[發明專利]一種蒸鍍機蒸鍍材料的回收裝置

在審

• 申請號: 202010106315.X
• 申請日: 2020-02-21
• 公開（公告）號: CN111304592A
• 公開（公告）日: 2020-06-19
• 發明（設計）人: 鄭沂;孫玉俊
• 申請（專利權）人: 福建華佳彩有限公司
• 主分類號: C23C14/22
• 分類號: C23C14/22
• 代理公司: 福州市景弘專利代理事務所(普通合伙) 35219
• 代理人: 徐劍兵;張忠波

本發明公開一種蒸鍍機蒸鍍材料的回收裝置，包括防著板，所述防著板用于設置在所述蒸鍍機的腔體中，所述蒸鍍機用于放置蒸鍍源，所述防著板用于防止蒸鍍源中的待蒸鍍物粘附到蒸鍍機的內壁，所述防著板靠近蒸鍍源的側壁上設置有磁化的磁性材料，所述磁性材料用于粘附鍍到防著板上的待蒸鍍物。上述技術方案具有如下優點，具有磁性材料的防著板對待蒸鍍物具有較好的吸附力，使得沒有沉積在正確位置的待蒸鍍物可以粘附到防著板上，避免待蒸鍍物鍍到蒸鍍機的內壁上，減少蒸鍍機開腔保養的頻率，提高待蒸鍍物的回收率，便于待蒸鍍物的重復利用。

技術領域

本發明涉及蒸鍍工藝技術領域，尤其涉及一種蒸鍍機蒸鍍材料的回收裝置。

背景技術

OLED制程中最重要的是蒸鍍，其對應的設備是蒸鍍機。現有蒸鍍機因需要定期開腔保養，此過程需一定時間打開腔門，會導致外界空氣中的顆粒進入腔體內，因此會影響腔體內環境的潔凈度，污染腔體環境。同時設備保養，將耗費大量的人力、物力、財力，該過程減慢生產進度，浪費資源。再者，因現有蒸鍍機的待蒸鍍物利用率低，大多防著板對待蒸鍍物的吸附力不足，不斷清洗防著板上的待蒸鍍物，使防著板上的大多數待蒸鍍物沒得到充分利用，造成材料的浪費。

發明內容

為此，需要提供一種蒸鍍機蒸鍍材料的回收裝置，解決防著板對待蒸鍍物的吸附力不足的問題。

為實現上述目的，發明人提供了一種蒸鍍機蒸鍍材料的回收裝置，包括防著板，所述防著板用于設置在所述蒸鍍機的腔體中，所述蒸鍍機用于放置蒸鍍源，所述防著板用于防止蒸鍍源中的待蒸鍍物粘附到蒸鍍機的內壁，所述防著板靠近蒸鍍源的側壁上設置有磁化的磁性材料，所述磁性材料用于粘附鍍到防著板上的待蒸鍍物。

進一步地，還包括回收機構，所述回收機構設置在防著板下方，所述回收機構用于回收防著板上的待蒸鍍物。

進一步地，所述回收機構包括回收槽和移動軌道，所述移動軌道設置在所述防著板下方，所述回收槽用于儲存防著板上的待蒸鍍物，并在移動軌道上移動。

進一步地，所述回收機構還包括設置在蒸鍍機腔體外的回收槽腔體，所述移動軌道連接至所述回收槽腔體。

進一步地，其特征在于，所述防著板和所述回收機構為多個，每個所述防著板下方分別設置有一個所述回收機構。

進一步地，還包括有蒸鍍源，所述防著板設置在所述蒸鍍源的側方或者上方。

進一步地，還包括有退磁裝置，所述退磁裝置設置在防著板旁，所述退磁裝置用于消除磁性材料的磁性。

進一步地，所述防著板可拆卸設置在蒸鍍機的腔體中。

進一步地，所述磁性材料為鐵、鈷、鎳、硅鋼。

區別于現有技術，上述技術方案具有如下優點，具有磁性材料的防著板對待蒸鍍物具有較好的吸附力，使得沒有沉積在正確位置的待蒸鍍物可以粘附到防著板上，避免待蒸鍍物鍍到蒸鍍機的內壁上，減少蒸鍍機開腔保養的頻率，提高待蒸鍍物的回收率，便于待蒸鍍物的重復利用。

附圖說明

圖1為本實施例所述防著板、蒸鍍源和回收槽的剖面結構示意圖；

圖2為本實施例所述蒸鍍機的回收裝置的俯視結構示意圖。

附圖標記說明：

1、防著板；

2、磁性材料；

3、蒸鍍源；

4、回收機構；

41、回收槽；

411、滑輪；

42、移動軌道；

43、回收槽腔體；