[發(fā)明專利]一種人工嗅覺系統(tǒng)的制成方法和人工嗅覺系統(tǒng)在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 202010107949.7 | 申請日： | 2020-02-21 |
| 公開（公告）號： | CN111239233A | 公開（公告）日： | 2020-06-05 |
| 發(fā)明（設計）人： | 呂丹;詹陽 | 申請（專利權(quán)）人： | 深圳先進技術研究院 |
| 主分類號： | G01N27/48 | 分類號： | G01N27/48;H02N1/04 |
| 代理公司： | 深圳智趣知識產(chǎn)權(quán)代理事務所(普通合伙) 44486 | 代理人： | 崔艷崢 |
| 地址： | 518055 廣東省深圳*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 人工 嗅覺 系統(tǒng) 制成 方法 | ||
1.一種人工嗅覺系統(tǒng)的制成方法，其特征在于，包括：
步驟1、通過光刻技術在銅箔上轉(zhuǎn)印傳感圖案光刻圖案；
步驟2、在步驟1的基礎上進行第一次刻蝕，制作傳感單元；
步驟3、溶解掉步驟2中的光刻膠；
步驟4、在步驟3的基礎上澆筑聚二甲基硅氧烷，并進行固化，在完全固化后，將所述聚二甲基硅氧烷和所述銅箔從預設的硅板上剝離；
步驟5、對所述聚二甲基硅氧烷和所述銅箔進行第二次刻蝕，以為傳感材料及摩擦過程提供空間；
步驟6、通過電化學方法在所述銅箔表面均勻的合成一層聚吡咯衍生物；
步驟7、用電子束蒸發(fā)鍍膜技術在所述聚二甲基硅氧烷蒸鍍一層銅作為感應電極。
2.如權(quán)利要求1所述的一種人工嗅覺系統(tǒng)的制成方法，其特征在于，所述第一次刻蝕采用的刻蝕液為硫酸銅，刻蝕過程需要通入空氣，刻蝕時間為3-7分鐘。
3.如權(quán)利要求1所述的一種人工嗅覺系統(tǒng)的制成方法，其特征在于，所述步驟3中的溶解是利用丙酮完成的。
4.如權(quán)利要求1所述的一種人工嗅覺系統(tǒng)的制成方法，其特征在于，澆筑聚二甲基硅氧烷的厚度為80-120微米。
5.如權(quán)利要求1或4所述的一種人工嗅覺系統(tǒng)的制成方法，其特征在于，所述固化是在真空干燥箱中完成的，固化條件為70-90攝氏度，10-30分鐘。
6.如權(quán)利要求1所述的一種人工嗅覺系統(tǒng)的制成方法，其特征在于，第二次刻蝕是通過將聚二甲基硅氧烷和所述銅箔完全進入到刻蝕液中，刻蝕時間為20-40秒。
7.如權(quán)利要求1所述的一種人工嗅覺系統(tǒng)的制成方法，其特征在于，所述通過電化學方法在所述銅箔表面均勻的合成一層聚吡咯衍生物中的合成液成分及物質(zhì)的量濃度分別為：0.09-0.12M/L的吡咯單體和0.18-0.22M/L的摻雜劑；摻雜劑分別為硫酸、硝酸、草酸、樟腦磺酸、鹽酸、萘磺酸、十二萬基硫酸鈉、十二烷基苯磺酸鈉和銅(II)酞菁-四磺酸四鈉鹽。
8.如權(quán)利要求1或7所述的一種人工嗅覺系統(tǒng)的制成方法，其特征在于，所述電化學方法為線性掃描伏安法，其中，高電壓1-2V，低電壓(-1)-(-2)V，掃描時間15-30分鐘，鉑網(wǎng)為對電極，標準的Ag/AgCl為參比電極，銅箔為工作電極。
9.如權(quán)利要求1所述的一種人工嗅覺系統(tǒng)的制成方法，其特征在于，步驟7中蒸鍍的一層銅厚度為150-250微米。
10.一種人工嗅覺系統(tǒng)，其特征在于，所述人工嗅覺系統(tǒng)通過權(quán)利要求1-9中任意一種方法制成。
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