[發(fā)明專利]OPC數(shù)據(jù)采集方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202010104203.0
• 申請日: 2020-02-20
• 公開（公告）號: CN111311582A
• 公開（公告）日: 2020-06-19
• 發(fā)明（設計）人: 柯順魁
• 申請（專利權）人: 上海華力集成電路制造有限公司
• 主分類號: G06T7/00
• 分類號: G06T7/00
• 代理公司: 上海浦一知識產(chǎn)權代理有限公司 31211
• 代理人: 郭四華

1.一種OPC數(shù)據(jù)采集方法，其特征在于，包括如下步驟：

步驟一、在晶圓上形成多個測試圖形，所述測試圖形通過光刻工藝定義；

步驟二、采用CD SEM對各所述測試圖形進行測量形成對應的原始測量圖像，所述原始測量圖像都為真彩色圖像；

步驟三、對所述原始測量圖像進行異常圖像識別，包括如下分步驟：

步驟31、對各所述原始測量圖像進行灰度轉換形成對應的中間轉換圖像，所述中間轉換圖像為灰度圖像；

步驟32、對所述中間轉換圖像進行特征值提取；

步驟33、根據(jù)所提取的特征值計算各所述中間轉換圖像之間的相關系數(shù)；

步驟34、根據(jù)所述相關系數(shù)識別出異常圖像并將所述異常圖像過濾掉。

2.如權利要求1所述的OPC數(shù)據(jù)采集方法，其特征在于：所述原始測量圖像為24位真彩色圖像。

3.如權利要求2所述的OPC數(shù)據(jù)采集方法，其特征在于：所述中間轉換圖像為256級灰度圖像。

4.如權利要求3所述的OPC數(shù)據(jù)采集方法，其特征在于：所述中間轉換圖像中采用一個字節(jié)來表示一個像素。

5.如權利要求4所述的OPC數(shù)據(jù)采集方法，其特征在于：所述原始測量圖像的像素形成多行和多列的陣列，步驟31中進行灰度轉換時按照像素在陣列中的位置依次進行轉換。

6.如權利要求5所述的OPC數(shù)據(jù)采集方法，其特征在于：步驟31中進行灰度轉換過程中，從所述原始測量圖像的陣列的最下面一行左邊的第一個像素開始進行從左到右的依次轉換，一行的像素都轉換完成后增加行數(shù)編號從底部到頂部實現(xiàn)對各行的像素進行轉換。

7.如權利要求5所述的OPC數(shù)據(jù)采集方法，其特征在于：步驟31中各像素的灰度轉換公式為：

Y＝0.299R+0.587G+0.114B；

其中，R、G和B表示所述原始測量圖像的像素的RGB顏色分量，Y表示像素的灰度值。

8.如權利要求7所述的OPC數(shù)據(jù)采集方法，其特征在于：步驟31中形成所述中間轉換圖像后還包括對所述中間轉換圖像進行灰度均衡化的步驟。

9.如權利要求8所述的OPC數(shù)據(jù)采集方法，其特征在于：所述灰度均衡化的轉換公式為：

DB＝f(x)＝DMax·∫H(u)du/A0(u＝0～x)；

其中，DB為轉換后的灰度級，f(x)為轉換函數(shù)，x為灰度級，H(u)為第i級灰度的像素個數(shù)，A0為圖像的面積，DMax為最大灰度值。

10.如權利要求3所述的OPC數(shù)據(jù)采集方法，其特征在于：步驟32中的所述特征值提取為提取所述中間轉換圖像中的各灰度級出現(xiàn)的頻率并形成所述中間轉換圖像的灰度直方圖；所述灰度直方圖的橫坐標為灰度級，縱坐標為不同灰度級出現(xiàn)的頻率。

11.如權利要求10所述的OPC數(shù)據(jù)采集方法，其特征在于：步驟33中的相關系數(shù)通過如下的互相關函數(shù)公式計算：

R＝f(t)·g(－t)＝∫f(t)·g(t)dt(－∞t+∞)；

其中，R為兩幅所述中間轉換圖像之間的相關系數(shù)，R值越大，說明兩幅圖像的相似程度越高；函數(shù)f(t)和g(t)分別是要比較的兩幅所述中間轉換圖像的所述灰度直方圖對應的函數(shù)，t為灰度等級。

12.如權利要求11所述的OPC數(shù)據(jù)采集方法，其特征在于：步驟一中，多個所述測試圖形按照關鍵尺寸的大小由小到大在水平方向或在垂直方向排列形成一系列結構，步驟33中按照所述測試圖形的排列方向，計算各相鄰的所述測試圖形對應的所述中間轉換圖像之間的相關系數(shù)，對于n個所述測試圖形，得到的所述相關系數(shù)為n-1個。