的，所述主路進氣管路為多路。

優(yōu)選的，所述輸出管路上還設置有第二電磁閥、流量計；所述第二電磁閥用于自動控制輸出管路的打開和關(guān)閉；所述流量計用于實時顯示管路的氣體流量。

優(yōu)選的，所述輸出管路包括多條支路，每條支路上設置有流速控制閥；所述流速控制閥用于手動調(diào)節(jié)和設置氣體流速和流量。

優(yōu)選的，所述輸出管路為多路，溫箱內(nèi)放置多組被測試單元，每個所述輸出管路與一組所述被測試單元連通。