[發明專利]一種基于磁偶極作用的高波速自旋波波導有效
| 申請號： | 202010105836.3 | 申請日： | 2020-02-20 |
| 公開（公告）號： | CN111293392B | 公開（公告）日： | 2022-03-15 |
| 發明（設計）人： | 鐘智勇;任志偉;閆健;金立川;文天龍;廖宇龍;唐曉莉;張懷武 | 申請（專利權）人： | 電子科技大學 |
| 主分類號： | H01P3/02 | 分類號： | H01P3/02 |
| 代理公司： | 電子科技大學專利中心 51203 | 代理人： | 吳姍霖 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 國省代碼： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 基于 磁偶極 作用 波速 自旋 波導 | ||
【權利要求書】：
1.一種基于磁偶極作用的高波速自旋波波導，其特征在于，所述自旋波波導包括基板、形成于基板之上的亞鐵磁矩形條帶、和位于亞鐵磁矩形條帶一側的鐵磁矩形條帶，所述亞鐵磁矩形條帶的長度與寬度的比值大于25，厚度為10～50nm，所述鐵磁矩形條帶的寬度為亞鐵磁矩形條帶的寬度的1/4～1/2，厚度與亞鐵磁矩形條帶的厚度相同，所述亞鐵磁矩形條帶的長度與鐵磁矩形條帶的長度之差為100nm以上；
所述自旋波波導在制備時，首先在基板上沉積亞鐵磁矩形條帶，然后通過掩膜工藝在亞鐵磁矩形條帶的一側沉積鐵磁矩形條帶。
2.根據權利要求1所述的基于磁偶極作用的高波速自旋波波導，其特征在于，所述亞鐵磁矩形條帶的材料為YIG或ZnFe2O4，所述鐵磁矩形條帶的材料為CoFeB或CMFS。
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