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[發(fā)明專利]一種石英管的退火方法在審

專利信息
申請(qǐng)?zhí)枺?/td> 202010107847.5 申請(qǐng)日: 2020-02-21
公開(kāi)(公告)號(hào): CN111204959A 公開(kāi)(公告)日: 2020-05-29
發(fā)明(設(shè)計(jì))人: 暢家盛 申請(qǐng)(專利權(quán))人: 連云港國(guó)倫石英制品有限公司
主分類號(hào): C03B20/00 分類號(hào): C03B20/00;C03B25/00
代理公司: 連云港聯(lián)創(chuàng)專利代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 32330 代理人: 谷金穎
地址: 222000 江蘇省連云*** 國(guó)省代碼: 江蘇;32
權(quán)利要求書(shū): 查看更多 說(shuō)明書(shū): 查看更多
摘要:
搜索關(guān)鍵詞: 一種 石英管 退火 方法
【權(quán)利要求書(shū)】:

1.一種石英管的退火方法,其特征在于,包括如下步驟:步驟一,升溫階段:將石英管升溫至1150-1250℃;步驟二,保溫階段:1150-1250℃保溫;步驟三,慢冷階段:降溫至850-950℃保溫;步驟四,升溫階段:石英管升溫至1150-1250℃保溫;步驟五,降溫階段:先降溫至850-950℃,再降溫至550-650℃,繼續(xù)降溫至150-250℃開(kāi)啟爐門(mén),將石英管置于空氣中完全冷卻至室溫。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種石英管的退火方法,其特征在于,所述步驟一中石英管升溫速度為10~15℃/min。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種石英管的退火方法,其特征在于,所述步驟二中在1150-1250℃保溫5-7h。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種石英管的退火方法,其特征在于,所述步驟三:慢冷階段,然后以4-6℃/h的速度降溫至850-950℃,保溫0.5-1.5h。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種石英管的退火方法,其特征在于,所述步驟四:升溫階段,以10~15℃/min的速度升溫至1150-1250℃,保溫3.5-4.5h。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種石英管的退火方法,其特征在于,所述步驟五:降溫階段,以4-6℃/h的速度降溫850-950℃,再以28-32℃/h的速度降溫至550-650℃,繼續(xù)以58-62℃/h的速度降溫至150-250℃,開(kāi)啟爐門(mén),將石英管置于空氣中完全冷卻至室溫。

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