[發明專利]光罩盒

在審

• 申請號: 202010112027.5
• 申請日: 2020-02-24
• 公開（公告）號: CN113296363A
• 公開（公告）日: 2021-08-24
• 發明（設計）人: 邱銘隆
• 申請（專利權）人: 中勤實業股份有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 北京泰吉知識產權代理有限公司 11355
• 代理人: 張雅軍;史瞳

1.一種光罩盒，適用于容置極紫外光光罩，其特征在于：該光罩盒包含：

底座，包括至少周緣以內的部分是以石英制成的座體，及多個設于該座體的下支撐組件，每一個該下支撐組件的至少部分凸露出于該座體的座體上表面；及

上蓋，包括至少周緣以內的部分是以石英制成的蓋體，及多個設于該蓋體的上支撐組件，每一個該上支撐組件的至少部分凸露出于該蓋體的蓋體下表面；

該蓋體與該座體相配合共同形成封閉空間，且所述上支撐組件凸露出于該蓋體下表面的部分與所述下支撐組件凸露出于該座體上表面的部分共同界定位于該封閉空間內的固持位置。

2.根據權利要求1所述的光罩盒，其特征在于：該底座還包括至少一個設于該座體的座體下表面的光電感應部，該至少一個光電感應部的反射率相異于該座體下表面其余部分的反射率。

3.根據權利要求2所述的光罩盒，其特征在于：該至少一個光電感應部是通過選自鍍膜、粗糙化、鑲嵌金屬片或鎖附金屬片中的至少一種方式形成。

4.根據權利要求1所述的光罩盒，其特征在于：該座體預設有至少一個視窗區。

5.根據權利要求4所述的光罩盒，其特征在于：該至少一個視窗區是位于該座體以石英制成的部分內，且該座體的座體下表面于該至少一個視窗區處設置或形成有濾鏡、濾光膜、抗反射鏡或抗反射膜。

6.根據權利要求2所述的光罩盒，其特征在于：該座體預設有至少一個視窗區。

7.根據權利要求6所述的光罩盒，其特征在于：該至少一個視窗區是位于該座體以石英制成的部分內，且該座體的座體下表面于該至少一個視窗區處設置或形成有濾鏡、濾光膜、抗反射鏡或抗反射膜。

8.根據權利要求1所述的光罩盒，其特征在于：每一個該上支撐組件包括壓抵件、彈性墊圈、限位件及多個固定件，

該壓抵件具有板狀部及自該板狀部延伸的柱狀部，

該彈性墊圈環繞于該柱狀部，且密接于該板狀部及該蓋體之間，

該限位件至少覆蓋該板狀部的周緣部分以將該壓抵件限位，且該限位件具有露出該板狀部的一部分的開口，并通過所述固定件而被固定于該蓋體，

該蓋體形成有多組分別對應所述上支撐組件的穿孔組，每一組該穿孔組包括

與該壓抵件的該柱狀部對應的讓位孔，該讓位孔的內徑是介于該板狀部的最大外徑與該柱狀部的最大外徑之間，且該柱狀部自該蓋體外側穿過該讓位孔后末端凸露于該蓋體的該蓋體下表面，及

多個分別供對應的該上支撐組件的所述固定件穿過的安裝孔。

9.根據權利要求8所述的光罩盒，其特征在于：每一個該固定件具有頭部及自該頭部延伸的桿體，且該桿體末端形成卡扣結構，每一個該上支撐組件的該限位件還具有多個分別供所述固定件穿過的限位穿孔，每一個該限位穿孔的內徑是介于每一個該固定件的該頭部的最大外徑與該桿體的最大外徑之間。

10.根據權利要求8所述的光罩盒，其特征在于：每一個該上支撐組件的所述固定件與該限位件一體成型，每一個該固定件具有自該限位件延伸的桿體，且該桿體末端形成卡扣結構。

11.根據權利要求8所述的光罩盒，其特征在于：每一個該上支撐組件的該限位件具有多個分別供所述固定件穿過的限位穿孔，每一個該固定件由螺絲及螺帽組成。

12.根據權利要求8所述的光罩盒，其特征在于：每一個該固定件為螺絲，每一個該上支撐組件的該限位件具有多個分別供所述固定件螺鎖的螺孔。

13.根據權利要求8至12中任一權利要求所述的光罩盒，其特征在于：該蓋體的每一組該穿孔組還包括通孔，每一個該上支撐組件還包括覆蓋對應的該通孔的過濾片，且該限位件還具有對應該通孔及該過濾片的通氣區，該通氣區設有至少一個氣孔。